公开(公告)号：CN110595351A

公开(公告)日：2019-12-20

申请号：CN201910879698.1

申请日：2019-09-18

Applicant: 中国测试技术研究院 ,  中国计量大学

Inventor： 张成悌 ,  薛靓 ,  张宝武 ,  付天坤 ,  汤江文 ,  沈小燕 ,  蔡东炎 ,  龚柯安 ,  李貌

IPC: G01B9/02 ,  G01B11/02

Abstract: 本发明公开了一种具有标准具的白光干涉仪的量值测量方法，其测量步骤为：在白光干涉仪的光路中分光光路前增加通光孔径相同平行光路系统，并在其中放置标准具；调整干涉仪的干涉条纹，将干涉仪两个相干光路调整到完全垂直；调整使两相干光自分光点至两参考镜的距离相等，出现白光零次干涉带；通过参考镜和量块工作台的调整，达到钢平晶上的干涉带平行于被测量块短边，并且被测量块上的零次干涉带通过被测量块中部的中点；测出钢平晶上的零次干涉带与被测量块中心点上零次干涉带的距离并修正。本发明方法提高了量块测量精度，不会产生粗大误差，提高测量效率，不磨损，寿命长，易于实现测量的自动化与半自动化，可以进行许多精密测量。

公开(公告)号：CN114608452A

公开(公告)日：2022-06-10

申请号：CN202210281839.1

申请日：2022-03-22

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 张宝武 ,  欧阳烨锋 ,  张成悌 ,  薛靓 ,  汤江文 ,  付天坤

IPC: G01B11/02

Abstract: 本发明公开了一种嵌有标准具的无研合双端面的量块量值测量系统，它由一套双测量臂的白光干涉仪构成。其测量步骤为：在干涉仪的分光光路前增加一套平行光系统并设置标准具；调整两测量光路至共轴共路，分别垂直入射至量块的两个测量面；调整两个相干光路，出现单色干涉条纹后增加白光照明，微调调整参考反射镜，得到参考面的零次干涉带与被测面的零次干涉带，据此求出量块与标准具尺寸差，加上环境条件的修正，得到被测量块的准确尺寸。整个系统封装在同一环境中以保证系统空气折射率一致，并使各项环境参数满足JJG 146‑2003量块检定规程的要求。本发明提高了量块测量精度与效率，不磨损量块，易于实现测量的自动化与半自动化，可用于精密测量。

公开(公告)号：CN110595351B

公开(公告)日：2020-12-15

申请号：CN201910879698.1

申请日：2019-09-18

Applicant: 中国测试技术研究院 ,  中国计量大学

Inventor： 张成悌 ,  薛靓 ,  张宝武 ,  付天坤 ,  汤江文 ,  沈小燕 ,  蔡东炎 ,  龚柯安 ,  李貌

IPC: G01B9/02 ,  G01B11/02

Abstract: 本发明公开了一种具有标准具的白光干涉仪的量值测量方法，其测量步骤为：在白光干涉仪的光路中分光光路前增加通光孔径相同平行光路系统，并在其中放置标准具；调整干涉仪的干涉条纹，将干涉仪两个相干光路调整到完全垂直；调整使两相干光自分光点至两参考镜的距离相等，出现白光零次干涉带；通过参考镜和量块工作台的调整，达到钢平晶上的干涉带平行于被测量块短边，并且被测量块上的零次干涉带通过被测量块中部的中点；测出钢平晶上的零次干涉带与被测量块中心点上零次干涉带的距离并修正。本发明方法提高了量块测量精度，不会产生粗大误差，提高测量效率，不磨损，寿命长，易于实现测量的自动化与半自动化，可以进行许多精密测量。