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发明公开
一种激光驱动的可变形反射镜无效

公开(公告)号：CN101063748A

公开(公告)日：2007-10-31

申请号：CN200710051951.1

申请日：2007-04-24

Applicant: 中国地质大学(武汉)

Inventor： 向东 , 王青玲 , 郑安寿 , 汤型正 , 韩艳玲 , 罗中杰

IPC: G02B26/06

Abstract: 本发明涉及一种自适应光学系统的变形镜。一种激光驱动的可变形反射镜，其特征在于：它由感光底层(5)、支撑柱(6)、镜面组成；感光底层(5)由光敏材料砷化镓半导体晶片构成，光敏材料砷化镓半导体晶片的下表面为ZnO层；镜面由聚酯薄膜(7)、铝膜(8)构成，聚酯薄膜(7)的上表面镀有一层铝膜(8)；感光底层(5)的上表面沉淀有栅格状的支撑柱(6)，支撑柱(6)的上端面与镜面的聚酯薄膜下表面相胶粘；镜面的铝膜(8)、感光底层(5)的ZnO层分别由导线与电压源(9)相连。本发明具有形变量大的特点(其最大形变量可以达到0.85μm)。

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