公开(公告)号：CN114185270A

公开(公告)日：2022-03-15

申请号：CN202111425076.5

申请日：2021-11-26

Applicant: 中国科学院微电子研究所

Inventor： 郝朝宇 ,  宗明成 ,  武志鹏 ,  李璟 ,  殷超 ,  齐月静

IPC: G05B13/04 ,  G01B11/06

Abstract: 本公开提供一种用于精密运动平台的模型预测运动控制方法及其系统，用于控制精密运动平台，用于精密运动平台的模型预测运动控制方法包括以下步骤：获取位置输入数据以及过往多个时刻运动平台位置数据；根据位置输入数据以及过往多个时刻运动平台位置数据，得到预测数据以及补偿数据；根据预测数据以及补偿数据，得到当前时刻的运动平台输入数据。在本公开提供的技术方案中，通过过往多个时刻的平台位置数据与位置输入数据产生预测数据，并同时针对预测数据产生补偿数据，进行动态调整，采用具有预测性质的控制方法来提前估计误差，能够根据平台位置数据，实时跟踪精密运动平台产生的误差，并根据误差控制计算精密运动平台实际的控制输入，提高精密运动平台跟踪精度。

公开(公告)号：CN114185270B

公开(公告)日：2024-06-14

申请号：CN202111425076.5

申请日：2021-11-26

Applicant: 中国科学院微电子研究所

Inventor： 郝朝宇 ,  宗明成 ,  武志鹏 ,  李璟 ,  殷超 ,  齐月静

IPC: G05B13/04 ,  G01B11/06

Abstract: 本公开提供一种用于精密运动平台的模型预测运动控制方法及其系统，用于控制精密运动平台，用于精密运动平台的模型预测运动控制方法包括以下步骤：获取位置输入数据以及过往多个时刻运动平台位置数据；根据位置输入数据以及过往多个时刻运动平台位置数据，得到预测数据以及补偿数据；根据预测数据以及补偿数据，得到当前时刻的运动平台输入数据。在本公开提供的技术方案中，通过过往多个时刻的平台位置数据与位置输入数据产生预测数据，并同时针对预测数据产生补偿数据，进行动态调整，采用具有预测性质的控制方法来提前估计误差，能够根据平台位置数据，实时跟踪精密运动平台产生的误差，并根据误差控制计算精密运动平台实际的控制输入，提高精密运动平台跟踪精度。

公开(公告)号：CN116222422A

公开(公告)日：2023-06-06

申请号：CN202310091741.4

申请日：2023-01-17

Applicant: 中国科学院微电子研究所

Inventor： 李璟 ,  杨光华 ,  朱世懂 ,  殷超

IPC: G01B11/24 ,  G01B11/00 ,  G01B9/02001

Abstract: 本公开提供一种相位光栅位置测量系统及测量结构参数的方法，该方法包括：S1，利用相位光栅位置测量系统扫描光栅标记(107)，得到测量信号；S2，从测量信号中分离出各衍射级次的测量信号，获取各衍射级次的相位信息和光强信息；S3，根据相位信息计算得到光栅标记(107)的位置信息；S4，根据光强信息计算得到光栅标记(107)的结构参数。本公开利用相位光栅的衍射场信息，在测量光栅标记位置的同时，可获得光栅标记的结构信息，便于分析光栅加工工艺过程对设计结构的改变以及对于测量的影响。