公开(公告)号：CN105785073B

公开(公告)日：2019-02-22

申请号：CN201410815643.1

申请日：2014-12-19

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 ,  中国电子科技集团公司第四十九研究所

Inventor： 杨恒 ,  周伟 ,  李昕欣 ,  吴紫峰 ,  田雷 ,  海涛 ,  金建东 ,  刘智辉

IPC: G01P15/12

Abstract: 本发明提供一种压阻式加速度传感器及其制作方法，该传感器的改进点在于敏感结构部分，敏感结构中的质量块左右两侧对称设有相互独立的各四个敏感梁，每个敏感梁上设一个力敏电阻；四个敏感梁的两侧各设一个用于支撑质量块的支撑梁，将力敏电阻制作在独立的敏感梁上可减小敏感梁的宽度，从而显著减小敏感梁对结构倔强系数的影响，获得高灵敏度和高优值；敏感梁靠近质量块中线位置，其挠曲较小，可减小旁轴灵敏度。支撑梁靠近质量块边缘，其力臂长，可更好地抑制旁轴加速度引起的质量块扭转。支撑梁上表面较低，表面无氧化层，可减小氧化层应力引起的结构挠曲。敏感梁厚度大于支撑梁，可实现应力集中，从而提高灵敏度和优值。

公开(公告)号：CN105785073A

公开(公告)日：2016-07-20

申请号：CN201410815643.1

申请日：2014-12-19

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 ,  中国电子科技集团公司第四十九研究所

Inventor： 杨恒 ,  周伟 ,  李昕欣 ,  吴紫峰 ,  田雷 ,  海涛 ,  金建东 ,  刘智辉

IPC: G01P15/12

Abstract: 本发明提供一种压阻式加速度传感器及其制作方法，该传感器的改进点在于敏感结构部分，敏感结构中的质量块左右两侧对称设有相互独立的各四个敏感梁，每个敏感梁上设一个力敏电阻；四个敏感梁的两侧各设一个用于支撑质量块的支撑梁，将力敏电阻制作在独立的敏感梁上可减小敏感梁的宽度，从而显著减小敏感梁对结构倔强系数的影响，获得高灵敏度和高优值；敏感梁靠近质量块中线位置，其挠曲较小，可减小旁轴灵敏度。支撑梁靠近质量块边缘，其力臂长，可更好地抑制旁轴加速度引起的质量块扭转。支撑梁上表面较低，表面无氧化层，可减小氧化层应力引起的结构挠曲。敏感梁厚度大于支撑梁，可实现应力集中，从而提高灵敏度和优值。

公开(公告)号：CN204330809U

公开(公告)日：2015-05-13

申请号：CN201420837962.8

申请日：2014-12-19

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 ,  中国电子科技集团公司第四十九研究所

Inventor： 杨恒 ,  周伟 ,  李昕欣 ,  吴紫峰 ,  田雷 ,  海涛 ,  金建东 ,  刘智辉

IPC: G01P15/12

Abstract: 本实用新型提供一种压阻式加速度传感器，该传感器的改进点在于敏感结构部分，敏感结构中的质量块左右两侧对称设有相互独立的各四个敏感梁，每个敏感梁上设一个力敏电阻；四个敏感梁的两侧各设一个用于支撑质量块的支撑梁，将力敏电阻制作在独立的敏感梁上可减小敏感梁的宽度，从而显著减小敏感梁对结构倔强系数的影响，获得高灵敏度和高优值；敏感梁靠近质量块中线位置，其挠曲较小，可减小旁轴灵敏度。支撑梁靠近质量块边缘，其力臂长，可更好地抑制旁轴加速度引起的质量块扭转。支撑梁上表面较低，表面无氧化层，可减小氧化层应力引起的结构挠曲。敏感梁厚度大于支撑梁，可实现应力集中，从而提高灵敏度和优值。

公开(公告)号：CN113049995A

公开(公告)日：2021-06-29

申请号：CN201911378596.8

申请日：2019-12-27

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 陈方 ,  李昕欣 ,  周伟

IPC: G01R33/028

Abstract: 本发明提供一种具有接口检测电路的双谐振结构微机械洛伦兹力磁强计，包括：双谐振结构的微机械洛伦兹力磁强计，包括第一微机械谐振结构及第二微机械谐振结构，所述第一微机械谐振结构与所述第二微机械谐振结构相同，二者间隔分布于同一磁场内，且所述第一微机械谐振结构的表面及所述第二微机械谐振结构的表面与所述磁场相垂直；检测电路，与所述第一微机械谐振结构及所述第二微机械谐振结构电连接，所述接口检测电路包括全差分开环检测电路或静电力平衡闭环检测电路。本发明的磁强计具有较好的零漂移稳定性及较好的温度特性。

公开(公告)号：CN113049995B

公开(公告)日：2021-12-21

申请号：CN201911378596.8

申请日：2019-12-27

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 陈方 ,  李昕欣 ,  周伟

IPC: G01R33/028

Abstract: 本发明提供一种具有接口检测电路的双谐振结构微机械洛伦兹力磁强计，包括：双谐振结构的微机械洛伦兹力磁强计，包括第一微机械谐振结构及第二微机械谐振结构，所述第一微机械谐振结构与所述第二微机械谐振结构相同，二者间隔分布于同一磁场内，且所述第一微机械谐振结构的表面及所述第二微机械谐振结构的表面与所述磁场相垂直；检测电路，与所述第一微机械谐振结构及所述第二微机械谐振结构电连接，所述接口检测电路包括全差分开环检测电路或静电力平衡闭环检测电路。本发明的磁强计具有较好的零漂移稳定性及较好的温度特性。