基于分波面干涉同心圆环的角度自溯源高精度测量方法

    公开(公告)号:CN114964057A

    公开(公告)日:2022-08-30

    申请号:CN202210534207.1

    申请日:2022-05-17

    Abstract: 本发明公开了一种基于分波面干涉同心圆环的角度自溯源高精度测量方法,将点光源S、分束镜和被测对象按照其中心线等高且与光轴同轴的方式一字排开,将点光源S形成的两个虚像点作为分波面干涉中的两个次级相干点光源,借此利用这两个次级相干点光源连线上的干涉同心圆环进行角度的测量。本发明利用分波面干涉同心圆环进行角度自溯源测量,具有较高的测量精度。

    一种嵌有标准具的无研合双端面量块量值测量系统

    公开(公告)号:CN114608452A

    公开(公告)日:2022-06-10

    申请号:CN202210281839.1

    申请日:2022-03-22

    Abstract: 本发明公开了一种嵌有标准具的无研合双端面的量块量值测量系统,它由一套双测量臂的白光干涉仪构成。其测量步骤为:在干涉仪的分光光路前增加一套平行光系统并设置标准具;调整两测量光路至共轴共路,分别垂直入射至量块的两个测量面;调整两个相干光路,出现单色干涉条纹后增加白光照明,微调调整参考反射镜,得到参考面的零次干涉带与被测面的零次干涉带,据此求出量块与标准具尺寸差,加上环境条件的修正,得到被测量块的准确尺寸。整个系统封装在同一环境中以保证系统空气折射率一致,并使各项环境参数满足JJG 146‑2003量块检定规程的要求。本发明提高了量块测量精度与效率,不磨损量块,易于实现测量的自动化与半自动化,可用于精密测量。

    一种双端面干涉测厚装置

    公开(公告)号:CN222560913U

    公开(公告)日:2025-03-04

    申请号:CN202420541675.6

    申请日:2024-03-20

    Abstract: 本实用新型公开了一种双端面干涉测厚装置,包括光学平台、外壳。包括光学底座(1),外壳(2),所述光学底座(1)上设有氦氖激光器(3)、反射镜1(4)、反射镜2(5)、扩束仪(6)、会聚透镜(7)、反射镜3(8)、分光镜1(9)在一侧呈“S”形分布,分光镜1(9)、反射镜4(10)、反射镜5(11)、装夹主体(12)、反射镜6(13)呈等腰三角形分布,分划板(14)、CCD相机(15)分布于等腰三角形另一侧。装夹主体包括两个分光镜(7)与装夹部件,底部装有电机。本发明利用分波面干涉同心圆环进行待测材料的非接触无研合双端面测量,可以提高精度,提高效率,节省环境要求成本,省却小数重合法运算,便于检测自动化,实现与国家基准米定义之间的直接溯源。

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