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公开(公告)号：CN119805855A
公开(公告)日：2025-04-11
申请号：CN202510293169.9
申请日：2025-03-13
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明提供一种双面纳米压印结构的制备方法，其中，方法包括：形成第一光刻胶涂层，并基于第一光刻胶涂层进行图案化处理，对应第一光刻胶涂层的衬底遮挡部；对第一衬底A面进行刻蚀，形成凹槽结构，并将所述衬底遮挡部进行去除；将第一衬底、第二衬底进行衬底键合，以形成密封腔体；形成第一UV保护层，并对第二衬底B面进行结构化处理，形成第一纳米结构层；去除第一UV保护层，在第二衬底B面上形成第二UV保护层，并对第一衬底B面进行结构化处理，形成位于所述第一衬底B面上的第二纳米结构层，其中，所述第二纳米结构层包括呈现阵列排布的多个第二结构圆孔；去除第二UV保护层，得到双面纳米压印结构。本发明至少提高了制备效率和一致性。
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公开(公告)号：CN118676036B
公开(公告)日：2024-12-24
申请号：CN202411160490.1
申请日：2024-08-22
Applicant: 中北大学
IPC: H01L21/67 , H01L21/308
Abstract: 本发明的目的在于提供一种硅的高均匀性湿法腐蚀装置及方法，属于半导体芯片制造技术领域，所述装置包括水浴锅，所述水浴锅内设有烧杯，所述烧杯内设有用于夹持硅片的聚四氟乙烯材料制作的夹具，所述夹具包括夹持件，所述夹持件包括通过螺栓连接的上夹持件和下夹持件，所述上夹持件的顶端设有上螺杆，所述夹持件的底部设有过滤板，下夹持件与过滤板之间通过中螺杆连接，过滤板的底部设有下螺杆。通过该装置及方法，能够提升湿法腐蚀均匀性、改善湿法腐蚀形貌，通过缓解腐蚀液流速，加速生成沉淀物和气体溢出，达到提高整片晶圆深硅腐蚀均匀性同时改善形貌的效果。
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公开(公告)号：CN118387830A
公开(公告)日：2024-07-26
申请号：CN202410289597.X
申请日：2024-03-14
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明属于量子传感相关的微型原子气室领域，具体涉及一种制备实现六面通光的微型原子气室的方法；包括清洗5片晶圆；通道层玻璃晶圆打孔、抛光；第一次连接层硅晶圆阳极键合；第一次连接层硅晶圆光刻；第一次连接层硅晶圆深硅刻蚀；第二次连接层硅晶圆阳极键合；第二次连接层硅晶圆光刻；第二次连接层硅晶圆深硅刻蚀；第一次盖板玻璃晶圆阳极键合；通道层玻璃晶圆的方形通孔内注入碱金属；第二次盖板玻璃晶圆阳极键合；晶圆切割；切割面抛光；采用MEMS工艺制作出完全规则的六面通光的正方体结构，每一个气室尺寸都保持一致，与传统工艺实现的玻璃气室相比，具备更稳定的热传导通道，参数更稳定。
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公开(公告)号：CN117388772A
公开(公告)日：2024-01-12
申请号：CN202311224447.2
申请日：2023-09-21
Applicant: 中北大学
IPC: G01R33/032 , G01R33/12
Abstract: 一种用于原子磁强计的超表面集成反射型气室，属于原子磁强计技术领域，可解决现有原子磁强计的信号强度低，集成度低的问题，包括玻璃套筒，所述玻璃套筒内部填充有硅，玻璃套筒的外侧表面一端设有超表面，另一端设有光电探测器，超表面的上方设有四分之一波片，四分之一波片的上方设有激光器，玻璃套筒的两端套设有亥姆霍兹线圈。本发明的超表面可以实现湿法腐蚀长光学长度原子气室所需的19.48°的特殊偏转角，所提出的超表面在实现较大偏转角度的同时保持较高的效率。
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公开(公告)号：CN117354975A
公开(公告)日：2024-01-05
申请号：CN202311224413.3
申请日：2023-09-21
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明的目的在于提供一种用于CPT原子钟的VCSEL加热和温度检测装置，属于原子钟技术领域，包括陶瓷基板，所述陶瓷基板上设有感温区和加热区，所述感温区位于陶瓷基板的中心，加热区位于感温区的两侧，所述感温区包括呈几字型布置的铂薄膜金属线，加热区包括呈蛇形布置的铜薄膜金属线，感温区的中心设有垂直腔面发射激光器。本发明通过将感温区和加热区集成在一个陶瓷基底上，通过感温区的电流控制输入给加热区的电流，从而维持原子钟的温度恒定。相较于传统NTC热敏电阻的方式减少了体积，满足了CPT原子钟体积的微型化、功耗低的基本要求，供热速度快，同时，使物理封装更加便捷。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109678631A
公开(公告)日：2019-04-26
申请号：CN201910083830.8
申请日：2019-01-29
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明公开了一种二维含能材料，其氧化剂组分与燃料组分中至少一种为类石墨烯二维材料，并已被制成二维纳米片。所述氧化剂组分为MoO3或MnO2，其含量为10％～90％，所述燃料组分为Al、Mg、B、Ti、Si或P中的一种，其含量为10％～90％。本发明使二维材料与纳米含能材料完美结合在一起，解决了纳米含能材料的分散性差，粒子易团聚，瞬时放热差问题，也拓展了二维纳米材料的应用。
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公开(公告)号：CN109186827A
公开(公告)日：2019-01-11
申请号：CN201811287189.1
申请日：2018-10-31
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明公开了一种带引压管的全石英光纤压力传感器，包括石英毛细管#4，石英毛细管#4轴向内侧的左右两端对称设有一石英毛细管#3和一中空石英管#2，石英毛细管#3内熔接有一与其直径相匹配的光纤；中空石英管#2内熔接有一右端带石英微球的石英毛细管#1，石英微球为由石英毛细管#1制作而成的空心的球形壳体，尾部与石英毛细管#1相通；石英微球设置于石英毛细管#3和中空石英管#2之间的空腔内，其中心点与光纤的中心点位于同一水平线上；光纤两端分别延伸至石英毛细管#3外，其右端面与石英微球的外表面之间形成法珀腔。本发明具有极低的温度系数，结构紧凑，体积小，具有高温环境下压力测量的应用的潜力。
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公开(公告)号：CN105136350B
公开(公告)日：2017-11-21
申请号：CN201510246997.3
申请日：2015-05-15
Applicant: 中北大学
IPC: G01L1/14
Abstract: 本发明公开了一种近场耦合无线无源超高温压力传感器及其制备方法，该传感器由近场耦合力敏结构、耐高温波导和耐高温天线构成，所述近场耦合力敏结构由平面谐振器、介质层或金属与介质复合层构成，所述介质层或金属与介质复合层构成力敏膜，平面谐振器和介质层或金属层之间使用空心耐高温筒体隔开。本发明以近场耦合理论作为压力信号、电磁场耦合依据设计力敏结构，极大的减少了传感器体积和压力信号、电磁场耦合灵敏度；基于近场耦合理论的近场耦合力敏结构无需侧壁涂覆金属，降低了加工难度，避免了腔内壁转角、折弯及形状突变处金属涂覆，保证了金属涂层与基片粘接可靠性，进而保证本超高温压力传感器可靠性。
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公开(公告)号：CN103727964B
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：CN201310590178.1
申请日：2013-11-22
Applicant: 中北大学
IPC: G01D5/243
Abstract: 本发明公开了一种基于LC谐振传感器的力学参数测量系统与测量方法，所述系统包括DDS扫频信号源模块、高频功率放大器模块、第一移相器、第二移相器、互感耦合前端模块、相差检测模块、信号采集模块、中央处理单元；当系统对前端读取天线施加正弦交变激励信号时，如果远端被测环境中的LC谐振传感器与之发生电磁互感耦合，将导致读取天线端输入阻抗发生改变，从而使得天线端正弦交变激励信号的相频曲线产生一个与LC传感器谐振频率相关的峰值，通过提取峰值处的频率，得到LC谐振传感器的谐振频率变化，就可以推算出环境中被测力学参数的变化。
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公开(公告)号：CN105367362A
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：CN201510861224.6
申请日：2015-12-02
Applicant: 中北大学
IPC: C06B33/00
CPC classification number: C06B33/00
Abstract: 本发明公开了一种新高反应焓含能材料及其制备方法，该材料包含以下质量百分比的组分：含氟组分30％～70％，做氧化剂；含能金属组分或含能金属和含能非金属混合组分70％～30％，做燃料(还原剂)；所述含氟组分为可用普通溶剂溶解的高氟含量聚合物，氟含量＞80％；所述含能金属组分为铝、钛等含能金属单质；含能非金属组分为硼、硅等含能非金属单质。本发明使用可以溶解的含氟聚合物实现了含能材料氧化剂组分和燃料组分的溶液湿法混合，混合分散性好、接触紧密性高，有利于提高所得含能材料的化学反应和化学潜能释放速率，进而提高反应焓；制备工艺简单、加工温度低，可避免加工时引起含能材料热反应和提前激发以实现安全加工。
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