公开(公告)号：CN118169066A

公开(公告)日：2024-06-11

申请号：CN202410302174.7

申请日：2024-03-15

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 鹿希雨 ,  刘俊岐 ,  唐菁 ,  刘舒曼 ,  张锦川 ,  翟慎强 ,  卓宁 ,  王利军 ,  刘峰奇

IPC: G01N21/35 ,  G01N21/01 ,  G01J3/28 ,  G01J3/42

Abstract: 一种单片集成中红外多波长原位光谱检测器件及其制备方法，包括：量子级联激光器增益区，用于形成中红外光源，其中中红外光源为包括在N个波长处具有高边模抑制比的激光，且每种波长对应一种待测物的特征吸收峰；阵列波导光栅无源波导区，用于将中红外光源的N种波长进行分离，以得到N束分光；被测物质吸收区，包含N个介电负载表面等离子波导，两端分别与阵列波导光栅无源波导区对应输出波导和对应后续探测器相连接；以及量子级联探测器响应区，经被测物质吸收区的光入射到量子级联探测器中，反映出其入射波长对应的被测物有无或浓度变化的信息，可被测物的检测结果，其中，N为大于1的整数。