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公开(公告)号：CN118275749A
公开(公告)日：2024-07-02
申请号：CN202211741357.6
申请日：2022-12-30
Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
IPC: G01R19/00 , G01N23/2251
Abstract: 本发明揭示了一种基于金属等离激元的半导体光电流测试系统及测试方法，所述测试系统包括：扫描电镜，其具有一SEM腔体及电镜窗口；SEM变温台，位于SEM腔体内，用于承载半导体外延结构；电流测量装置，位于SEM腔体外部；电子枪，位于SEM腔体内，用于提供激发半导体外延结构的电子束；其中，所述半导体外延结构包括绝缘基底、位于绝缘基底上的有源区、及位于有源区上的电极和金属纳米结构，所述电极与电流测量装置通过引线电性连接，所述引线贯穿电镜窗口。本发明通过对扫描电镜进行改装，能够测试金属等离激元激发产生的光电流，可以从微观尺度测试金属等离激元的增强效应。
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公开(公告)号：CN111435122A
公开(公告)日：2020-07-21
申请号：CN201910029166.9
申请日：2019-01-12
Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
IPC: G01N23/223 , G01N21/64
Abstract: 本发明公开了一种半导体材料的阴极荧光成像测试方法，其包括：制备待测的半导体材料样品；应用聚焦离子束切割工艺对所述半导体材料样品进行切割，形成厚度为纳米尺寸量级的测试样品；在具有阴极荧光光谱仪的扫描电子显微镜中对所述测试样品进行阴极荧光成像测试。本发明将待测样品切割为厚度为纳米尺寸量级的测试样品(透射电子显微镜(TEM)超薄样品)在扫描电子显微镜(SEM)中进行阴极荧光成像测试，可以提升使用SEM设备进行阴极荧光成像的空间分辨率。
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公开(公告)号：CN110595848A
公开(公告)日：2019-12-20
申请号：CN201810601158.2
申请日：2018-06-12
Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
IPC: G01N1/28
Abstract: 本发明公开了一种微米级颗粒透射电子显微镜样品的制备方法，其包括在聚焦离子束-扫描电镜双束系统中进行的以下工艺：选取待测的微米尺寸量级的样品颗粒；应用离子束沉积工艺在所述样品颗粒的外表面沉积第一材料，形成包覆所述样品颗粒的保护层；将包覆有保护层的所述样品颗粒焊接到样品载网上；应用离子束切割工艺对包覆有保护层的所述样品颗粒进行切割，在所述样品载网上形成厚度为纳米尺寸量级的测试样品。该方法可以简化微米级颗粒透射电子显微镜样品的制样过程，提升了制样速度，并且提高了制样的成功率。
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公开(公告)号：CN109437093A
公开(公告)日：2019-03-08
申请号：CN201811257763.9
申请日：2018-10-26
Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
Abstract: 本发明公开了一种自支撑微纳米结构的制作方法，包括：在衬底上形成牺牲层以及覆盖牺牲层的功能层；在功能层上预设图案化区域，在图案化区域内进行图案化处理，以在功能层中形成露出部分牺牲层的图案部；其中，部分牺牲层为图案化区域在牺牲层的投影范围内的牺牲层；将部分牺牲层去除，获得自支撑微纳米结构。本发明在制作自支撑微纳米结构时，可控性、重复性、成品率较高，能应用的微纳米材料种类较多，而且能够形成的自支撑微纳米结构更加复杂。
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公开(公告)号：CN119602078A
公开(公告)日：2025-03-11
申请号：CN202311158177.X
申请日：2023-09-08
Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
Abstract: 本发明公开了一种基于等离激元的半导体激光器及其制作方法，半导体激光器包括：衬底；半导体增益层，形成于所述衬底表面；金属纳米颗粒阵列，形成于所述半导体增益层表面，所述金属纳米颗粒阵列包括阵列排布的复数个Al金属纳米颗粒，所述金属纳米颗粒阵列满足，10nm≦g≦30nm，其中，g为任意相邻两个Al金属纳米颗粒的间距。本发明的基于等离激元的半导体激光器及其制作方法，其能够大幅改善半导体激光器的性能。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119181667A
公开(公告)日：2024-12-24
申请号：CN202410493183.9
申请日：2024-04-23
Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
Abstract: 本发明公开了一种手套箱集联系统及钙钛矿太阳能电池的制备方法。该手套箱集联系统包括：传送通道、试剂手套箱、制样手套箱组、测试手套箱组、样品存储手套箱和进样手套箱。传送通道用于水氧敏感器件的传递输送。试剂手套箱与传送通道连通，用于药品配制。制样手套箱组与传送通道连通，用于制备水氧敏感器件。测试手套箱组与传送通道连通，用于测试水氧敏感器件。样品存储手套箱与传送通道连通，用于存储制备得到的水氧敏感器件；进样手套箱的一侧与传送通道连接，另一侧连接有真空管道，用于将制备得到的水氧敏感器件送至表征设备。该手套箱集联系统能够维持惰性气氛环境及真空环境，保证水氧敏感器件在制备过程中不受水氧干扰。
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公开(公告)号：CN113800241A
公开(公告)日：2021-12-17
申请号：CN202010527212.0
申请日：2020-06-11
Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
IPC: B65G47/74
Abstract: 本发明公开了一种样品托夹取装置，包括取样杆和弹性件，取样杆的第一端呈筒体结构，取样杆的第一端的外壁开设有样品托导槽和样品托摆动槽，样品托导槽贯穿第一端的端面且沿取样杆的轴向延伸，样品托摆动槽连通样品托导槽且沿取样杆的周向延伸；弹性件的一端固定在取样杆的第一端内，弹性件的另一端朝向第一端的端部延伸，用于在耳部沿样品托导槽插入取样杆时产生反向的弹性力，并在耳部沿样品托摆动槽摆动后将耳部弹性抵持在样品托导槽内。本发明还公开了一种样品托夹取方法和样品传递装置。本发明的样品托夹取装置的取样杆的尺寸也可以做得很小，使得样品托夹取装置可以满足真空互联系统的小空间内样品的抓取需求，并且可以应用到不同的设备中。
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公开(公告)号：CN119230642A
公开(公告)日：2024-12-31
申请号：CN202310775135.4
申请日：2023-06-28
Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
IPC: H01L31/101 , H01L31/0232 , H01L31/0352 , H01L31/18 , B82Y20/00 , B82Y40/00
Abstract: 本发明公开了一种等离激元增强型探测器及其制作方法，等离激元增强型探测器包括：半导体基底，石墨烯层，金属颗粒阵列以及电极组；所述石墨烯层形成于所述半导体基底的表面且暴露出部分所述半导体基底；所述金属颗粒阵列形成于所述石墨烯层表面；所述电极组设置于所述半导体基底暴露出的表面，且部分延伸于所述金属颗粒阵列表面。本发明的等离激元增强型探测器，通过利用强耦合等离激元结合石墨烯层，完全释放金属纳米颗粒结构的等离激元共振性能，提升探测器的整体性能。
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公开(公告)号：CN118275482A
公开(公告)日：2024-07-02
申请号：CN202211728792.5
申请日：2022-12-30
Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
IPC: G01N23/2251 , G01N23/04 , G01N23/20008 , G01R19/00
Abstract: 本发明揭示了一种透射样品的电流测试系统及测试方法，所述测试系统包括：扫描电镜，其具有一SEM腔体及电镜窗口；电子枪，位于SEM腔体内，用于提供电子束；法拉第杯，位于SEM腔体内电子枪下方，用于收集入射电流；绝缘模板，位于法拉第杯上方；金属网，位于绝缘模板上方，用于承载透射样品；第一电流测量装置及第二电流测量装置，位于SEM腔体外部，所述第一电流测量装置与金属网电性连接，用于测量透射样品的吸收电流，所述第二电流测量装置与法拉第杯电性连接，用于测量电子束入射电流及穿过透射样品的透射电流。本发明的测试系统结构简单，改装成本低，测量误差较小。
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公开(公告)号：CN117907519A
公开(公告)日：2024-04-19
申请号：CN202410093272.4
申请日：2024-01-23
Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
Abstract: 本发明公开了基于真空互联的过渡金属模型电催化结构表征方法。基于真空互联技术，研究了二氧化碳电催化过程中，氧化亚铜/铜模型结构的结构及其准原位表征。氧化亚铜与铜的复合结构(Cu+/Cu0)被认为是二氧化碳电催化的活性位。其中氧化亚铜是水氧敏感物质，本发明是基于真空互联技术下的表征分析，很好地隔绝了水氧，使得催化剂在不暴露空气的状态下进行一系列地准原位分析，有效地提高实验的效率和数据的准确性。
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