公开(公告)号：CN119800281A

公开(公告)日：2025-04-11

申请号：CN202411957658.1

申请日：2024-12-30

Applicant: 中国科学院兰州化学物理研究所

Inventor： 郝俊英 ,  鲁晓龙 ,  牟存礼 ,  刘维民 ,  鲁艳 ,  剡珍 ,  张晓

IPC: C23C14/06 ,  C23C14/02 ,  C23C14/16 ,  C23C14/35

Abstract: 本发明提供TiCN复合涂层及其制备方法，涉及涂层润滑技术领域，该TiCN复合涂层包括三层，底层为Ti涂层，中间层为TiN涂层，表层为TiCN涂层，其中各元素及其原子百分比为N 20～30at.％，Ti 15～30at.％以及C 40～65at.％，厚度为710～1030nm，采用高功率脉冲磁控溅射技术，在基体表面依次沉积Ti过渡层，TiN涂层和TiCN涂层。本发明具有改善TiCN涂层摩擦系数，提高涂层硬度以及与基体的结合强度，降低切削刀具的摩擦磨损，提高工作稳定性与使用寿命。

公开(公告)号：CN118726906A

公开(公告)日：2024-10-01

申请号：CN202410765807.8

申请日：2024-06-14

Applicant: 中国科学院兰州化学物理研究所

Inventor： 鲁晓龙 ,  郝俊英 ,  鲁艳 ,  牟存礼 ,  剡珍 ,  张晓

IPC: C23C14/06 ,  C23C14/35 ,  C23C14/34

Abstract: 本发明提供具有高膜基结合力的TiN涂层，该TiN涂层按照原子百分数比包括N 40~50 at.% 和Ti 50~60 at.%组成。该TiN涂层为采用高功率脉冲磁控溅射技术，先沉积Ti过渡层，后沉积TiN涂层，形成TiN涂层。本发明具有提高TiN涂层与基体之间结合强度，提高TiN涂层硬度的有益效果。