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公开(公告)号：CN109186827A
公开(公告)日：2019-01-11
申请号：CN201811287189.1
申请日：2018-10-31
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明公开了一种带引压管的全石英光纤压力传感器，包括石英毛细管#4，石英毛细管#4轴向内侧的左右两端对称设有一石英毛细管#3和一中空石英管#2，石英毛细管#3内熔接有一与其直径相匹配的光纤；中空石英管#2内熔接有一右端带石英微球的石英毛细管#1，石英微球为由石英毛细管#1制作而成的空心的球形壳体，尾部与石英毛细管#1相通；石英微球设置于石英毛细管#3和中空石英管#2之间的空腔内，其中心点与光纤的中心点位于同一水平线上；光纤两端分别延伸至石英毛细管#3外，其右端面与石英微球的外表面之间形成法珀腔。本发明具有极低的温度系数，结构紧凑，体积小，具有高温环境下压力测量的应用的潜力。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113340491A
公开(公告)日：2021-09-03
申请号：CN202110769703.0
申请日：2021-07-07
Applicant: 中北大学
Abstract: 本公开描述一种光纤法珀压力传感器及其敏感单元的高一致性制备方法，其包括以下步骤：准备第一石英片、第二石英片、以及第三石英片；对第一石英片的上表面进行抛光，对第二石英片的上表面和下表面进行抛光，并且对第三石英片的上表面进行抛光；以预定分布方式在第一石英片的上表面或第二石英片的上表面制作多个凹槽；以预定分布方式在第三石英片制作多个通孔；以覆盖多个凹槽的方式将第一石英片的上表面与第二石英片的上表面结合，并且将第三石英片的上表面与第二石英片的下表面结合，形成各个凹槽与各个通孔分别共轴的层叠体；并且对多个凹槽进行切割以获得多个敏感单元。根据本公开，能够提高光纤法珀压力传感器的敏感单元的一致性。
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公开(公告)号：CN113340491B
公开(公告)日：2024-01-05
申请号：CN202110769703.0
申请日：2021-07-07
Applicant: 中北大学
Abstract: 本公开描述一种光纤法珀压力传感器及其敏感单元的高一致性制备方法，其包括以下步骤：准备第一石英片、第二石英片、以及第三石英片；对第一石英片的上表面进行抛光，对第二石英片的上表面和下表面进行抛光，并且对第三石英片的上表面进行抛光；以预定分布方式在第一石英片的上表面或第二石英片的上表面制作多个凹槽；以预定分布方式在第三石英片制作多个通孔；以覆盖多个凹槽的方式将第一石英片的上表面与第二石英片的上表面结合，并且将第三石英片的上表面与第二石英片的下表面结合，形成各个凹槽与各个通孔分别共轴的层叠体；并且对多个凹槽进行切割以获得多个敏感单元。根据本公开，能够提高光纤法珀压力传感器的敏感单元的一致性。
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公开(公告)号：CN113340492A
公开(公告)日：2021-09-03
申请号：CN202110769704.5
申请日：2021-07-07
Applicant: 中北大学
Abstract: 本公开描述一种光纤法珀压力传感器的敏感单元的批量化制备方法，包括以下步骤：准备第一石英片和第二石英片，对第一石英片的上表面进行抛光，对第二石英片的上表面进行抛光；在第一石英片的上表面制作多个凹槽；在第一石英片的下表面，在与各个凹槽相应的位置制作与该凹槽共轴且与该凹槽连通的通孔；将第二石英片的上表面以覆盖多个凹槽的方式与第一石英片的上表面结合，形成层叠体；并且对层叠体的多个凹槽进行切割以获得多个敏感单元。根据本公开，能够提高光纤法珀压力传感器的敏感单元的一致性。
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公开(公告)号：CN214893787U
公开(公告)日：2021-11-26
申请号：CN202121545055.2
申请日：2021-07-07
Applicant: 中北大学
Abstract: 本实用新型描述一种光纤法珀压力传感器，其包括敏感单元和光学组件，敏感单元包括层叠设置的具有第一光学表面的第一膜片以及具有第二光学表面的第二膜片，第一光学表面与第二光学表面相对且平行地设置并且在第一光学表面与第二光学表面之间形成有空腔，第一膜片具有与空腔连通的通孔，光学组件嵌设于通孔中，经由光学组件而进入空腔的光线能够在光学组件嵌入于通孔中的一端的端面与第二光学表面之间进行反射并生成包括第一光学表面与第二光学表面的间距信息的光学信号，其中，第二膜片配置为受到压力作用而发生形变以使第一光学表面与第二光学表面的间距发生改变，通过感测光学信号以感测压力。根据本实用新型，能够在高温环境中感测压力。
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公开(公告)号：CN214893786U
公开(公告)日：2021-11-26
申请号：CN202121545052.9
申请日：2021-07-07
Applicant: 中北大学
Abstract: 本实用新型描述一种非本征光纤法珀压力传感器，其包括敏感单元、以及与敏感单元连接的光学组件，敏感单元包括依次层叠的第一膜片、配置为光线可透射而过的第二膜片、以及具有通孔的第三膜片，第一膜片与第二膜片之间形成有空腔，通孔的轴线正交于第一光学表面，光学组件嵌设于通孔中，经由光学组件和第二膜片而进入空腔的光线能够在第一光学表面与第二光学表面之间进行反射并生成包括第一光学表面与第二光学表面的间距信息的光学信号，其中，第一膜片配置为受到压力作用而发生形变以使第一光学表面与第二光学表面的间距发生改变，通过感测光学信号以对压力进行感测。根据本实用新型，能够提供一种在高温环境中感测压力的压力传感器。
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