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公开(公告)号:CN101017333A
公开(公告)日:2007-08-15
申请号:CN200610003266.7
申请日:2006-02-06
Applicant: 东进世美肯株式会社
IPC: G03F7/42
Abstract: 本发明公开了一种正型光致抗蚀剂剥离剂组合物,它包括:a)占10-50重量%的有机胺;b)占0-70重量%的二甘醇单烷基醚;c)占20-90重量%的非质子极性溶剂;d)基于所述三种成分的总重量,占0.01-10重量%的非离子表面活性剂。本发明正型光致抗蚀剂剥离剂组合物对经蚀刻处理等工艺而变质的光致抗蚀剂图案膜具有优异的溶解性和剥离性,并与水混合后作为清洗液(rinse)使用时,对铝或铜基板的腐蚀小、蒸发少,不仅对作业环境有利,而且稳定性高,并可用水进行清洗,特别是低温剥离性能优异,因此具有很强的实用性。
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公开(公告)号:CN101000468A
公开(公告)日:2007-07-18
申请号:CN200710001267.2
申请日:2007-01-11
Applicant: 东进世美肯株式会社
IPC: G03F7/42
Abstract: 本发明涉及一种,为了再利用TFT-LCD彩色滤光片的制造过程中产生的不良基板,去除彩色抗蚀剂及涂层的薄膜晶体管液晶显示器用彩色抗蚀剂剥离液组合物,具体涉及一种包括:(a)1-50w%的选自无机碱氢氧化物、烷基氢氧化铵及苯基烷基氢氧化铵的氢氧化物,所述烷基氢氧化铵包含C1-C4的烷基;(b)5-30w%的极性硫化物;(c)5-35w%的烷撑二醇醚,所述烷撑二醇醚包含C1-C4的烷基;(d)2-30w%的烷撑二醇二烷基醚,所述烷撑二醇二烷基醚包含C1-C4的烷基;(e)2-30w%的水溶性胺化合物;(f)残余量水的彩色抗蚀剂用剥离液组合物。
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公开(公告)号:CN1950754A
公开(公告)日:2007-04-18
申请号:CN200580014563.5
申请日:2005-05-06
Applicant: 东进世美肯株式会社
IPC: G03F7/32
CPC classification number: G03F7/425 , C07D295/027 , C07D295/088
Abstract: 本发明涉及一种在制作电路或显示装置图形中使用的光刻胶去除剂组合物,更具体而言,涉及一种含有胺和溶剂的光刻胶去除剂组合物,其中,所述胺为环胺化合物。本发明的光刻胶去除剂组合物可容易并快速地去除光刻胶膜,并可使形成图形的金属电路的腐蚀最小化。
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