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公开(公告)号:CN119433447A
公开(公告)日:2025-02-14
申请号:CN202411630637.9
申请日:2024-11-15
Applicant: 中国科学院兰州化学物理研究所
Abstract: 本发明提供金属氮化物基复合涂层及其制备方法,涉及固体润滑涂层技术领域,该金属氮化物基复合涂层由MoN金属氮化物作为基础相,高熵合金(Cr‑Al‑Ti‑Nb‑V)掺杂作为MoN的增强相,MoS2以及Ag作为润滑相组成。制备方法包括如下步骤,采用高功率脉冲磁控溅射技术,在基体表面沉积Cr‑Al‑Ti‑Nb‑V复配MoS2及Ag的MoN基复合涂层。本发明具有改善MoS2基薄膜材料高温环境下润滑性能差和MoN涂层摩擦系数高的有益效果。
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公开(公告)号:CN119800281A
公开(公告)日:2025-04-11
申请号:CN202411957658.1
申请日:2024-12-30
Applicant: 中国科学院兰州化学物理研究所
Abstract: 本发明提供TiCN复合涂层及其制备方法,涉及涂层润滑技术领域,该TiCN复合涂层包括三层,底层为Ti涂层,中间层为TiN涂层,表层为TiCN涂层,其中各元素及其原子百分比为N 20~30at.%,Ti 15~30at.%以及C 40~65at.%,厚度为710~1030nm,采用高功率脉冲磁控溅射技术,在基体表面依次沉积Ti过渡层,TiN涂层和TiCN涂层。本发明具有改善TiCN涂层摩擦系数,提高涂层硬度以及与基体的结合强度,降低切削刀具的摩擦磨损,提高工作稳定性与使用寿命。
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公开(公告)号:CN115928019B
公开(公告)日:2024-10-29
申请号:CN202211509456.1
申请日:2022-11-29
Applicant: 中国科学院兰州化学物理研究所
Abstract: 本发明涉及一种具有高温自润滑周期性多层结构涂层,该周期性多层结构涂层由基体、依次沉积在基体外表面的Cr结合层和(CrNbTiAlV)CNx/MoN顶层组成;所述(CrNbTiAlV)CNx/MoN顶层由(CrNbTiAlV)CNx层和MoN层交替沉积所得,调制周期为50~420 nm,调制比为1:1~1.2:1。同时,本发明还公开了该周期性多层结构涂层的制备方法。本发明采用磁控溅射技术,通过改变单层涂层的沉积时间,制备出具有不同调制周期的(CrNbTiAlV)CNx/MoN多层结构涂层;所制备的(CrNbTiAlV)CNx/MoN多层复合涂层层间界面平整,周期性结构清晰且致密,在高温下具有良好的自润滑性能,可用于高温环境中减摩耐磨部件。
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公开(公告)号:CN118726907A
公开(公告)日:2024-10-01
申请号:CN202410774081.4
申请日:2024-06-17
Applicant: 中国科学院兰州化学物理研究所
Abstract: 本发明提供Ag‑MoS2复合润滑涂层及其制备方法,该复合润滑涂层通过磁控溅射技术制备Ag掺杂MoS2复合润滑涂层,其中Ag原子百分比为5~30 at.%,本发明通过金属掺杂MoS2涂层,具有降低复合涂层真空环境中摩擦系数,满足航天器关键机械运动部件对固体润滑涂层的要求。
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公开(公告)号:CN118726906A
公开(公告)日:2024-10-01
申请号:CN202410765807.8
申请日:2024-06-14
Applicant: 中国科学院兰州化学物理研究所
Abstract: 本发明提供具有高膜基结合力的TiN涂层,该TiN涂层按照原子百分数比包括N 40~50 at.% 和Ti 50~60 at.%组成。该TiN涂层为采用高功率脉冲磁控溅射技术,先沉积Ti过渡层,后沉积TiN涂层,形成TiN涂层。本发明具有提高TiN涂层与基体之间结合强度,提高TiN涂层硬度的有益效果。
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公开(公告)号:CN118773558A
公开(公告)日:2024-10-15
申请号:CN202410765902.8
申请日:2024-06-14
Applicant: 中国科学院兰州化学物理研究所
Abstract: 本发明提供二硫化钼基纳米复合涂层及其制备方法,该纳米复合涂层为双层结构,底层为MoS2涂层,顶层为Mo‑S‑C‑N涂层,纳米复合涂层厚度为1300~2000 nm,单层所述MoS2涂层的厚度为1000 nm,单层所述Mo‑S‑C‑N涂层的厚度为300~1000 nm,所述Mo‑S‑C‑N涂层中元素成分按照原子百分比为:Mo为26~35.7 at.%,S为21.87~45 at.%,C为17~28.73 at.%,N为8.5~13.7 at.%,双层涂层均采用物理气相沉积制备。本发明具有提高复合涂层在真空环境下摩擦学性能的有益效果。
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公开(公告)号:CN117845169A
公开(公告)日:2024-04-09
申请号:CN202311711236.1
申请日:2023-12-13
Applicant: 中国科学院兰州化学物理研究所
Abstract: 本发明提供MoN基复合涂层及其制备方法,该复合涂层为(CrA l T i NbV)‑MoN;其所含元素按原子百分数计:Cr为1‑5at.%,A l为1‑5at.%,T i为1‑10at.%,Nb为1‑5at.%,V为1‑10at.%,Mo为20‑50at.%,N为30‑50at.%,该MoN基复合涂层采用高功率脉冲磁控溅射技术,利用多元合金拼接靶和纯钼靶制得。本发明提供的复合涂层具有较高的硬度,在高温条件下,可提高钢基体的摩擦磨损性能。
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公开(公告)号:CN115928019A
公开(公告)日:2023-04-07
申请号:CN202211509456.1
申请日:2022-11-29
Applicant: 中国科学院兰州化学物理研究所
Abstract: 本发明涉及一种具有高温自润滑周期性多层结构涂层,该周期性多层结构涂层由基体、依次沉积在基体外表面的Cr结合层和(CrNbTiAlV)CNx/MoN顶层组成;所述(CrNbTiAlV)CNx/MoN顶层由(CrNbTiAlV)CNx层和MoN层交替沉积所得,调制周期为50~420 nm,调制比为1:1~1.2:1。同时,本发明还公开了该周期性多层结构涂层的制备方法。本发明采用磁控溅射技术,通过改变单层涂层的沉积时间,制备出具有不同调制周期的(CrNbTiAlV)CNx/MoN多层结构涂层;所制备的(CrNbTiAlV)CNx/MoN多层复合涂层层间界面平整,周期性结构清晰且致密,在高温下具有良好的自润滑性能,可用于高温环境中减摩耐磨部件。
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公开(公告)号:CN118880258A
公开(公告)日:2024-11-01
申请号:CN202410931482.6
申请日:2024-07-12
Applicant: 中国科学院兰州化学物理研究所
Abstract: 本发明高熵合金纳米复合涂层及其制备方法,该复合涂层包括Cr过渡层、在Cr过渡层表面交替沉积的(CrAlTiNbV)Nx高熵氮化物涂层以及C涂层,采用非平衡磁控溅射分别沉积多层结构,周期性结构清晰且致密。本发明具有提高复合涂层与基体之间的结合力,同时兼顾润滑性能和摩擦性能的有益效果。
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公开(公告)号:CN118639198A
公开(公告)日:2024-09-13
申请号:CN202410584166.6
申请日:2024-05-11
Applicant: 中国科学院兰州化学物理研究所
Abstract: 本发明提供了一种纳米复合/多层结构二硫化钨基薄膜及其制备方法,属于固体润滑薄膜技术领域。所述薄膜的制备方法,包括以下步骤:首先,得到预处理的基体。然后,利用磁控溅射沉积技术,用纯WS2‑Au靶进行射频溅射沉积WS2‑Au复合层,用Ti靶直流溅射沉积Ti薄层,所述的WS2‑Au复合层与Ti层呈周期性、交替沉积至薄膜预设厚度,即可得到纳米复合/多层结构WS2‑Au/Ti薄膜。本发明选用与WS2晶体相容性良好的Au、Ti元素优化薄膜的组分与结构,设计制备了一种具有基面择优取向、致密的纳米复合/多层结构WS2‑Au/Ti薄膜,其中Au原子百分含量优选为0.1~10%。这种纳米复合/多层结构固体润滑薄膜材料在真空环境下实现了兼具高耐磨性、长寿命与超低摩擦系数的有效统一。
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