公开(公告)号：CN105572086A

公开(公告)日：2016-05-11

申请号：CN201510930539.1

申请日：2015-12-15

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 张宏毅 ,  陈涌海

IPC: G01N21/64

CPC classification number: G01N21/6456

Abstract: 本发明提出了一种用光学方法精确自组织量子点空间位置的方法。该方法利用金圆盘作标记，用共聚焦扫描显微镜测量标记样品的反射信号和荧光信号，通过分析成像数据，仔细校正系统误差之后，得到量子点相对金属标记的空间位置，实现单个量子点的定位。该方法具有通用性，可以用于各种存在荧光性质的单个纳米结构的定位工作。该方法通过详细的误差分析显著提高定位精度，能够满足绝大部分工作中对定位精度的要求。该方法利用自动控制系统完成测量，利用计算机程序完成数据处理，可以实现大批量量子点的定位工作，具有极强的工程应用性。

公开(公告)号：CN104502315A

公开(公告)日：2015-04-08

申请号：CN201410720085.0

申请日：2014-12-02

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 秦旭东 ,  张宏毅 ,  叶小玲 ,  陈涌海

IPC: G01N21/64

Abstract: 本发明公开了一种微区荧光扫描测量系统，包括：激发光光源；激发光路部分，输入端与激发光光源连接，输出端与真空样品室相连，用于引导激光入射至真空样品室内的样品；荧光信号收集光路部分，收集样品上发出的荧光信号；微区成像光路部分，与激发光路和荧光信号收集光路相连，用于样品表面形貌的微区成像和定位；台面，激发光路部分和荧光信号收集光路部分置于台面上；二维电动平移系统，带动台面作二维扫描运动；真空样品室，用于放置样品；真空泵，用于保持真空样品室真空度；低温系统和温控装置，保持真空样品室真空度以及维持样品室处于需要的低温环境；光栅光谱仪，用于荧光信号的处理；CCD探测器，用于荧光信号的采集。

公开(公告)号：CN105572086B

公开(公告)日：2018-07-10

申请号：CN201510930539.1

申请日：2015-12-15

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 张宏毅 ,  陈涌海

IPC: G01N21/64

Abstract: 本发明提出了一种用光学方法精确自组织量子点空间位置的方法。该方法利用金圆盘作标记，用共聚焦扫描显微镜测量标记样品的反射信号和荧光信号，通过分析成像数据，仔细校正系统误差之后，得到量子点相对金属标记的空间位置，实现单个量子点的定位。该方法具有通用性，可以用于各种存在荧光性质的单个纳米结构的定位工作。该方法通过详细的误差分析显著提高定位精度，能够满足绝大部分工作中对定位精度的要求。该方法利用自动控制系统完成测量，利用计算机程序完成数据处理，可以实现大批量量子点的定位工作，具有极强的工程应用性。

公开(公告)号：CN104502281A

公开(公告)日：2015-04-08

申请号：CN201410821124.6

申请日：2014-12-25

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 张宏毅 ,  陈涌海 ,  高寒松

IPC: G01N21/21

Abstract: 本发明提供了一种光弹调制测量系统。该光弹调制测量系统中，引入一参考信号，该参考信号中包含了光弹调制器对偏振状态的调制偏差的信息，通过该参考信号抑制因光弹调制器调制状态偏差导致的数据噪声。

公开(公告)号：CN103940537A

公开(公告)日：2014-07-23

申请号：CN201410143013.4

申请日：2014-04-10

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 高寒松 ,  陈涌海 ,  刘雨 ,  张宏毅 ,  黄威 ,  朱来攀 ,  李远 ,  邬庆

IPC: G01L1/24 ,  G01N21/21

Abstract: 本发明公开了一种材料的微区应力测试系统，其采用微区透射差分偏振谱法(μ-TDS，microscopic transmission difference spectroscopy)建立。整个测试系统包括线偏振激光源(1)、光相位调制器(2)、斩波器(3)、聚焦物镜(41)、收集物镜(42)、检偏器(6)和信号采集系统(7)，采用计算机控制逐点扫描并采集处理数据。本发明通过测量材料表面相互垂直的两个方向上的光强反射比率差ΔT／T求得测试材料的应力分布，可以克服现有测试系统带来的负面影响，对于材料不具有损伤性，小范围的表征材料应力的分布情况。且测试过程简单快捷，测试精度高。

公开(公告)号：CN103308224A

公开(公告)日：2013-09-18

申请号：CN201310194074.9

申请日：2013-05-23

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 高寒松 ,  陈涌海 ,  张宏毅 ,  刘雨

IPC: G01L1/24

Abstract: 本发明公开了一种半导体微区应力测试系统。系统包括激光光源、空间滤波器、起偏器、检偏器、物镜、载物台、光弹性调制器、探测器及锁相放大器，采用计算机控制逐点扫描并采集处理数据。通过测量材料表面相互垂直的两个方向上的光强反射比率差ΔR/R求得测试材料的应力分布。本发明可以克服其它测试系统带来的负面影响，对于材料不具有损伤性，小范围的表征材料应力的分布情况，测试过程简单快捷，测试精度高。