一种在液体中对超薄薄膜进行转移的转移工装及其制备方法

    公开(公告)号:CN116534622A

    公开(公告)日:2023-08-04

    申请号:CN202310421966.1

    申请日:2023-04-19

    Abstract: 本发明涉及一种在液体中对超薄薄膜进行转移的转移工装及其制备方法,所述转移工装依次包括:第一界面改性层、基板、第二界面改性层;其中所述转移基板与界面改性层上设有阵列化通孔结构。界面改性层可对转移基板表面进行改性,使其与超薄薄膜更加贴合;通孔可对转移工装在移动时其表面的液体进行有效分流,减小了移动的转移工装对周围环境的扰动与超薄薄膜的滑移;转移工装表面平整,在转移工装从溶液池中离开,移动至空气的过程中可有效将漂浮于液体界面的超薄薄膜吸附在其表面,并予以吸附保持,便于将其转移至目标溶液池中进行剥离,避免了超薄薄膜在转移过程中的磨损、破损与掉落,提高了超薄薄膜转移过程的效率,实现了超薄薄膜圆片级转移。

    一种辅助转移的转移工装及其应用

    公开(公告)号:CN116525523A

    公开(公告)日:2023-08-01

    申请号:CN202310421963.8

    申请日:2023-04-19

    Abstract: 本发明涉及一种辅助转移的转移工装及其应用,所述转移工装包括:转移基板、设于转移基板上表面的界面改性层,转移基板与界面改性层上设有阵列化的通孔结构。所述通孔可对所述转移工装表面溶液进行有效分流,减小了所述转移工装对溶液升降的阻力与薄膜的滑移;所述转移工装可依据需要发生临时或永久性形变且表面可控,在溶液水位下降时便于对待转移物下方的溶液进行导流,提高待转移物贴合平整度,在溶液水位上升时待转移物又可从该表面剥离,利用所述转移工装即可在一个溶液池内辅助完成待转移物的转移,避免了待转移物在多个溶液池间转移时的破损或磨损,实现了待转移物大尺寸的转移。

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