公开(公告)号：CN1818739A

公开(公告)日：2006-08-16

申请号：CN200610018567.7

申请日：2006-03-16

Applicant: 中国地质大学(武汉)

Inventor： 向东 ,  程永进 ,  谭季麓 ,  李铁平 ,  王青玲 ,  王稀成

IPC: G02B26/08

Abstract: 本发明涉及一种自适应光学系统的变形镜。可变形反射镜，它包括驱动电极和硅膜，其特征在于：驱动电极(7)位于硅膜(6)的下方，驱动电极(7)与硅膜(6)之间的间距为35－45μm；硅膜(6)的上方设有透明电极(5)，透明电极(5)与硅膜(6)之间的间距为65－75μm；硅膜(6)、透明电极(5)分别与镜面支架(8)相固定，驱动电极(7)由支撑柱(9)与镜面支架(8)固定连接。本发明采用硅膜(6)的上方设有透明电极(5)，它能驱使硅膜(6)产生靠近或远离驱动电极的两种形变，从而能更好地控制镜膜的形变，极大地提高校正波前的能力。

公开(公告)号：CN100434963C

公开(公告)日：2008-11-19

申请号：CN200610018567.7

申请日：2006-03-16

Applicant: 中国地质大学(武汉)

Inventor： 向东 ,  程永进 ,  谭季麓 ,  李铁平 ,  王青玲 ,  王稀成

IPC: G02B26/08

Abstract: 本发明涉及一种自适应光学系统的变形镜。可变形反射镜，它包括驱动电极和硅膜，硅膜(6)为镜面，其特征在于：驱动电极(7)位于硅膜(6)的下方，驱动电极(7)与硅膜(6)之间的间距为35-45μm；硅膜(6)的上方设有透明电极(5)，透明电极(5)与硅膜(6)之间的间距为65-75μm；硅膜(6)的边缘与镜面支架(8)相固定，透明电极(5)的边缘与镜面支架(8)相粘接，驱动电极(7)由支撑柱(9)与镜面支架(8)相粘接。本发明采用硅膜(6)的上方设有透明电极(5)，它能驱使硅膜(6)产生靠近或远离驱动电极的两种形变，从而能更好的控制镜膜的形变，极大地提高校正波前的能力。