公开(公告)号：CN118016527A

公开(公告)日：2024-05-10

申请号：CN202410171590.8

申请日：2024-02-06

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 韩煦 ,  金鹏 ,  王镇 ,  曹繁秋 ,  屈鹏霏 ,  赵志伟 ,  王占国

IPC: H01L21/329 ,  H01L29/872 ,  H01L29/16

Abstract: 提供了一种肖特基势垒二极管能量转换器的制备方法，所述方法包括以下步骤：对衬底层进行离子注入，在所述衬底层内部形成损伤层，所述损伤层将所述衬底层间隔为第一衬底层和第二衬底层，所述第一衬底层位于离子注入经过区域；退火处理，使所述损伤层完全石墨化形成石墨层；在所述第一衬底层上依次外延生长非故意掺杂金刚石外延层和p型金刚石外延层；剥离得到包括所述第一衬底层、所述非故意掺杂金刚石外延层以及所述p型金刚石外延层的复合结构层；在所述复合结构层中的p型金刚石外延层一侧制备欧姆接触电极以及在第一衬底层一侧制备肖特基接触金属电极。

公开(公告)号：CN118169087A

公开(公告)日：2024-06-11

申请号：CN202410198627.6

申请日：2024-02-22

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 曹繁秋 ,  王镇 ,  金鹏 ,  屈鹏霏 ,  韩煦 ,  赵志伟 ,  王占国

IPC: G01N21/64 ,  G01N21/31 ,  G01N21/33 ,  G01N21/01

Abstract: 本发明提供一种可同时获得深紫外显微荧光图像和荧光光谱的装置，包括：深紫外激发光模块，用于激发出待测样品的荧光；光学显微镜模块，包括二向色镜、长波通滤光镜和第一分光镜等，二向色镜用于偏转深紫外激光，以使深紫外激光射向待测样品，从而激发出荧光，并使从样品发出的荧光透过，长波通滤光镜用于对穿过二向色镜的荧光进行过滤，以滤除深紫外激光透过荧光，第一分光镜用于将过滤后的荧光分成第一束荧光和第二束荧光；显微荧光成像模块和显微荧光光谱模块并行连接于光学显微镜模块的输出端，显微荧光成像模块用于捕捉第一束荧光以获得深紫外波段的荧光图像，显微荧光光谱模块用于捕捉第二束荧光以获得深紫外波段的荧光光谱。