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公开(公告)号：CN105785073B
公开(公告)日：2019-02-22
申请号：CN201410815643.1
申请日：2014-12-19
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 , 中国电子科技集团公司第四十九研究所
IPC: G01P15/12
Abstract: 本发明提供一种压阻式加速度传感器及其制作方法，该传感器的改进点在于敏感结构部分，敏感结构中的质量块左右两侧对称设有相互独立的各四个敏感梁，每个敏感梁上设一个力敏电阻；四个敏感梁的两侧各设一个用于支撑质量块的支撑梁，将力敏电阻制作在独立的敏感梁上可减小敏感梁的宽度，从而显著减小敏感梁对结构倔强系数的影响，获得高灵敏度和高优值；敏感梁靠近质量块中线位置，其挠曲较小，可减小旁轴灵敏度。支撑梁靠近质量块边缘，其力臂长，可更好地抑制旁轴加速度引起的质量块扭转。支撑梁上表面较低，表面无氧化层，可减小氧化层应力引起的结构挠曲。敏感梁厚度大于支撑梁，可实现应力集中，从而提高灵敏度和优值。
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公开(公告)号：CN106800653B
公开(公告)日：2019-01-18
申请号：CN201710034625.3
申请日：2017-01-18
Applicant: 中国电子科技集团公司第四十九研究所
Abstract: 聚酰亚胺湿敏材料及其在电容型湿度传感器的应用，本发明涉及一种电容型湿度传感器的感湿材料，它要解决现有电容型高分子湿度传感器的感湿性能有待提高的问题。本发明聚酰亚胺湿敏材料的化学结构式如下：其中A和B均代表含氟基团，A和B的结构通式为CnHmF2n‑m+1。将所述的聚酰亚胺湿敏材料作为感湿膜应用于电容型湿度传感器中。本发明通过调节结构式中亲水‑疏水基团的比例，提高感湿性能，减小湿滞，制备得到的电容型湿度传感器的湿度‑电容曲线的线性相关系数R2≥0.998，显示出良好的感湿性能。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106800653A
公开(公告)日：2017-06-06
申请号：CN201710034625.3
申请日：2017-01-18
Applicant: 中国电子科技集团公司第四十九研究所
CPC classification number: C08G73/1071 , C08G73/1067 , C08J5/18 , C08J2379/08 , G01N27/223
Abstract: 聚酰亚胺湿敏材料及其在电容型湿度传感器的应用，本发明涉及一种电容型湿度传感器的感湿材料，它要解决现有电容型高分子湿度传感器的感湿性能有待提高的问题。本发明聚酰亚胺湿敏材料的化学结构式如下：其中A和B均代表含氟基团，A和B的结构通式为CnHmF2n‑m+1。将所述的聚酰亚胺湿敏材料作为感湿膜应用于电容型湿度传感器中。本发明通过调节结构式中亲水‑疏水基团的比例，提高感湿性能，减小湿滞，制备得到的电容型湿度传感器的湿度‑电容曲线的线性相关系数R2≥0.998，显示出良好的感湿性能。
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公开(公告)号：CN105785073A
公开(公告)日：2016-07-20
申请号：CN201410815643.1
申请日：2014-12-19
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 , 中国电子科技集团公司第四十九研究所
IPC: G01P15/12
Abstract: 本发明提供一种压阻式加速度传感器及其制作方法，该传感器的改进点在于敏感结构部分，敏感结构中的质量块左右两侧对称设有相互独立的各四个敏感梁，每个敏感梁上设一个力敏电阻；四个敏感梁的两侧各设一个用于支撑质量块的支撑梁，将力敏电阻制作在独立的敏感梁上可减小敏感梁的宽度，从而显著减小敏感梁对结构倔强系数的影响，获得高灵敏度和高优值；敏感梁靠近质量块中线位置，其挠曲较小，可减小旁轴灵敏度。支撑梁靠近质量块边缘，其力臂长，可更好地抑制旁轴加速度引起的质量块扭转。支撑梁上表面较低，表面无氧化层，可减小氧化层应力引起的结构挠曲。敏感梁厚度大于支撑梁，可实现应力集中，从而提高灵敏度和优值。
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公开(公告)号：CN112255296A
公开(公告)日：2021-01-22
申请号：CN202011152138.5
申请日：2020-10-23
Applicant: 中国电子科技集团公司第四十九研究所
IPC: G01N27/41 , G01N27/409 , C04B35/48 , C04B41/88
Abstract: 基于陶瓷共烧工艺技术的分压型氧气传感器及其制备方法，涉及传感器结构设计及制造技术领域。本发明的目的是要解决传统分压型氧传感器存在抗力学和温度冲击差、寿命短，采用玻璃封接釉封接泵池和浓差池围成密闭腔室时存在涂敷工艺难度大的问题。方法：将泵池和浓差池叠放在一起形成一个密闭的空气腔室，采用丝网印刷技术在空气腔室内印刷挥发层浆料并使挥发层浆料充满空气腔室，通过等静压技术由上至下进行预压，得到预制件；采用划片技术将预制件进行切割分离，得到若干个传感器，通过烧结技术将传感器烧结成型。本发明可获得基于陶瓷共烧工艺技术的分压型氧气传感器及其制备方法。
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公开(公告)号：CN112255296B
公开(公告)日：2022-11-29
申请号：CN202011152138.5
申请日：2020-10-23
Applicant: 中国电子科技集团公司第四十九研究所
IPC: G01N27/41 , G01N27/409 , C04B35/48 , C04B41/88
Abstract: 基于陶瓷共烧工艺技术的分压型氧气传感器及其制备方法，涉及传感器结构设计及制造技术领域。本发明的目的是要解决传统分压型氧传感器存在抗力学和温度冲击差、寿命短，采用玻璃封接釉封接泵池和浓差池围成密闭腔室时存在涂敷工艺难度大的问题。方法：将泵池和浓差池叠放在一起形成一个密闭的空气腔室，采用丝网印刷技术在空气腔室内印刷挥发层浆料并使挥发层浆料充满空气腔室，通过等静压技术由上至下进行预压，得到预制件；采用划片技术将预制件进行切割分离，得到若干个传感器，通过烧结技术将传感器烧结成型。本发明可获得基于陶瓷共烧工艺技术的分压型氧气传感器及其制备方法。
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公开(公告)号：CN204330809U
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：CN201420837962.8
申请日：2014-12-19
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 , 中国电子科技集团公司第四十九研究所
IPC: G01P15/12
Abstract: 本实用新型提供一种压阻式加速度传感器，该传感器的改进点在于敏感结构部分，敏感结构中的质量块左右两侧对称设有相互独立的各四个敏感梁，每个敏感梁上设一个力敏电阻；四个敏感梁的两侧各设一个用于支撑质量块的支撑梁，将力敏电阻制作在独立的敏感梁上可减小敏感梁的宽度，从而显著减小敏感梁对结构倔强系数的影响，获得高灵敏度和高优值；敏感梁靠近质量块中线位置，其挠曲较小，可减小旁轴灵敏度。支撑梁靠近质量块边缘，其力臂长，可更好地抑制旁轴加速度引起的质量块扭转。支撑梁上表面较低，表面无氧化层，可减小氧化层应力引起的结构挠曲。敏感梁厚度大于支撑梁，可实现应力集中，从而提高灵敏度和优值。
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