公开(公告)号：CN107132604B

公开(公告)日：2020-01-14

申请号：CN201710498955.8

申请日：2017-06-26

Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心

Inventor： 卫耀伟 ,  刘浩 ,  蔡清元 ,  王震 ,  潘峰 ,  张哲 ,  刘志超 ,  吴倩 ,  罗晋 ,  欧阳升

IPC: G02B5/28

Abstract: 本发明提供了一种渐变折射率薄膜制备参数获取方法、制备方法及滤光片，属于薄膜制备工艺技术领域。所述制备参数获取方法包括：获取待制备的渐变折射率薄膜的制备数据，其中，所述制备数据包括所述渐变折射率薄膜的每个膜层的折射率和膜层厚度；获取基准对应关系，所述基准对应关系为混合膜层的折射率与膜层浓度之间的关系；根据所述基准对应关系以及所述制备数据，得到所述渐变折射率薄膜的制备参数。通过本方法有利于较准确地得到待制备的渐变折射率薄膜的制备参数，从而制备出性能更符合需求的渐变折射率薄膜以及滤光片。

公开(公告)号：CN107132604A

公开(公告)日：2017-09-05

申请号：CN201710498955.8

申请日：2017-06-26

Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心

Inventor： 卫耀伟 ,  刘浩 ,  蔡清元 ,  王震 ,  潘峰 ,  张哲 ,  刘志超 ,  吴倩 ,  罗晋 ,  欧阳升

IPC: G02B5/28

Abstract: 本发明提供了一种渐变折射率薄膜制备参数获取方法、制备方法及滤光片，属于薄膜制备工艺技术领域。所述制备参数获取方法包括：获取待制备的渐变折射率薄膜的制备数据，其中，所述制备数据包括所述渐变折射率薄膜的每个膜层的折射率和膜层厚度；获取基准对应关系，所述基准对应关系为混合膜层的折射率与膜层浓度之间的关系；根据所述基准对应关系以及所述制备数据，得到所述渐变折射率薄膜的制备参数。通过本方法有利于较准确地得到待制备的渐变折射率薄膜的制备参数，从而制备出性能更符合需求的渐变折射率薄膜以及滤光片。