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发明公开
高熵合金纳米复合涂层及其制备方法审中-实审

公开(公告)号：CN118880258A

公开(公告)日：2024-11-01

申请号：CN202410931482.6

申请日：2024-07-12

Applicant: 中国科学院兰州化学物理研究所

Inventor： 鲁晓龙 , 郝俊英 , 鲁艳 , 剡珍 , 张晓 , 王琮

IPC: C23C14/35 , C23C14/16 , C23C14/06 , C23C14/02

Abstract: 本发明高熵合金纳米复合涂层及其制备方法，该复合涂层包括Cr过渡层、在Cr过渡层表面交替沉积的(CrAlTiNbV)Nx高熵氮化物涂层以及C涂层，采用非平衡磁控溅射分别沉积多层结构，周期性结构清晰且致密。本发明具有提高复合涂层与基体之间的结合力，同时兼顾润滑性能和摩擦性能的有益效果。

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