公开(公告)号：CN119800281A

公开(公告)日：2025-04-11

申请号：CN202411957658.1

申请日：2024-12-30

Applicant: 中国科学院兰州化学物理研究所

Inventor： 郝俊英 ,  鲁晓龙 ,  牟存礼 ,  刘维民 ,  鲁艳 ,  剡珍 ,  张晓

IPC: C23C14/06 ,  C23C14/02 ,  C23C14/16 ,  C23C14/35

Abstract: 本发明提供TiCN复合涂层及其制备方法，涉及涂层润滑技术领域，该TiCN复合涂层包括三层，底层为Ti涂层，中间层为TiN涂层，表层为TiCN涂层，其中各元素及其原子百分比为N 20～30at.％，Ti 15～30at.％以及C 40～65at.％，厚度为710～1030nm，采用高功率脉冲磁控溅射技术，在基体表面依次沉积Ti过渡层，TiN涂层和TiCN涂层。本发明具有改善TiCN涂层摩擦系数，提高涂层硬度以及与基体的结合强度，降低切削刀具的摩擦磨损，提高工作稳定性与使用寿命。

公开(公告)号：CN118773558A

公开(公告)日：2024-10-15

申请号：CN202410765902.8

申请日：2024-06-14

Applicant: 中国科学院兰州化学物理研究所

Inventor： 鲁晓龙 ,  郝俊英 ,  鲁艳 ,  刘维民 ,  剡珍 ,  张晓

IPC: C23C14/35 ,  C23C14/06 ,  C23C14/02

Abstract: 本发明提供二硫化钼基纳米复合涂层及其制备方法，该纳米复合涂层为双层结构，底层为MoS2涂层，顶层为Mo‑S‑C‑N涂层，纳米复合涂层厚度为1300~2000 nm，单层所述MoS2涂层的厚度为1000 nm，单层所述Mo‑S‑C‑N涂层的厚度为300~1000 nm，所述Mo‑S‑C‑N涂层中元素成分按照原子百分比为：Mo为26～35.7 at.%，S为21.87～45 at.%，C为17～28.73 at.%，N为8.5～13.7 at.%，双层涂层均采用物理气相沉积制备。本发明具有提高复合涂层在真空环境下摩擦学性能的有益效果。

公开(公告)号：CN119433447A

公开(公告)日：2025-02-14

申请号：CN202411630637.9

申请日：2024-11-15

Applicant: 中国科学院兰州化学物理研究所

Inventor： 鲁晓龙 ,  郝俊英 ,  剡珍 ,  刘维民 ,  杨柳青 ,  鲁艳 ,  张晓

IPC: C23C14/16 ,  C22C30/00 ,  C23C14/35

Abstract: 本发明提供金属氮化物基复合涂层及其制备方法，涉及固体润滑涂层技术领域，该金属氮化物基复合涂层由MoN金属氮化物作为基础相，高熵合金(Cr‑Al‑Ti‑Nb‑V)掺杂作为MoN的增强相，MoS2以及Ag作为润滑相组成。制备方法包括如下步骤，采用高功率脉冲磁控溅射技术，在基体表面沉积Cr‑Al‑Ti‑Nb‑V复配MoS2及Ag的MoN基复合涂层。本发明具有改善MoS2基薄膜材料高温环境下润滑性能差和MoN涂层摩擦系数高的有益效果。

公开(公告)号：CN118726907A

公开(公告)日：2024-10-01

申请号：CN202410774081.4

申请日：2024-06-17

Applicant: 中国科学院兰州化学物理研究所

Inventor： 郝俊英 ,  鲁晓龙 ,  鲁艳 ,  剡珍 ,  张晓 ,  刘建

IPC: C23C14/16 ,  C23C14/35

Abstract: 本发明提供Ag‑MoS2复合润滑涂层及其制备方法，该复合润滑涂层通过磁控溅射技术制备Ag掺杂MoS2复合润滑涂层，其中Ag原子百分比为5~30 at.%，本发明通过金属掺杂MoS2涂层，具有降低复合涂层真空环境中摩擦系数，满足航天器关键机械运动部件对固体润滑涂层的要求。

公开(公告)号：CN118726906A

公开(公告)日：2024-10-01

申请号：CN202410765807.8

申请日：2024-06-14

Applicant: 中国科学院兰州化学物理研究所

Inventor： 鲁晓龙 ,  郝俊英 ,  鲁艳 ,  牟存礼 ,  剡珍 ,  张晓

IPC: C23C14/06 ,  C23C14/35 ,  C23C14/34

Abstract: 本发明提供具有高膜基结合力的TiN涂层，该TiN涂层按照原子百分数比包括N 40~50 at.% 和Ti 50~60 at.%组成。该TiN涂层为采用高功率脉冲磁控溅射技术，先沉积Ti过渡层，后沉积TiN涂层，形成TiN涂层。本发明具有提高TiN涂层与基体之间结合强度，提高TiN涂层硬度的有益效果。

公开(公告)号：CN118880258A

公开(公告)日：2024-11-01

申请号：CN202410931482.6

申请日：2024-07-12

Applicant: 中国科学院兰州化学物理研究所

Inventor： 鲁晓龙 ,  郝俊英 ,  鲁艳 ,  剡珍 ,  张晓 ,  王琮

IPC: C23C14/35 ,  C23C14/16 ,  C23C14/06 ,  C23C14/02

Abstract: 本发明高熵合金纳米复合涂层及其制备方法，该复合涂层包括Cr过渡层、在Cr过渡层表面交替沉积的(CrAlTiNbV)Nx高熵氮化物涂层以及C涂层，采用非平衡磁控溅射分别沉积多层结构，周期性结构清晰且致密。本发明具有提高复合涂层与基体之间的结合力，同时兼顾润滑性能和摩擦性能的有益效果。

公开(公告)号：CN118639198A

公开(公告)日：2024-09-13

申请号：CN202410584166.6

申请日：2024-05-11

Applicant: 中国科学院兰州化学物理研究所

Inventor： 剡珍 ,  郝俊英 ,  刘建 ,  鲁晓龙 ,  鲁艳 ,  张晓

IPC: C23C14/35 ,  C23C14/06 ,  C23C14/14 ,  B82Y40/00 ,  B82Y30/00

Abstract: 本发明提供了一种纳米复合/多层结构二硫化钨基薄膜及其制备方法，属于固体润滑薄膜技术领域。所述薄膜的制备方法，包括以下步骤：首先，得到预处理的基体。然后，利用磁控溅射沉积技术，用纯WS2‑Au靶进行射频溅射沉积WS2‑Au复合层，用Ti靶直流溅射沉积Ti薄层，所述的WS2‑Au复合层与Ti层呈周期性、交替沉积至薄膜预设厚度，即可得到纳米复合/多层结构WS2‑Au/Ti薄膜。本发明选用与WS2晶体相容性良好的Au、Ti元素优化薄膜的组分与结构，设计制备了一种具有基面择优取向、致密的纳米复合/多层结构WS2‑Au/Ti薄膜，其中Au原子百分含量优选为0.1~10%。这种纳米复合/多层结构固体润滑薄膜材料在真空环境下实现了兼具高耐磨性、长寿命与超低摩擦系数的有效统一。

公开(公告)号：CN118639169A

公开(公告)日：2024-09-13

申请号：CN202410823761.0

申请日：2024-06-25

Applicant: 中国科学院兰州化学物理研究所

Inventor： 张晓 ,  郝俊英 ,  刘瑞文 ,  鲁晓龙 ,  剡珍

IPC: C23C14/02 ,  C23C14/06 ,  C23C14/58 ,  C04B41/89

Abstract: 本发明提供超疏水类金刚石碳基涂层，该涂层由氢化非晶硅底层，硅、氟共掺杂类金刚石过渡层和氟掺杂类金刚石顶层组成，通过如下步骤制得：利用激光在基材表面织构出微纳米结构，而后沉积多层涂层，通过基材表面织构化和沉积低表面能涂层两种方式相结合，提升基材的疏水性能。本发明具有使得基材表面由亲水转变为超疏水，从而获得优异的疏水性能的有益效果。