公开(公告)号：CN116885562A

公开(公告)日：2023-10-13

申请号：CN202310920335.4

申请日：2023-07-25

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 鹿希雨 ,  管延娇 ,  孙瑞轩 ,  刘舒曼 ,  刘俊岐 ,  王利军 ,  刘峰奇 ,  张锦川 ,  翟慎强 ,  卓宁

IPC: H01S5/34 ,  H01S5/10 ,  H01S5/06 ,  H01S5/0683

Abstract: 本发明提供一种环形外腔带间级联激光器及其制备方法，包括：带间级联激光器；在带间级联激光器的前腔面侧镀上一层减反膜；带间级联激光器的前腔面侧和后腔面侧分别设置有前腔面直透镜和后腔面直透镜；闪耀光栅，设置于前腔面直透镜的前腔面侧；镀金反射镜组，包括沿闪耀光栅的出射光路上设置的第一镀金反射镜、第二镀金反射镜和第三镀金反射镜；其中，前腔面直透镜、闪耀光栅、第一镀金反射镜、第二镀金反射镜、第三镀金反射镜及后腔面直透镜形成环形光路腔；带间级联激光器的前腔面侧发射出光信号，通过环形光路腔后，从后腔面侧再次入射到带间级联激光器。该装置可比零级衍射光输出的Littrow外腔获得更宽的光谱调谐范围和更大的输出功率。

公开(公告)号：CN118169066A

公开(公告)日：2024-06-11

申请号：CN202410302174.7

申请日：2024-03-15

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 鹿希雨 ,  刘俊岐 ,  唐菁 ,  刘舒曼 ,  张锦川 ,  翟慎强 ,  卓宁 ,  王利军 ,  刘峰奇

IPC: G01N21/35 ,  G01N21/01 ,  G01J3/28 ,  G01J3/42

Abstract: 一种单片集成中红外多波长原位光谱检测器件及其制备方法，包括：量子级联激光器增益区，用于形成中红外光源，其中中红外光源为包括在N个波长处具有高边模抑制比的激光，且每种波长对应一种待测物的特征吸收峰；阵列波导光栅无源波导区，用于将中红外光源的N种波长进行分离，以得到N束分光；被测物质吸收区，包含N个介电负载表面等离子波导，两端分别与阵列波导光栅无源波导区对应输出波导和对应后续探测器相连接；以及量子级联探测器响应区，经被测物质吸收区的光入射到量子级联探测器中，反映出其入射波长对应的被测物有无或浓度变化的信息，可被测物的检测结果，其中，N为大于1的整数。

公开(公告)号：CN115603175A

公开(公告)日：2023-01-13

申请号：CN202211293161.5

申请日：2022-10-21

Applicant: 中国科学院半导体研究所(CN)

Inventor： 刘俊岐 ,  鹿希雨 ,  杨科 ,  刘峰奇 ,  张锦川 ,  翟慎强 ,  卓宁 ,  刘舒曼 ,  王利军

IPC: H01S5/34 ,  H01S5/50 ,  H01S5/028 ,  H01S5/068

Abstract: 本公开涉及红外通信光电子器件技术领域，尤其涉及一种电吸收调制量子级联激光器芯片及制备方法。其中，该电吸收调制量子级联激光器芯片，包括：分布反馈量子级联激光器区，用于生成中远红外种子激光；电吸收量子级联调制器区，用于对中远红外种子激光进行调制，得到调制后的中远红外种子激光；量子级联光放大器区，用于对调制后的中远红外种子激光进行放大，得到放大调制后的中远红外种子激光。本公开提供的电吸收调制量子级联激光器芯片可以单片集成，并同时兼顾高调制速率与高输出功率。