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公开(公告)号：CN101034092A
公开(公告)日：2007-09-12
申请号：CN200710037952.0
申请日：2007-03-09
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01P15/08
Abstract: 本发明涉及一种用波形比较法进行冲击加速度传感器横向响应的测试方法，利用波形比较法，将标准加速度传感器和待测试加速度传感器同时安装到金属杆上，金属杆自由落下与金属砧发生碰撞产生高幅值的冲击加速度，并利用双通道数据采集方式直接记录冲击碰撞过程的输出波形。从时间历程分析上，由两个传感器产生的波同时被记录下来，主冲击波到达前沿能够容易识别，且其加速度幅值可以确定下来；利用两次冲击过程即可以实现横向和敏感方向灵敏度的测试，通过计算即得到横向响应。本发明具有方便易行、容易识别且可获得冲击过程中敏感方向和非敏感方向的灵敏度，而不需要知道绝对加速度数值，适用于单轴、双轴或三轴加速度传感器与类似器件。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100516882C
公开(公告)日：2009-07-22
申请号：CN200710037952.0
申请日：2007-03-09
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01P15/08
Abstract: 本发明涉及一种用波形比较法进行冲击加速度传感器横向响应的测试方法，利用波形比较法，将标准加速度传感器和待测试加速度传感器同时安装到金属杆上，金属杆自由落下与金属砧发生碰撞产生高幅值的冲击加速度，并利用双通道数据采集方式直接记录冲击碰撞过程的输出波形。从时间历程分析上，由两个传感器产生的波同时被记录下来，主冲击波到达前沿能够容易够识别，且其加速度幅值可以确定下来；利用两次冲击过程即可以实现横向和敏感方向灵敏度的测试，通过计算即得到横向响应。本发明具有方便易行、容易识别且可获得冲击过程中敏感方向和非敏感方向的灵敏度，而不需要知道绝对加速度数值，适用于单轴、双轴或三轴加速度传感器与类似器件。
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公开(公告)号：CN1223859C
公开(公告)日：2005-10-19
申请号：CN02136742.6
申请日：2002-08-30
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01P15/12
Abstract: 本发明涉及一种高固有频率的量程可达200万m/s2的微机械加速度传感器，其特征在于它是由压敏电阻、敏感梁、锚区、主梁、质量块、锚区与敏感梁之间的过渡结构及下盖板组成；敏感梁和中间的主梁为层叠的位置关系，主梁位于传感器结构的中部；通过锚区与敏感梁之间的过渡结构实现主梁的长度是敏感梁的3倍以上；过渡结构的厚度比基底硅片的厚度小1微米，长度为中间的主梁的长度与敏感梁的长度差；4个敏感梁对称地分布在质量块的两端；敏感电阻设计成单一直线条状，其中4条安置于敏感梁与锚区的交界处；下盖板与质量块之间有2微米的间隙。通过特殊的结构设计，可使固有频率达到700kHz以上。
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公开(公告)号：CN101539587A
公开(公告)日：2009-09-23
申请号：CN200910049633.0
申请日：2009-04-21
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01P21/00
Abstract: 本发明涉及一种中高量程加速度传感器动态灵敏度的肩并肩式测试方法，其特征在于将已知灵敏度的高量程加速度传感器作为参考加速度传感器，同被测试的灵敏度未知的加速度传感器安装在同一金属杆两侧，金属杆自由下落碰撞金属砧产生高幅值的脉冲波，金属砧表面放置机械滤波用的缓冲滤波材料对两个传感器输出波形整形，利用得到的两个半正弦波形输出的电压峰值来比较和计算被测试加速度传感器的敏感方向的灵敏度；本发明不需要知道绝对的冲击加速度数值，且所述的两个加速度传感的安装方式相同，均在敏感方向安装。
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公开(公告)号：CN1425922A
公开(公告)日：2003-06-25
申请号：CN02136742.6
申请日：2002-08-30
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01P15/12
Abstract: 本发明涉及一种高固有频率的量程可达200万m/s2的微机械加速度传感器，其特征在于它是由压敏电阻、敏感梁、锚区、主梁、质量块、锚区与敏感梁之间的过渡结构及下盖板组成；敏感梁和中间主梁采用串联结构，主梁位于传感器结构的中部；通过锚区与敏感梁之间的过渡结构实现主梁的长度是敏感梁的3倍以上；过渡结构的厚度比基底硅片的厚度小1微米，长度为中间主梁的长度与敏感梁的长度差；4个敏感梁对称地分布在质量块的两端；敏感电阻设计成单一直线条状，4条安置于敏感梁与锚区的交界处，另外4条安置于敏感梁与质量块的交界处；下盖板与质量块之间有2微米的间隙。通过特殊的结构设计，可使固有频率达到700kHz以上。
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公开(公告)号：CN2570793Y
公开(公告)日：2003-09-03
申请号：CN02266744.X
申请日：2002-08-30
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01P15/12
Abstract: 本实用新型涉及一种量程可达200万m/s2以上的微机械加速度传感器。其特征在于由锚区、敏感薄板、质量块、压敏电阻、框架及上、下玻璃盖板构成；由锚区、敏感薄板、质量块、压敏电阻构成的敏感芯片封装在框架中，并且上、下玻璃盖板键合在一起；敏感芯片采用结构对称的双端固支的双质量块；3个敏感薄板的长度相等，其宽度与质量块的宽度相同；压敏电阻设计成单一直线条状，其中外侧的两条安置于敏感薄板梁与锚区交界处，另外两条设置在中央薄板的中间。所提供的传感器的固有频率可达700KHz以上，且不使灵敏度下降，避开了常规设计中两者不可协调的矛盾。
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