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公开(公告)号：CN106312797A
公开(公告)日：2017-01-11
申请号：CN201610836440.X
申请日：2016-09-21
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种调节光学元件边缘区域压强分布的抛光组件，包括：行星双转子气压传动装置、关节式辅助施压机构和抛光盘，其特点在于所述的抛光盘的背面刻有同心圆沟槽，所述的关节式辅助施压机构由固定基座、活动关节和测力计组成。在光学元件边缘区域抛光过程中，通过该抛光组件对光学元件边缘区域压强分布进行调节，从而改变边缘区域材料去除量分布、达到抑制边缘效应的效果；另外，借助关节式辅助施压机构可有效减小振动幅度，从而提高抛光过程的可确定性。
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公开(公告)号：CN109205504B
公开(公告)日：2021-05-04
申请号：CN201811035890.4
申请日：2018-09-06
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种大口径光栅基板运输上下机床装置，装置包括液压升降车、移动式承载架、气动升降台、固定用锁定挡块、升降车台面上导轨、液压缸、小滚轮、固定销、气液增压缸、定位杆、升降车平台、大理石平台上轨道组件。液压升降车用于装载大口径光栅基板水平运输与垂直移动，移动承载架用于携载大口径光栅基板从升降车平台沿导轨移动到机床平台上，气动升降台用于调整大口径光栅基板在机床平台垂直方向的位置使基板落于加工平台上。本发明结构紧凑，装置体积适应光栅基板尺寸，体积利用率高，适合在有限空间内灵活移动，同时整个过程单人即可操作，大大节省人力。
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公开(公告)号：CN106312797B
公开(公告)日：2019-05-17
申请号：CN201610836440.X
申请日：2016-09-21
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种调节光学元件边缘区域压强分布的抛光组件，包括：行星双转子气压传动装置、关节式辅助施压机构和抛光盘，其特点在于所述的抛光盘的背面刻有同心圆沟槽，所述的关节式辅助施压机构由固定基座、活动关节和测力计组成。在光学元件边缘区域抛光过程中，通过该抛光组件对光学元件边缘区域压强分布进行调节，从而改变边缘区域材料去除量分布、达到抑制边缘效应的效果；另外，借助关节式辅助施压机构可有效减小振动幅度，从而提高抛光过程的可确定性。
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公开(公告)号：CN109205504A
公开(公告)日：2019-01-15
申请号：CN201811035890.4
申请日：2018-09-06
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种大口径光栅基板运输上下机床装置，装置包括液压升降车、移动式承载架、气动升降台、固定用锁定挡块、升降车台面上导轨、液压缸、小滚轮、固定销、气液增压缸、定位杆、升降车平台、大理石平台上轨道组件。液压升降车用于装载大口径光栅基板水平运输与垂直移动，移动承载架用于携载大口径光栅基板从升降车平台沿导轨移动到机床平台上，气动升降台用于调整大口径光栅基板在机床平台垂直方向的位置使基板落于加工平台上。本发明结构紧凑，装置体积适应光栅基板尺寸，体积利用率高，适合在有限空间内灵活移动，同时整个过程单人即可操作，大大节省人力。
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