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公开(公告)号:CN111122121A
公开(公告)日:2020-05-08
申请号:CN202010013788.5
申请日:2020-01-07
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 上海恒益光学精密机械有限公司
Abstract: 本发明涉及光学检测领域,具体是小F数凸双曲面反射镜检测光路的搭建方法。解决了传统小F数凸双曲面反射镜检测光路难以搭建的问题。本发明利用会聚光斑快速使干涉仪与待测双曲面镜的光轴共线,并确定球面镜的准确位置,最终高效完成检测光路的搭建。
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公开(公告)号:CN107984303A
公开(公告)日:2018-05-04
申请号:CN201711086570.7
申请日:2017-11-07
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种高精度等厚离轴非球面反射镜的高效加工方法,本发明通过同轴母镜工装的设计,实现了子镜精确定位及等厚加工,能多块等厚离轴非球面反射镜同时加工,具有加工成本低、加工精度高和加工效率高的特点。
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公开(公告)号:CN113714859B
公开(公告)日:2024-03-01
申请号:CN202111019961.3
申请日:2021-09-01
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 上海恒益光学精密机械有限公司
Abstract: 本发明涉及光学数控加工领域,具体为一种小磨头抛光机类光学平面加工非球面的方法,解决了三轴联动小磨头无法实现高精度加工非球面的问题,提升了这类小磨头抛光机的利用率。本发明主要利用被加工元件矢高较小,抛光头可贴合元件表面,再利用坐标变换将测量高点位置精确转换到类平面去除位置,实现收敛加工。经多次迭代抛光,可最终实现非球面元件的加工。
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公开(公告)号:CN113714859A
公开(公告)日:2021-11-30
申请号:CN202111019961.3
申请日:2021-09-01
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 上海恒益光学精密机械有限公司
Abstract: 本发明涉及光学数控加工领域,具体为一种小磨头抛光机类光学平面加工非球面的方法,解决了三轴联动小磨头无法实现高精度加工非球面的问题,提升了这类小磨头抛光机的利用率。本发明主要利用被加工元件矢高较小,抛光头可贴合元件表面,再利用坐标变换将测量高点位置精确转换到类平面去除位置,实现收敛加工。经多次迭代抛光,可最终实现非球面元件的加工。
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公开(公告)号:CN109676527B
公开(公告)日:2021-07-27
申请号:CN201811521460.3
申请日:2018-12-13
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 上海恒益光学精密机械有限公司
Abstract: 一种小磨头抛光机专用抛光液精准自动滴加装置,包括计算机、蠕动泵、放置在磁力搅拌器上的容器,该容器盛装有抛光液;蠕动泵的软管一端置于容器内,另一端固定在所述的小磨头抛光机的抛光头上,所述的计算机与蠕动泵相连,以控制蠕动泵的转子旋转速度n,该转子旋转速度n满足如下条件:n=k*h*V/(L+V)。本发明可精准、自动地控制抛光液滴加到被抛光表面,抛光液滴加均匀,节省人力,加工后面形收敛快,去除均匀,具有控制简单,滴加精准的优点。
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公开(公告)号:CN111189386A
公开(公告)日:2020-05-22
申请号:CN202010031881.9
申请日:2020-01-13
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种修正离轴抛物面反射镜干涉测量面形投影畸变的方法。本发明根据已知离轴抛物面母镜、离轴子镜与干涉仪三者之间的位置关系,通过坐标投影变换计算并结合相应的标定方法,可以简便快速的实现对离轴抛物面反射镜干涉测量投影畸变的修正,为高精度离轴抛物面的加工奠定了基础。
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公开(公告)号:CN116922203A
公开(公告)日:2023-10-24
申请号:CN202210388316.7
申请日:2022-04-11
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种中心注液式光学抛光头,包括装置支架、驱动轴、涨紧轴和抛光轴。装置支架由高强度铝合金板拼接。驱动轴包括:驱动电机、联轴器套、联轴器、第一轴承(1对)、轴套、转轴、第一锁紧环和第一同步带轮。涨紧轴包括锁紧螺母、涨紧杆、反力块和涨紧轮。所述的抛光轴包括接头固定架、回转接头、第二轴承(1对)、抛光轴套、轴承压紧板、第二锁紧环、第二同步带轮、抛光盘、抛光海绵、抛光杆、胀套、夹头螺帽、内部液管和内部喷头。本发明适用于先进的光学镜片全自动抛光和修形,具有抛光液内部中心注液、出液均匀、定量可控的特点,在保证抛光质量的前提下,有效控制成本,配合工业机器人可实现全自动高速稳定抛光和修形。
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公开(公告)号:CN110682185B
公开(公告)日:2021-09-07
申请号:CN201910856844.9
申请日:2019-09-09
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种用于脉冲压缩光栅制作的高精度曝光透镜加工方法,该方法包括搭建自准直干涉检测装置、曝光透镜非球面的铣磨加工、研抛、精密抛光和平滑处理,并在研抛、精密抛光和平滑处理过程采用所述的自准直干涉检测装置对待加工曝光透镜的透过波前进行干涉仪测量,保障每一步都达到各自的要求。该方法避免补偿镜引入的自身误差以及装调误差,采用高效高精度数控加工工艺,解决了曝光透镜数控加工全频段误差问题,最终提高了曝光波长下的全频段波面质量,为高精度脉冲压缩光栅的制作奠定了基础。
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公开(公告)号:CN111122121B
公开(公告)日:2021-07-06
申请号:CN202010013788.5
申请日:2020-01-07
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 上海恒益光学精密机械有限公司
Abstract: 本发明涉及光学检测领域,具体是小F数凸双曲面反射镜检测光路的搭建方法。解决了传统小F数凸双曲面反射镜检测光路难以搭建的问题。本发明利用会聚光斑快速使干涉仪与待测双曲面镜的光轴共线,并确定球面镜的准确位置,最终高效完成检测光路的搭建。
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公开(公告)号:CN109719573B
公开(公告)日:2020-10-16
申请号:CN201811523911.7
申请日:2018-12-13
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 上海恒益光学精密机械有限公司
Abstract: 一种轴锥镜的加工方法,包括以下步骤:1)锥面成型:采用光学加工中心进行锥面成型;2)粗抛:采用聚氨酯抛光盘快速抛光,去除刀纹并提高粗糙度,直至抛亮;3)精密抛光:采用大气等离子体抛光设备进行精抛,进一步提高粗糙度及面形精度;4)保形精修:采用柔性小工具进行精修,使轴锥镜面形最终达到要求;5)检测:对加工完成后的轴锥镜进行检测。本发明解决了轴锥镜抛光过程中加工效率低、表面疵病以及锥角边缘区域面形精度难以控制的问题。
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