一种气相晶体生长方法及氧化锌晶体

    公开(公告)号:CN109280969A

    公开(公告)日:2019-01-29

    申请号:CN201811352761.8

    申请日:2018-11-14

    CPC classification number: C30B29/16 C30B23/00 C30B23/002

    Abstract: 本发明提供一种气相晶体生长方法及氧化锌晶体,涉及晶体制备技术领域。一种气相晶体生长方法,主要包括以下步骤:将悬挂有籽晶的封帽固定在装有原料的坩埚上。籽晶与所述封帽、坩埚壁均为间隔设置,籽晶位于坩埚壁限定形成的腔体内。由于籽晶不与坩埚壁直接接触,也不与封帽直接接触,使得生长在籽晶上的晶体也不会与坩埚和封帽直接接触,使晶体在生长过程中不容易出现应力集中和晶体开裂现象。本发明避免了籽晶、生长在籽晶上的晶体与容器壁直接接触,防止了生长和降温过程中的应力集中、粘连、开裂现象,防止了空洞、起泡等缺陷生成,提高了晶体的结晶质量。由上述气相晶体生长方法制得的氧化锌晶体具有更高的质量,能够满足更多应用要求。

    一种检测装置的制作方法

    公开(公告)号:CN108645911A

    公开(公告)日:2018-10-12

    申请号:CN201810425951.1

    申请日:2018-05-04

    CPC classification number: G01N29/041 G01N2291/0234

    Abstract: 本发明涉及一种检测装置的制作方法,属于微型电子器件技术领域。该制作方法包括:一待测试金属结构部件,在所述待测试金属结构部件上设置声阻挡层;在所述声阻挡层上设置声表面波传感器,其中,在对所述待测试金属结构部件进行测试时,所述声阻挡层使所述声表面波传感器产生的声表面波作用于所述待测试金属结构部件的表面。该制作方法将声表面波传感器与待测试的金属结构件集成在一起,解决了采用粘结剂可能会发生开裂、崩落等现象,导致声表面波传感器的失效、损坏甚至脱落的技术问题,同时,通过声阻挡层使声表面波传感器产生的声表面波作用于待测试金属结构部件的表面,使得传感器具有更高的品质因数、谐振性能和测试灵敏度。

    一种气相晶体生长方法及氧化锌晶体

    公开(公告)号:CN109280969B

    公开(公告)日:2020-10-13

    申请号:CN201811352761.8

    申请日:2018-11-14

    Abstract: 本发明提供一种气相晶体生长方法及氧化锌晶体,涉及晶体制备技术领域。一种气相晶体生长方法,主要包括以下步骤:将悬挂有籽晶的封帽固定在装有原料的坩埚上。籽晶与所述封帽、坩埚壁均为间隔设置,籽晶位于坩埚壁限定形成的腔体内。由于籽晶不与坩埚壁直接接触,也不与封帽直接接触,使得生长在籽晶上的晶体也不会与坩埚和封帽直接接触,使晶体在生长过程中不容易出现应力集中和晶体开裂现象。本发明避免了籽晶、生长在籽晶上的晶体与容器壁直接接触,防止了生长和降温过程中的应力集中、粘连、开裂现象,防止了空洞、起泡等缺陷生成,提高了晶体的结晶质量。由上述气相晶体生长方法制得的氧化锌晶体具有更高的质量,能够满足更多应用要求。

    一种检测装置
    4.
    实用新型

    公开(公告)号:CN208043748U

    公开(公告)日:2018-11-02

    申请号:CN201820668170.0

    申请日:2018-05-04

    Abstract: 本实用新型涉及一种检测装置,属于微型电子器件技术领域。该装置包括:待测试金属结构部件;设置于所述待测试金属结构部件上的声阻挡层;设置于所述声阻挡层上的声表面波传感器,在对所述待测试金属结构部件进行测试时,所述声阻挡层使所述声表面波传感器产生的声表面波作用于所述待测试金属结构部件的表面。该检测装置将声表面波传感器与待测试的金属结构件集成在一起,解决了采用粘结剂可能会发生开裂、崩落等现象,导致声表面波传感器的失效、损坏甚至脱落的技术问题,同时,通过声阻挡层使声表面波传感器产生的声表面波作用于待测试金属结构部件的表面,而不在金属结构件内部传播,使得传感器具有更高的品质因数、谐振性能和测试灵敏度。

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