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发明公开
10-14微米同时响应的双色量子阱红外探测器及其制作方法无效

公开(公告)号：CN101847672A

公开(公告)日：2010-09-29

申请号：CN201010171382.6

申请日：2010-05-07

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 刘小宇 , 马文全 , 张艳华 , 种明

IPC: H01L31/18 , H01L31/101

CPC classification number: Y02P70/521

Abstract: 本发明提供一种10-14微米同时响应的双色量子阱红外探测器的制作方法，包括如下步骤：(A)将一衬底烘干、脱氧，以其作为量子阱红外探测器的承载体；(B)利用外延设备在衬底上依次生长N型掺杂的下欧姆接触层、量子阱层，以及N型掺杂的上欧姆接触层；(C)采用光刻及湿法刻蚀技术，将量子阱层及上欧姆接触层的一侧刻蚀，使下欧姆接触层的一侧形成一台面；(D)采用机械抛光的方法，将衬底及下欧姆接触层远离台面的一侧抛成45°抛角，形成入射光窗口；(E)烘干；(F)在上欧姆接触层的表面压焊第一n型电极；(G)在下欧姆接触层一侧形成的台面上压焊第二n型电极。

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