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公开(公告)号：CN117894738A
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN202311818956.8
申请日：2023-12-26
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 , 上海为肯工业设计有限公司
IPC: H01L21/683 , H01L21/67 , H01L21/78
Abstract: 本发明涉及一种薄膜转移装置及方法，装置包括：包括容器、限位罩、托架和转移工装，所述限位罩固定在所述容器上，所述限位罩限定一两端开口的限位腔；所述托架包括托板，托板上设有多个贯穿所述托板的通孔和多个支撑柱，多个支撑柱上可拆卸固定有用于吸附薄膜的转移工装。本发明的薄膜转移装置及方法，基于化学腐蚀方法，无需复杂机械设备即可完成薄膜的大尺寸转移，转移效率高，可实现器件的批量制备；通过限位罩限位和托板缓冲，避免因水流导致的薄膜运动与碰撞，减小薄膜破损概率，保证转移薄膜的性能。
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公开(公告)号：CN113345781B
公开(公告)日：2024-11-01
申请号：CN202110571179.6
申请日：2021-05-25
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 为了解决现有技术中竖直型纳米空气沟道晶体管的栅极电压高的技术问题，本发明提出了一种纳米空气沟道晶体管，晶体管包括：阳极，阳极设有阳极支点；栅极，栅极的第一侧与阳极支点连接，栅极的第二侧设有栅极支点；阴极，阴极与栅极支点连接，阴极的靠近栅极的一侧设有第一凸起。当本发明中的器件工作时，可在阴极上施加负偏压，在栅极和阳极上施加正偏压。当电压达到一定程度的大小时，阴极表面上发射出的电子通过栅极中的网孔到达阳极，产生电流。通过调节栅极电压和阳极电压可以改变电流的大小。由于栅极距离阴极距离更近，栅极电压对电流大小的影响要远大于阳极电压对电流大小的影响。阴极表面的第一凸起可以促进电子发射，降低工作电压。
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公开(公告)号：CN116525523A
公开(公告)日：2023-08-01
申请号：CN202310421963.8
申请日：2023-04-19
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01L21/683
Abstract: 本发明涉及一种辅助转移的转移工装及其应用，所述转移工装包括：转移基板、设于转移基板上表面的界面改性层，转移基板与界面改性层上设有阵列化的通孔结构。所述通孔可对所述转移工装表面溶液进行有效分流，减小了所述转移工装对溶液升降的阻力与薄膜的滑移；所述转移工装可依据需要发生临时或永久性形变且表面可控，在溶液水位下降时便于对待转移物下方的溶液进行导流，提高待转移物贴合平整度，在溶液水位上升时待转移物又可从该表面剥离，利用所述转移工装即可在一个溶液池内辅助完成待转移物的转移，避免了待转移物在多个溶液池间转移时的破损或磨损，实现了待转移物大尺寸的转移。
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公开(公告)号：CN113933364B
公开(公告)日：2022-11-08
申请号：CN202111031603.4
申请日：2021-09-03
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N27/414 , G01N33/531 , G01N33/535 , G01N33/543 , G01N33/58
Abstract: 本发明公开了一种基于硅纳米线场效应生化传感器的靶标物浓度检测方法，包括制备免疫磁珠‑靶标物‑免疫硅纳米颗粒；修饰硅纳米线场效应生化传感器，用于识别不同的所述三层结构催化所述pH酶的底物发生催化反应所产生的pH变化；使免疫磁珠‑靶标物‑免疫硅纳米颗粒与pH酶的底物发生催化反应，以改变待测溶液的pH；将待测溶液进行磁性分离，取上清液在硅纳米线场效应生化传感器上进行pH检测，根据浓度与pH的标准曲线，得到靶标物的浓度。本发明将靶标物浓度转化为pH变化，利用硅纳米线场效应生化传感器对该pH变化进行检测，根据其电流变化量，能够实现靶标物的定性与定量测定，简单稳定，灵敏度高，检测准确性好，通用性强。
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公开(公告)号：CN115181657A
公开(公告)日：2022-10-14
申请号：CN202210992199.5
申请日：2022-08-18
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种原位监测核酸扩增过程的装置及方法，装置包括堆叠设置的加热板和微反应板，所述微反应板包括具有开口的空腔及连通所述空腔的进液口和出液口，所述空腔内设置有至少一个测试传感器，所述加热板遮蔽所述开口。本发明的原位监测核酸扩增过程的装置及方法，通过测试传感器对扩增核酸的浓度进行检测，并将扩增核酸的浓度变化转化为显示单元上的电信号变化，从而实现核酸扩增过程的实时监测和定量检测，其灵敏度高、准确性好、通用性强，可用于现场检测并实时监测检测过程，大大提升检测效率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110451453B
公开(公告)日：2022-10-11
申请号：CN201910613814.5
申请日：2019-07-08
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明涉及一种红外探测器的制备方法，包括如下步骤：选用半导体晶圆作为衬底；在衬底表面形成复合薄膜；在复合薄膜表面形成热电薄膜；在热电薄膜上形成沿对角线密排图形化的硼和磷重掺杂热电偶，其由硼重掺杂热电条和磷重掺杂热电条组成；使硼和磷重掺杂热电偶金属欧姆互连；以及将复合薄膜从衬底上释放，得到封闭膜式的密排热电偶的红外探测器。本发明还提供由上述的制备方法得到的红外探测器。本发明通过密排图形和硼/磷离子重掺杂，沿红外探测器对角线上依次形成平面或堆叠密排的热电偶，最后形成金属欧姆互连，实现密排热电偶的红外探测器的制备。
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公开(公告)号：CN115078289A
公开(公告)日：2022-09-20
申请号：CN202210763372.4
申请日：2022-06-30
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N21/3504 , G01N21/01
Abstract: 本发明提供一种夹层式片上集成微型红外气体传感器，包括：微型功能盖，设有红外光源和透气孔；微型探测处理芯片，设有红外探测器、电源模块、信号处理模块和数字逻辑单元；以及夹设于这两者之间的微型光学结构，微型光学结构和微型功能盖共同限定一光学气室，光学气室供红外光源发射的红外光通过，使红外光发射或反射至红外探测器；传感器为芯片级封装，微型功能盖、微型光学结构和微型探测处理芯片通过MEMS加工工艺来集成化封装。本发明的红外气体传感器采用MEMS技术进行集成化封装，有效减小红外气体传感器的体积，夹层式封装结构能够有效解决微型红外气体传感器内部的热干扰问题，并且实现了折叠式的反射设计，对光程进行了增长。
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公开(公告)号：CN115060682A
公开(公告)日：2022-09-16
申请号：CN202210778289.4
申请日：2022-06-30
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N21/3504 , G01N21/01
Abstract: 本发明提供一种背孔式片上集成微型红外气体传感器，包括：红外探测芯片，设有红外光源、红外探测器、红外光源和红外探测器之间的透气‑隔热结构；微型光学罩，位于红外探测芯片的上表面，微型光学罩上设有反射面，且微型光学罩和红外探测芯片共同构成一封闭的光学腔室；其设置为将红外光源发射的红外光反射至红外探测器；信号处理芯片，集成于红外探测芯片上靠近红外探测器的一侧；微型光学罩、红外探测芯片和信号处理芯片采用MEMS加工工艺封装连接。本发明的微型红外气体传感器采用背孔和片上一体化集成方法，有效减小红外气体传感器的体积，解决了微型红外气体传感器内部热干扰问题，并且实现了折叠式的反射设计，对光程进行了增长。
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公开(公告)号：CN110407154B
公开(公告)日：2022-06-24
申请号：CN201810400599.6
申请日：2018-04-28
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种MEMS微执行器，包括：衬底层和位于所述衬底层上的器件层，衬底层上形成有凹槽，凹槽底部形成有上下贯通的通孔；器件层包括样品搭载部，驱动部及电极部，样品搭载部和驱动部位于衬底层的凹槽上；驱动部包括支撑单元和静电梳齿驱动单元，通过静电梳齿驱动单元驱动样品搭载部，在施加外来激励的同时原位动态记录纳米材料的微观结构演化。本申请的MEMS微执行器具有可批量生产，且制作方法简单，响应时间更短，稳定性更好，控制精度更高等优点。本申请的原位单轴拉伸器件，利用了本申请的MEMS微执行器，具有很高的适配性，能避免温度对纳米样品的影响，可在室温下观察纳米样品的显微结构演化过程，并从最佳的晶带轴实现高分辨成像。
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公开(公告)号：CN113933289A
公开(公告)日：2022-01-14
申请号：CN202111031601.5
申请日：2021-09-03
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N21/78 , G01N21/01 , G01N33/52 , G01N33/543 , G01N33/552 , G01N33/58
Abstract: 本发明公开了一种基于检测试纸的靶标物半定量检测方法及检测试纸，包括通过共价修饰试剂，同时将探针一和pH酶的混合液共价修饰到二氧化硅纳米颗粒上，得到免疫硅纳米颗粒；将配对探针二与磁珠孵育，得到免疫磁珠；将免疫硅纳米颗粒、免疫磁珠与靶标物结合，形成免疫磁珠‑靶标物‑免疫硅纳米颗粒的三层结构；再与pH酶的底物发生催化反应，以改变待测溶液pH；将待测溶液的上清液滴加在检测试纸上，根据颜色变化以及浓度与pH的标准曲线，得到靶标物浓度的半定量检测结果。本发明采用检测试纸进行快速半定量，同时采用纳米免疫磁珠分离技术和免疫硅纳米粒子偶联吸附技术，适用于多种靶标物的快速检测，灵敏度高，通用性强，大大提升检测效率。
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