公开(公告)号：CN103322939B

公开(公告)日：2016-04-13

申请号：CN201310261124.0

申请日：2013-06-26

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 徐学科 ,  单海洋 ,  刘小颂 ,  杨明红 ,  朱宝钤 ,  张宝安 ,  贺洪波 ,  邵建达

IPC: G01B11/24 ,  G01B11/30

Abstract: 一种环形抛光机蜡盘面形在线实时测量装置，构成包括液压升降平台系统、反射镜系统、扩束镜系统和主干涉系统。本发明用于测量环形抛光机蜡盘面形，具有装置集成化、测量方便、测量快速、准确和在线实时测量的特点。

公开(公告)号：CN103322939A

公开(公告)日：2013-09-25

申请号：CN201310261124.0

申请日：2013-06-26

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 徐学科 ,  单海洋 ,  刘小颂 ,  杨明红 ,  朱宝钤 ,  张宝安 ,  贺洪波 ,  邵建达

IPC: G01B11/24 ,  G01B11/30

Abstract: 一种环形抛光机蜡盘面形在线实时测量装置，构成包括液压升降平台系统、反射镜系统、扩束镜系统和主干涉系统。本发明用于测量环形抛光机蜡盘面形，具有装置集成化、测量方便、测量快速、准确和在线实时测量的特点。