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公开(公告)号：CN110407154A
公开(公告)日：2019-11-05
申请号：CN201810400599.6
申请日：2018-04-28
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种MEMS微执行器，包括：衬底层和位于所述衬底层上的器件层，衬底层上形成有凹槽，凹槽底部形成有上下贯通的通孔；器件层包括样品搭载部，驱动部及电极部，样品搭载部和驱动部位于衬底层的凹槽上；驱动部包括支撑单元和静电梳齿驱动单元，通过静电梳齿驱动单元驱动样品搭载部，在施加外来激励的同时原位动态记录纳米材料的微观结构演化。本申请的MEMS微执行器具有可批量生产，且制作方法简单，响应时间更短，稳定性更好，控制精度更高等优点。本申请的原位单轴拉伸器件，利用了本申请的MEMS微执行器，具有很高的适配性，能避免温度对纳米样品的影响，可在室温下观察纳米样品的显微结构演化过程，并从最佳的晶带轴实现高分辨成像。
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公开(公告)号：CN109916960A
公开(公告)日：2019-06-21
申请号：CN201910174319.9
申请日：2019-03-08
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种微纳米材料热电性能的双温控测量方法，采用两个独立控温的微加热器，且微加热器由悬空薄膜支撑，包括以下步骤：将两个独立控温的微加热器放置于真空系统中，连接好测试电路，进行参照组的测试；将待测的微纳米材料两端分别用导电材料固定在两个独立的微加热器上，并通过金属引线引出，再放置于真空系统中，连接好测试电路，进行测试，同时记录待测的微纳米材料两端的电阻值和产生的Seebeck电压值；利用热平衡原理和傅里叶导热定律计算得出材料的热导率。本发明不需要辅助控温系统，具有冷热端温度和温差独立且连续可控的优点，还可以结合现代分析测试仪器进行微纳米材料热电性能的原位表征。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110407154B
公开(公告)日：2022-06-24
申请号：CN201810400599.6
申请日：2018-04-28
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种MEMS微执行器，包括：衬底层和位于所述衬底层上的器件层，衬底层上形成有凹槽，凹槽底部形成有上下贯通的通孔；器件层包括样品搭载部，驱动部及电极部，样品搭载部和驱动部位于衬底层的凹槽上；驱动部包括支撑单元和静电梳齿驱动单元，通过静电梳齿驱动单元驱动样品搭载部，在施加外来激励的同时原位动态记录纳米材料的微观结构演化。本申请的MEMS微执行器具有可批量生产，且制作方法简单，响应时间更短，稳定性更好，控制精度更高等优点。本申请的原位单轴拉伸器件，利用了本申请的MEMS微执行器，具有很高的适配性，能避免温度对纳米样品的影响，可在室温下观察纳米样品的显微结构演化过程，并从最佳的晶带轴实现高分辨成像。
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公开(公告)号：CN114865802A
公开(公告)日：2022-08-05
申请号：CN202210601544.8
申请日：2022-05-30
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种非闭合式磁芯的感应取电装置，包括非闭合式的可抽动磁芯线圈组件和与之相连的电能管理模块，所述可抽动磁芯线圈组件包括多个细柱型磁芯以及套设在所有的细柱型磁芯的外侧的一磁芯线圈，细柱型磁芯的至少一部分相对于磁芯线圈可抽动。本发明的非闭合式磁芯的感应取电装置采用非闭合式磁芯，解决了感应取电装置不同电压等级和电缆直径适配兼容的问题，同时，本发明将将传统整块磁芯等效替换成几个有效磁导率更高的细磁芯，磁芯可抽动以改变磁芯内磁路长度，使得整体磁芯的输出功率和功率密度可以得到提升。
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公开(公告)号：CN114865760A
公开(公告)日：2022-08-05
申请号：CN202210603564.9
申请日：2022-05-30
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种基于非闭合式磁芯的感应取电电源，包括磁能采集模块和电能管理电路模块，磁能采集模块包括非闭合式磁芯线圈组件和谐振电容，电能管理电路模块包括依次连接的过流过压保护电路、电荷泵倍压电路、稳压电路、超级电容充电电路、超级电容和超级电容放电电路，充电电路与稳压电路连接，放电电路通过其开关管与电荷泵倍压电路连接；稳压电路和放电电路分别通过放电二极管与负载连接。本发明的取电电源采用基于非闭合式磁芯的磁能采集模块，可适用于不同电压等级、不同尺寸的电缆，易安装和拆卸，并且通过电荷泵电路和超级电容储能来降低供电死区，减少电能管理电路的设计难度，可以在载流量宽范围波动的情况下为负载稳定供电。
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公开(公告)号：CN111366451A
公开(公告)日：2020-07-03
申请号：CN201811597576.5
申请日：2018-12-26
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种动态机械加载纳米材料的原位表征装置及方法，所述装置至少包括：加电样品杆、固定在所述加电样品杆前端的静电梳齿驱动芯片以及与所述静电梳齿驱动芯片相连的电源模块。本发明通过所述加电样品杆，将所述电源模块输出的交变电压直接作用到所述静电梳齿驱动芯片上，从而实现对纳米材料进行频率和幅度连续可控的动态机械加载。本发明的表征装置简单易操作，可应用于各类检测仪器内对纳米材料进行循环交变加载，实现在频率和幅度连续可控的动态机械加载下对纳米材料显微结构演化和物性变化进行原位观测，为从原子尺度上揭示纳米材料在复杂交变载荷环境下的变形行为提供条件。
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公开(公告)号：CN114865760B
公开(公告)日：2025-04-15
申请号：CN202210603564.9
申请日：2022-05-30
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种基于非闭合式磁芯的感应取电电源，包括磁能采集模块和电能管理电路模块，磁能采集模块包括非闭合式磁芯线圈组件和谐振电容，电能管理电路模块包括依次连接的过流过压保护电路、电荷泵倍压电路、稳压电路、超级电容充电电路、超级电容和超级电容放电电路，充电电路与稳压电路连接，放电电路通过其开关管与电荷泵倍压电路连接；稳压电路和放电电路分别通过放电二极管与负载连接。本发明的取电电源采用基于非闭合式磁芯的磁能采集模块，可适用于不同电压等级、不同尺寸的电缆，易安装和拆卸，并且通过电荷泵电路和超级电容储能来降低供电死区，减少电能管理电路的设计难度，可以在载流量宽范围波动的情况下为负载稳定供电。
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