公开(公告)号：CN113794107B

公开(公告)日：2024-01-23

申请号：CN202111083395.2

申请日：2021-09-15

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 管延娇 ,  王利军 ,  卓宁 ,  张锦川 ,  翟慎强 ,  刘舒曼 ,  刘俊岐 ,  刘峰奇

IPC: H01S5/34 ,  H01S5/20 ,  H01S5/125 ,  H01S5/12

Abstract: 本发明提供一种量子级联激光器，包括由下至上依次设置的衬底、下波导层、下限制层、第一有源层、间隔层、第二有源层、上限制层以及上波导层；其中，所述量子级联激光器包括两个布拉格反射镜以及两个增益区，两个所述布拉格反射镜以及两个所述增益区沿横向依次间隔交错设置，所述上限制层对应两个所述增益区设置有布拉格光栅结构。在本发明提供的技术方案中，上波导层上设置有两个增益区，在上限制层上对应制备有两个布拉格光栅结构，调控双有源区的激射特性，并通过在上波导层交错设置布拉格反射镜以及增益区，实现分区驱动，可以获得精准波长调控的紧凑型、大功率双波长量子级联激光器。

公开(公告)号：CN116885562A

公开(公告)日：2023-10-13

申请号：CN202310920335.4

申请日：2023-07-25

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 鹿希雨 ,  管延娇 ,  孙瑞轩 ,  刘舒曼 ,  刘俊岐 ,  王利军 ,  刘峰奇 ,  张锦川 ,  翟慎强 ,  卓宁

IPC: H01S5/34 ,  H01S5/10 ,  H01S5/06 ,  H01S5/0683

Abstract: 本发明提供一种环形外腔带间级联激光器及其制备方法，包括：带间级联激光器；在带间级联激光器的前腔面侧镀上一层减反膜；带间级联激光器的前腔面侧和后腔面侧分别设置有前腔面直透镜和后腔面直透镜；闪耀光栅，设置于前腔面直透镜的前腔面侧；镀金反射镜组，包括沿闪耀光栅的出射光路上设置的第一镀金反射镜、第二镀金反射镜和第三镀金反射镜；其中，前腔面直透镜、闪耀光栅、第一镀金反射镜、第二镀金反射镜、第三镀金反射镜及后腔面直透镜形成环形光路腔；带间级联激光器的前腔面侧发射出光信号，通过环形光路腔后，从后腔面侧再次入射到带间级联激光器。该装置可比零级衍射光输出的Littrow外腔获得更宽的光谱调谐范围和更大的输出功率。

公开(公告)号：CN113794107A

公开(公告)日：2021-12-14

申请号：CN202111083395.2

申请日：2021-09-15

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 管延娇 ,  王利军 ,  卓宁 ,  张锦川 ,  翟慎强 ,  刘舒曼 ,  刘俊岐 ,  刘峰奇

IPC: H01S5/34 ,  H01S5/20 ,  H01S5/125 ,  H01S5/12

Abstract: 本发明提供一种量子级联激光器，包括由下至上依次设置的衬底、下波导层、下限制层、第一有源层、间隔层、第二有源层、上限制层以及上波导层；其中，所述量子级联激光器包括两个布拉格反射镜以及两个增益区，两个所述布拉格反射镜以及两个所述增益区沿横向依次间隔交错设置，所述上限制层对应两个所述增益区设置有布拉格光栅结构。在本发明提供的技术方案中，上波导层上设置有两个增益区，在上限制层上对应制备有两个布拉格光栅结构，调控双有源区的激射特性，并通过在上波导层交错设置布拉格反射镜以及增益区，实现分区驱动，可以获得精准波长调控的紧凑型、大功率双波长量子级联激光器。