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公开(公告)号：CN116372675A
公开(公告)日：2023-07-04
申请号：CN202310442146.0
申请日：2023-04-23
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种非接触式抛光中恒力控制及间隙调整装置及方法，包括工件台、压力传感器、位移传感器、底座、微位移平台、加工头和加工件。通过压力传感器和位移传感器进行复合感知测量，加工头在静止状态时能够对加工件进行接触式传感来精准快速调控加工间隙；在加工头旋转加工时，压力传感器和位移传感器能够复合感知抛光压力和由于压力引起传感器变形产生的微位移，与初始值作对比，再通过微位移平台运动实现恒力控制。本发明解决了加工间隙无法快速精准调控，加工过程中抛光压力由于间隙变化无法实时监控与调整的问题。
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公开(公告)号：CN115781517A
公开(公告)日：2023-03-14
申请号：CN202211641376.1
申请日：2022-12-20
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明提供了一种用于弹性发射中抛光压力的控制装置及抛光压力确定方法。所述控制装置包括柔性铰链、微动板、力传感器、力驱动器、测距仪和固定板。微动板为可运动件，通过柔性铰链与固定板相连，此外，微动板还可通过力传感器和力驱动器与固定板相连；力传感器测量力驱动器施加于微动板上的力载荷；测距仪测量测距仪距微动板的距离。所述装置及算法可实时计算和控制弹性发射加工中的抛光压力，使加工过程中抛光压力满足预期要求。此外，本发明所提出的控制装置，可在抛光液液面之上工作，不受抛光液影响。
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公开(公告)号：CN115781517B
公开(公告)日：2024-05-17
申请号：CN202211641376.1
申请日：2022-12-20
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明提供了一种用于弹性发射中抛光压力的控制装置及抛光压力确定方法。所述控制装置包括柔性铰链、微动板、力传感器、力驱动器、测距仪和固定板。微动板为可运动件，通过柔性铰链与固定板相连，此外，微动板还可通过力传感器和力驱动器与固定板相连；力传感器测量力驱动器施加于微动板上的力载荷；测距仪测量测距仪距微动板的距离。所述装置及算法可实时计算和控制弹性发射加工中的抛光压力，使加工过程中抛光压力满足预期要求。此外，本发明所提出的控制装置，可在抛光液液面之上工作，不受抛光液影响。
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