一种离子轰击减薄装置
    2.
    实用新型

    公开(公告)号:CN88206944U

    公开(公告)日:1988-12-28

    申请号:CN88206944

    申请日:1988-06-17

    Abstract: 本实用新型公开了一种新的离子轰击减薄装置,它既可以选用氩离子束流轰击样品,又可以选用碘离子束流轰击样品,设在样品室两侧的碘蒸气升华腔为形成碘离子束提供碘蒸气流。利用这种装置能够制备更多种材料的薄膜样品,满足透射电子显微镜的观测需求。

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