公开(公告)号：CN106091903B

公开(公告)日：2018-10-26

申请号：CN201610365519.9

申请日：2016-05-27

Applicant: 中国科学院光电技术研究所

Inventor： 林昭珩 ,  杨伟 ,  吴时彬 ,  张海妮 ,  曹学东 ,  艾勇

IPC: G01B5/30 ,  G01B5/00

Abstract: 本发明涉及一种基于双平面定基准的大型旋臂弯沉量检测方法及装置，其精密轴系固定在平台上，旋臂依靠法兰盘固定在精密轴系上；第一平面镜与第二平面镜分别安装在两个四维调整架上，再分别安装在旋臂的中心和边缘两个位置；自准直仪安装在二维平移台上，放置在第一平面镜正前方；对准基片套在第一平面镜的圆周处，十字与小孔标识与第一平面镜的镜面平行。精密轴系带动旋臂及两块平面镜一起做匀速圆周运动，自准直仪发出的激光经两块平面镜反射形成自准直光路，实现对旋臂弯沉量的测试。本发明装置搭建简单、检测基准有效并准确传递、稳定性好。

公开(公告)号：CN106091903A

公开(公告)日：2016-11-09

申请号：CN201610365519.9

申请日：2016-05-27

Applicant: 中国科学院光电技术研究所

Inventor： 林昭珩 ,  杨伟 ,  吴时彬 ,  张海妮 ,  曹学东 ,  艾勇

IPC: G01B5/30 ,  G01B5/00

CPC classification number: G01B5/30 ,  G01B5/0004

Abstract: 本发明涉及一种基于双平面定基准的大型旋臂弯沉量检测方法及装置，其精密轴系固定在平台上，旋臂依靠法兰盘固定在精密轴系上；第一平面镜与第二平面镜分别安装在两个四维调整架上，再分别安装在旋臂的中心和边缘两个位置；自准直仪安装在二维平移台上，放置在第一平面镜正前方；对准基片套在第一平面镜的圆周处，十字与小孔标识与第一平面镜的镜面平行。精密轴系带动旋臂及两块平面镜一起做匀速圆周运动，自准直仪发出的激光经两块平面镜反射形成自准直光路，实现对旋臂弯沉量的测试。本发明装置搭建简单、检测基准有效并准确传递、稳定性好。