公开(公告)号：CN101063748A

公开(公告)日：2007-10-31

申请号：CN200710051951.1

申请日：2007-04-24

Applicant: 中国地质大学(武汉)

Inventor： 向东 ,  王青玲 ,  郑安寿 ,  汤型正 ,  韩艳玲 ,  罗中杰

IPC: G02B26/06

Abstract: 本发明涉及一种自适应光学系统的变形镜。一种激光驱动的可变形反射镜，其特征在于：它由感光底层(5)、支撑柱(6)、镜面组成；感光底层(5)由光敏材料砷化镓半导体晶片构成，光敏材料砷化镓半导体晶片的下表面为ZnO层；镜面由聚酯薄膜(7)、铝膜(8)构成，聚酯薄膜(7)的上表面镀有一层铝膜(8)；感光底层(5)的上表面沉淀有栅格状的支撑柱(6)，支撑柱(6)的上端面与镜面的聚酯薄膜下表面相胶粘；镜面的铝膜(8)、感光底层(5)的ZnO层分别由导线与电压源(9)相连。本发明具有形变量大的特点(其最大形变量可以达到0.85μm)。

公开(公告)号：CN100434963C

公开(公告)日：2008-11-19

申请号：CN200610018567.7

申请日：2006-03-16

Applicant: 中国地质大学(武汉)

Inventor： 向东 ,  程永进 ,  谭季麓 ,  李铁平 ,  王青玲 ,  王稀成

IPC: G02B26/08

Abstract: 本发明涉及一种自适应光学系统的变形镜。可变形反射镜，它包括驱动电极和硅膜，硅膜(6)为镜面，其特征在于：驱动电极(7)位于硅膜(6)的下方，驱动电极(7)与硅膜(6)之间的间距为35-45μm；硅膜(6)的上方设有透明电极(5)，透明电极(5)与硅膜(6)之间的间距为65-75μm；硅膜(6)的边缘与镜面支架(8)相固定，透明电极(5)的边缘与镜面支架(8)相粘接，驱动电极(7)由支撑柱(9)与镜面支架(8)相粘接。本发明采用硅膜(6)的上方设有透明电极(5)，它能驱使硅膜(6)产生靠近或远离驱动电极的两种形变，从而能更好的控制镜膜的形变，极大地提高校正波前的能力。

公开(公告)号：CN1818739A

公开(公告)日：2006-08-16

申请号：CN200610018567.7

申请日：2006-03-16

Applicant: 中国地质大学(武汉)

Inventor： 向东 ,  程永进 ,  谭季麓 ,  李铁平 ,  王青玲 ,  王稀成

IPC: G02B26/08

Abstract: 本发明涉及一种自适应光学系统的变形镜。可变形反射镜，它包括驱动电极和硅膜，其特征在于：驱动电极(7)位于硅膜(6)的下方，驱动电极(7)与硅膜(6)之间的间距为35－45μm；硅膜(6)的上方设有透明电极(5)，透明电极(5)与硅膜(6)之间的间距为65－75μm；硅膜(6)、透明电极(5)分别与镜面支架(8)相固定，驱动电极(7)由支撑柱(9)与镜面支架(8)固定连接。本发明采用硅膜(6)的上方设有透明电极(5)，它能驱使硅膜(6)产生靠近或远离驱动电极的两种形变，从而能更好地控制镜膜的形变，极大地提高校正波前的能力。