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公开(公告)号：CN102436114A
公开(公告)日：2012-05-02
申请号：CN201110384428.7
申请日：2011-11-28
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本发明公开了一种对铁电晶体材料进行极化的极化电极，用于制备出小周期周期性和准周期周期性反转铁电晶体，该极化电极包括：梳状光栅极化电极，具有多个梳状的光栅电极条；以及设置于该梳状光栅极化电极的光栅电极条之间的、宽度小于该光栅电极条间距的条状矩形电极。利用本发明，解决了利用外加电场极化方式来制备小周期周期性和准周期周期性反转铁电晶体材料的问题，实现了对周期小于5μm的小周期周期性和准周期周期性反转铁电晶体材料的周期极化，能够制备出小周期周期性和准周期周期性反转铁电晶体。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102436114B
公开(公告)日：2014-05-28
申请号：CN201110384428.7
申请日：2011-11-28
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本发明公开了一种对铁电晶体材料进行极化的极化电极，用于制备出小周期周期性和准周期周期性反转铁电晶体，该极化电极包括：梳状光栅极化电极，具有多个梳状的光栅电极条；以及设置于该梳状光栅极化电极的光栅电极条之间的、宽度小于该光栅电极条间距的条状矩形电极。利用本发明，解决了利用外加电场极化方式来制备小周期周期性和准周期周期性反转铁电晶体材料的问题，实现了对周期小于5μm的小周期周期性和准周期周期性反转铁电晶体材料的周期极化，能够制备出小周期周期性和准周期周期性反转铁电晶体。
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公开(公告)号：CN102520561B
公开(公告)日：2013-12-25
申请号：CN201110431555.8
申请日：2011-12-21
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本发明公开了一种大厚度周期极化铁电晶体材料的制备方法，包括：在铁电晶体材料的+z面蒸镀透明电极；将该蒸镀有透明电极的铁电晶体材料的+z面与另一铁电晶体材料的+z面进行键合，得到复合铁电晶体；在该复合铁电晶体上下两面均蒸镀金属电极，然后对蒸镀金属电极的复合铁电晶体进行极化，得到大厚度周期极化铁电晶体材料。利用本发明，可制备出大厚度周期极化铁电晶体材料。
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公开(公告)号：CN102321920A
公开(公告)日：2012-01-18
申请号：CN201110241438.5
申请日：2011-08-22
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: C30B30/00
Abstract: 本发明涉及晶体材料处理技术领域，公开了一种制备大厚度周期极化铁电晶体材料的方法，包括：在铁电晶体材料上施加高脉冲电压，将该铁电晶体材料极化为周期性反转铁电晶体；以及对该周期性反转铁电晶体进行切割、抛光和对准键合，完成大厚度周期极化铁电晶体材料的制备。利用本发明可制备出大厚度的周期极化铁电晶体材料。
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公开(公告)号：CN102122105A
公开(公告)日：2011-07-13
申请号：CN201110062127.2
申请日：2011-03-15
Applicant: 中国科学院半导体研究所
CPC classification number: G02F1/3558
Abstract: 本发明涉及晶体材料后处理技术领域，公开了一种铁电晶体材料的极化方法，包括两步或多步，用于制备出小周期的周期性和准周期性反转铁电晶体；其中，第一步是将高脉冲电压施加到该铁电晶体材料上，实现大周期铁电晶体极化，第二步是在第一步的基础上再极化一次，如果是多步极化，则第三步在第二步的基础上再极化一次，依此类推直到制作出所需要的周期。利用本发明，可制作出均匀的小周期的周期性极化铁电晶体。
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公开(公告)号：CN102520561A
公开(公告)日：2012-06-27
申请号：CN201110431555.8
申请日：2011-12-21
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本发明公开了一种大厚度周期极化铁电晶体材料的制备方法，包括：在铁电晶体材料的+z面蒸镀透明电极；将该蒸镀有透明电极的铁电晶体材料的+z面与另一铁电晶体材料的+z面进行键合，得到复合铁电晶体；在该复合铁电晶体上下两面均蒸镀金属电极，然后对蒸镀金属电极的复合铁电晶体进行极化，得到大厚度周期极化铁电晶体材料。利用本发明，可制备出大厚度周期极化铁电晶体材料。
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