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公开(公告)号：CN110595351A
公开(公告)日：2019-12-20
申请号：CN201910879698.1
申请日：2019-09-18
Abstract: 本发明公开了一种具有标准具的白光干涉仪的量值测量方法，其测量步骤为：在白光干涉仪的光路中分光光路前增加通光孔径相同平行光路系统，并在其中放置标准具；调整干涉仪的干涉条纹，将干涉仪两个相干光路调整到完全垂直；调整使两相干光自分光点至两参考镜的距离相等，出现白光零次干涉带；通过参考镜和量块工作台的调整，达到钢平晶上的干涉带平行于被测量块短边，并且被测量块上的零次干涉带通过被测量块中部的中点；测出钢平晶上的零次干涉带与被测量块中心点上零次干涉带的距离并修正。本发明方法提高了量块测量精度，不会产生粗大误差，提高测量效率，不磨损，寿命长，易于实现测量的自动化与半自动化，可以进行许多精密测量。
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公开(公告)号：CN110595351B
公开(公告)日：2020-12-15
申请号：CN201910879698.1
申请日：2019-09-18
Abstract: 本发明公开了一种具有标准具的白光干涉仪的量值测量方法，其测量步骤为：在白光干涉仪的光路中分光光路前增加通光孔径相同平行光路系统，并在其中放置标准具；调整干涉仪的干涉条纹，将干涉仪两个相干光路调整到完全垂直；调整使两相干光自分光点至两参考镜的距离相等，出现白光零次干涉带；通过参考镜和量块工作台的调整，达到钢平晶上的干涉带平行于被测量块短边，并且被测量块上的零次干涉带通过被测量块中部的中点；测出钢平晶上的零次干涉带与被测量块中心点上零次干涉带的距离并修正。本发明方法提高了量块测量精度，不会产生粗大误差，提高测量效率，不磨损，寿命长，易于实现测量的自动化与半自动化，可以进行许多精密测量。
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公开(公告)号：CN114252029A
公开(公告)日：2022-03-29
申请号：CN202111174773.8
申请日：2021-10-09
Applicant: 中国测试技术研究院机械研究所
IPC: G01B11/30
Abstract: 本发明涉及平晶测量领域，具体涉及一种在平面度地形图中修正标准平晶平面度的测量方法，用于在卧式干涉仪中对平晶组进行多点测量，平晶组包括四块以上平晶，每个平晶沿中心点均匀划分为N个待测截面，每个待测截面上选取除中心点外的M个测量点，按以下步骤进行测量：步骤S1，取平晶组中的任意两块平晶分别标记为平晶A和平晶B，将平晶A和平晶B放置于卧式干涉仪上，且工作面相对放置，将平晶A上的N个待测截面中离中心点最远的测量点按顺时针方向进行编号。……步骤S6，在平晶组多块块平晶分别取得各截面直线度平均结果和各截面端点的共面度平均值后，将各截面直线度偏差叠加在共面度的相应点上，即可得到每块平晶的多截面平面度偏差。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113916124B
公开(公告)日：2024-03-15
申请号：CN202111174526.8
申请日：2021-10-09
Applicant: 中国测试技术研究院机械研究所
IPC: G01B9/02015 , G01B9/02055 , G01B11/30
Abstract: 本发明涉及干涉仪领域，具体涉及具有管状基准照明系统的菲索干涉仪及管状基准照明系统用于移相技术的方法，包括菲索干涉仪本体和管状基准照明系统，管状基准照明系统设置于索菲干涉仪本体的光源和第二光栏之间，光源为白光+第一干涉滤光片或白光+单色光。管状基准照明系统包括第一光栏、第一物镜、第一镀银小平晶、第一管状基准主体、第二镀银小平晶和第二物镜，第一管状基准主体的一端和第一镀银小平晶光胶或胶结，另一端和第二镀银小平晶光胶或胶结，第一光栏和第一物镜通过第一支架固定于第一管状基准主体和第一镀银小平晶相连的一侧，第二物镜通过第二支架固定于第一管状基准主体的另一侧，第一光栏位于第一物镜的焦面上。
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公开(公告)号：CN114252029B
公开(公告)日：2023-10-03
申请号：CN202111174773.8
申请日：2021-10-09
Applicant: 中国测试技术研究院机械研究所
IPC: G01B11/30
Abstract: 本发明涉及平晶测量领域，具体涉及一种在平面度地形图中修正标准平晶平面度的测量方法，用于在卧式干涉仪中对平晶组进行多点测量，平晶组包括四块以上平晶，每个平晶沿中心点均匀划分为N个待测截面，每个待测截面上选取除中心点外的M个测量点，按以下步骤进行测量：步骤S1，取平晶组中的任意两块平晶分别标记为平晶A和平晶B，将平晶A和平晶B放置于卧式干涉仪上，且工作面相对放置，将平晶A上的N个待测截面中离中心点最远的测量点按顺时针方向进行编号。……步骤S6，在平晶组多块块平晶分别取得各截面直线度平均结果和各截面端点的共面度平均值后，将各截面直线度偏差叠加在共面度的相应点上，即可得到每块平晶的多截面平面度偏差。
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公开(公告)号：CN113916124A
公开(公告)日：2022-01-11
申请号：CN202111174526.8
申请日：2021-10-09
Applicant: 中国测试技术研究院机械研究所
IPC: G01B9/02015 , G01B9/02055 , G01B11/30
Abstract: 本发明涉及干涉仪领域，具体涉及具有管状基准照明系统的菲索干涉仪及管状基准照明系统用于移相技术，包括菲索干涉仪本体和管状基准照明系统，管状基准照明系统设置于索菲干涉仪本体的光源和第二光栏之间，光源为白光+第一干涉滤光片或白光+单色光。管状基准照明系统包括第一光栏、第一物镜、第一镀银小平晶、第一管状基准主体、第二镀银小平晶和第二物镜，第一管状基准主体的一端和第一镀银小平晶光胶或胶结，另一端和第二镀银小平晶光胶或胶结，第一光栏和第一物镜通过第一支架固定于第一管状基准主体和第一镀银小平晶相连的一侧，第二物镜通过第二支架固定于第一管状基准主体的另一侧，第一光栏位于第一物镜的焦面上。
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公开(公告)号：CN114608452A
公开(公告)日：2022-06-10
申请号：CN202210281839.1
申请日：2022-03-22
Applicant: 中国计量大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明公开了一种嵌有标准具的无研合双端面的量块量值测量系统，它由一套双测量臂的白光干涉仪构成。其测量步骤为：在干涉仪的分光光路前增加一套平行光系统并设置标准具；调整两测量光路至共轴共路，分别垂直入射至量块的两个测量面；调整两个相干光路，出现单色干涉条纹后增加白光照明，微调调整参考反射镜，得到参考面的零次干涉带与被测面的零次干涉带，据此求出量块与标准具尺寸差，加上环境条件的修正，得到被测量块的准确尺寸。整个系统封装在同一环境中以保证系统空气折射率一致，并使各项环境参数满足JJG 146‑2003量块检定规程的要求。本发明提高了量块测量精度与效率，不磨损量块，易于实现测量的自动化与半自动化，可用于精密测量。
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公开(公告)号：CN220960010U
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN202322637791.6
申请日：2023-09-27
Applicant: 中国测试技术研究院
IPC: G01B11/30
Abstract: 本实用新型涉及测量设备技术领域，具体涉及一种用于平面度测量的干涉仪，包括保温箱，保温箱内设置有光路系统，保温箱的一侧设置有光源孔，保温箱在进光孔的位置安装有光源模块，光源模块内设置有光源腔，光源模块的一端设置有和光源腔相连通的出光孔，光源模块内安装有白光光源和滤光片，滤光片置于出光孔和白光光源之间，光源模块的侧面设置有和光源腔相连通的插入孔，滤光片通过插入孔插入光源腔内。解决现有技术中，干涉仪更换光源比较麻烦的问题。
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