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公开(公告)号：CN115102033B
公开(公告)日：2024-08-30
申请号：CN202210848840.8
申请日：2022-07-19
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本发明公开了一种半导体锁模激光器，包括：衬底；形成在衬底上的第一外延层，配置为响应于外加泵浦电流而产生激光；非对称Y形脊波导，形成在第一外延层上，包括：饱和吸收区，位于非对称Y形脊波导的合束端；多模干涉反射镜，位于非对称Y形脊波导的第一分束端；增益区，设置在饱和吸收区与多模干涉反射镜之间，且位于第一分束端；第一反射膜层，位于饱和吸收区的远离增益区的一端面，其中，饱和吸收区、增益区、多模干涉反射镜与第一反射膜层构成谐振腔，谐振腔适用于产生锁模脉冲；锥形功率放大区，位于非对称Y形脊波导的第二分束端，适用于放大锁模脉冲；以及第二反射膜层，设置在锥形放大区的输出端面，适用于输出放大后的锁模脉冲。
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公开(公告)号：CN115411610B
公开(公告)日：2025-03-28
申请号：CN202210940474.9
申请日：2022-08-03
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本发明涉及半导体光电子技术领域，提供一种锁模激光器及其驱动方法，该锁模激光器包括：饱和吸收体、输入端波导区、多模干涉耦合器以及多个不同长度的反射臂，每个反射臂包括依次排列的输出端波导区、相位控制区以及多模干涉反射镜；其中，饱和吸收体设置于输入端波导区的一侧，输入端波导区的另一侧设置于多模干涉耦合器的输入端，多个不同长度的输出端波导区分别设置于多模干涉耦合器的多个输出端，多个不同长度的反射臂分别与饱和吸收体的端面构成多个不同腔长的子谐振腔，不同腔长的子谐振腔对应不同的锁模脉冲重复频率。本发明可以有效减小脉冲演化过程中的非线性效应，实现多种重复频率可切换的的大功率锁模脉冲输出。
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公开(公告)号：CN115102033A
公开(公告)日：2022-09-23
申请号：CN202210848840.8
申请日：2022-07-19
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本发明公开了一种半导体锁模激光器，包括：衬底；形成在衬底上的第一外延层，配置为响应于外加泵浦电流而产生激光；非对称Y形脊波导，形成在第一外延层上，包括：饱和吸收区，位于非对称Y形脊波导的合束端；多模干涉反射镜，位于非对称Y形脊波导的第一分束端；增益区，设置在饱和吸收区与多模干涉反射镜之间，且位于第一分束端；第一反射膜层，位于饱和吸收区的远离增益区的一端面，其中，饱和吸收区、增益区、多模干涉反射镜与第一反射膜层构成谐振腔，谐振腔适用于产生锁模脉冲；锥形功率放大区，位于非对称Y形脊波导的第二分束端，适用于放大锁模脉冲；以及第二反射膜层，设置在锥形放大区的输出端面，适用于输出放大后的锁模脉冲。
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公开(公告)号：CN115411610A
公开(公告)日：2022-11-29
申请号：CN202210940474.9
申请日：2022-08-03
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本发明涉及半导体光电子技术领域，提供一种锁模激光器及其驱动方法，该锁模激光器包括：饱和吸收体、输入端波导区、多模干涉耦合器以及多个不同长度的反射臂，每个反射臂包括依次排列的输出端波导区、相位控制区以及多模干涉反射镜；其中，饱和吸收体设置于输入端波导区的一侧，输入端波导区的另一侧设置于多模干涉耦合器的输入端，多个不同长度的输出端波导区分别设置于多模干涉耦合器的多个输出端，多个不同长度的反射臂分别与饱和吸收体的端面构成多个不同腔长的子谐振腔，不同腔长的子谐振腔对应不同的锁模脉冲重复频率。本发明可以有效减小脉冲演化过程中的非线性效应，实现多种重复频率可切换的的大功率锁模脉冲输出。
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