-
公开(公告)号：CN118272914A
公开(公告)日：2024-07-02
申请号：CN202211714614.7
申请日：2022-12-29
Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
Abstract: 本发明公开了一种磁性离子掺杂二维材料的制备方法，在脉冲放电条件下，将磁性离子注入至片状的CsV3Sb5二维材料中，其中，脉冲放电的峰值电压大于等于1万伏且小于等于3万伏，脉冲间隔大于等于1s且小于等于5s，脉冲占空比1/10。本发明方法的技术优势在于掺杂深度可达百微米到毫米量级，在晶体解理后的表面仍有掺杂效果。其掺杂量从ppm量级到‰量级可控。同时晶格损伤小，最大程度保留材料的本征电子结构。
-
公开(公告)号：CN116705655A
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN202310589728.1
申请日：2023-05-24
Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
IPC: H01L21/67 , H01J37/32 , H01L21/3065
Abstract: 本发明公开了一种用于超薄器件的刻蚀装置及其刻蚀方法，包括原子力显微镜和刻蚀介质发生模块。原子力显微镜包括探针组件，探针组件包括悬臂梁以及设置在悬臂梁上表面的垂直位移调节件，悬臂梁下表面的第一端连接有导电针尖，悬臂梁下表面的第二端连接有压力传感器；压力传感器配置为将悬臂梁的形变机械力转换为相应的电信号输出，压力传感器与垂直位移调节件组成反馈调节回路，以反馈调节导电针尖与待刻蚀样品之间的相互作用力；刻蚀介质发生模块用于向导电针尖施加电场使导电针尖与待刻蚀样品之间产生刻蚀介质，并驱动刻蚀介质对待刻蚀样品进行刻蚀。本发明实施例提供刻蚀装置及刻蚀方法，可以刻蚀晶圆级材料等超薄器件且保证器件的导电性能。
-
公开(公告)号：CN116754797A
公开(公告)日：2023-09-15
申请号：CN202310589602.4
申请日：2023-05-24
Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
Abstract: 本发明公开了一种原子力显微镜的探针组件，包括形成有探针孔的探针基座以及设置在探针孔中的扫描探针，所述扫描探针包括悬臂梁，所述悬臂梁的第一端连接到探针孔的侧壁上，第二端与探针孔的侧壁之间具有间隙；所述悬臂梁的下表面临近于第一端的位置设置有压力传感器，所述悬臂梁的下表面临近于第二端的位置依次叠层连接有压电陶瓷层和探针针尖；所述压力传感器用于将悬臂梁的形变机械力转换为相应的电信号并输出，以反馈探针针尖与待测样品之间的相互作用力。本发明中使用压力传感器将形变机械力转换为电信号，来反馈调节探针针尖的高度位置，避免了已有技术中在将多个探针集成阵列时光杠杆的反馈信号相互干扰的问题。
-
公开(公告)号：CN112505335B
公开(公告)日：2023-02-28
申请号：CN201910871823.4
申请日：2019-09-16
Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
IPC: G01N35/00
Abstract: 本发明公开了一种超高真空样品转移设备及转移方法，属于材料测试技术领域。该转移设备包括转移主体和辅助装置，转移主体包括用于放置样品的进样室和真空装置，进样室两端分别安装有第一阀门和第二阀门；辅助装置包括波纹管、传样装置和冷却装置，波纹管的一端与传样装置连通，另一端与进样室通过第一阀门连通或断开，传样装置能够抓取进样室内的样品并送至目标腔室内，冷却装置能够同时与进样室通过第二阀门连通或断开，与目标腔室连通，与移动泵组通过第三阀门连通，冷却装置设置有注液口和放空口。转移主体与冷却装置可分开运输，冷却装置内部流通液氮，可降至液氮温度，水汽吸附在内壁上，传递过程中样品不受污染。
-
公开(公告)号：CN112505335A
公开(公告)日：2021-03-16
申请号：CN201910871823.4
申请日：2019-09-16
Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
IPC: G01N35/00
Abstract: 本发明公开了一种超高真空样品转移设备及转移方法，属于材料测试技术领域。该转移设备包括转移主体和辅助装置，转移主体包括用于放置样品的进样室和真空装置，进样室两端分别安装有第一阀门和第二阀门；辅助装置包括波纹管、传样装置和冷却装置，波纹管的一端与传样装置连通，另一端与进样室通过第一阀门连通或断开，传样装置能够抓取进样室内的样品并送至目标腔室内，冷却装置能够同时与进样室通过第二阀门连通或断开，与目标腔室连通，与移动泵组通过第三阀门连通，冷却装置设置有注液口和放空口。转移主体与冷却装置可分开运输，冷却装置内部流通液氮，可降至液氮温度，水汽吸附在内壁上，传递过程中样品不受污染。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118516626A
公开(公告)日：2024-08-20
申请号：CN202310128221.6
申请日：2023-02-17
Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
IPC: C22F1/04
Abstract: 本发明提供了一种Zr/Er复合微合金化A1‑Fe合金的加工工艺，提供含有Zr和Er的A1‑Fe合金，将其依次经大塑性变形‑低温热处理工艺，得到所述Zr/Er复合微合金化A1‑Fe合金。通过采用本发明的技术方案，HPT变形A1‑Fe‑Zr‑Er合金中Al3(Zr，Er)颗粒可分解回溶，并在后续热处理中析出，析出温度低于传统变形和热处理中的析出温度，并同时提高合金的强度和电导率。同时该工艺也可应用于A1‑Fe合金的后处理工艺中。
-
公开(公告)号：CN117406554A
公开(公告)日：2024-01-16
申请号：CN202310893998.1
申请日：2023-07-20
Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供了一种光刻装置，其包括：光源；控制系统，所述控制系统包括控制单元，所述控制单元用于控制所述光源出射光线；原子力显微镜，所述原子力显微镜包括探针组件，所述探针组件包括具有通孔的探针，所述通孔用于将所述光源出射的光线聚集到被光刻样品上。本发明还提供了一种光刻方法。本发明使用镂空探针(即具有通孔的探针)对柔性衬底实现很好的光能量控制和曝光时间，避免掩膜的使用，提高器件设计的自由度。
-
公开(公告)号：CN112505336B
公开(公告)日：2022-12-13
申请号：CN201910872736.0
申请日：2019-09-16
Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
IPC: G01N35/00
Abstract: 本发明公开了一种超高真空样品转移设备及转移方法，属于材料测试技术领域。该转移设备包括可拆卸连接的转移主体和辅助装置，转移主体包括进样室和真空装置，进样室两端分别安装有第一阀门和第二阀门；辅助装置包括第一冷却波纹管、第二冷却波纹管和传样装置，第一冷却波纹管的一端与传样装置连通，另一端与进样室通过第一阀门连通或断开，第二冷却波纹管的一端与进样室通过第二阀门连通或断开，另一端能够同时与目标腔室通过第三阀门连通，与传样装置连通，与移动泵组连通，第一冷却波纹管和第二冷却波纹管外周均设有冷却部件，传样装置能够抓取进样室内的样品并送至目标腔室。本发明保证了超真空环境，避免样品转移过程中被污染。
-
公开(公告)号：CN117865079A
公开(公告)日：2024-04-12
申请号：CN202410120210.8
申请日：2024-01-29
Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
IPC: C01B21/082
Abstract: 本申请公开了一种晶圆级二维石墨相氮化碳及其制备方法，制备方法包括将衬底清洗、干燥后放置在预处理腔中；对衬底进行除气和真空退火，直至衬底表面出现原子级台阶，降温至第一温度；控制生长台升温至第一温度，将衬底传递至生长台上，升温至第二温度；控制生长台旋转，向生长腔内通入氮气，控制氮等离子体发生装置和电子束装置开始工作；同步打开氮等离子体发生装置挡板和电子束装置挡板；生长完成后，降至室温。本申请基于等离子辅助分子束外延的方法直接制备晶圆级二维石墨相氮化碳薄膜，制备得到的二维石墨相氮化碳均匀度好、结晶质量高，可以基于实际需求调整制备得到的石墨相氮化碳薄膜的尺寸和厚度，满足不同研究或工况需求。
-
公开(公告)号：CN116519979A
公开(公告)日：2023-08-01
申请号：CN202310587119.2
申请日：2023-05-23
Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
IPC: G01Q60/38
Abstract: 本发明公开了一种原子力显微镜悬臂探针及其制作方法，原子力显微镜悬臂探针包括：探针悬臂，探针针尖以及温敏结构。所述探针悬臂上形成有压敏结构；所述探针针尖形成于所述探针悬臂的一端；所述温敏结构形成于所述探针针尖上且延伸至所述探针悬臂上。本发明的原子力显微镜悬臂探针，是一种应用于原子力显微镜的、具备热学测量功能的新型自传感悬臂探针，在原子力显微镜技术上，利用压阻悬臂探针或压容悬臂探针结合热敏电阻或热电偶结构来研究纳米尺度温度分布。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
22
records
(took 0.046 seconds)
