基于二维PtTe2/硅基异质结的光电探测器及其制法

    公开(公告)号:CN117276390A

    公开(公告)日:2023-12-22

    申请号:CN202311298872.6

    申请日:2023-10-08

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于二维PtTe2/硅基异质结的光电探测器,包括电极结构,所述电极结构沿纵向依次包括Al背电极、Si衬底、Al2O3隧穿层、PtTe2膜和Ti/Au前电极;还包括IC底座,IC底座上固定有金接线柱,金接线柱一端通过导电银胶与Al背电极电连接,金接线柱另一端通过铝丝与Ti/Au前电极电连接。本发明还公开了上述基于二维PtTe2/硅基异质结的光电探测器的制备方法。本发明通过在PtTe2/Si光电探测器件中引入对应厚度的Al2O3层作为隧穿层,能够有效降低暗电流,实现光电流的倍增。

    一种具有高功率因子碲化铋薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN117241649A

    公开(公告)日:2023-12-15

    申请号:CN202311268290.3

    申请日:2023-09-28

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开了一种具有高功率因子碲化铋薄膜的制备方法,包括如下步骤:(1)利用电子束蒸镀法在衬底上沉积铋薄膜;(2)沿气体流动方向,将铋薄膜置于管式炉下游,将过量碲粉置于管式炉中心位置,抽真空后通入氩气作为载气,过量碲粉挥发使铋薄膜发生碲化反应,得到碲化铋薄膜。本发明方法能够低成本地制得50nm以下仍具有高功率因子(不同厚度下碲化铋薄膜的功率因子均大于5μW·cm‑1·K‑2)的碲化铋薄膜,从而有利于实现50nm以下碲化铋薄膜在便携场景中的应用;本发明通过调整碲化温度和碲粉用量来提高碲化铋薄膜的功率因子,无需后续单独退火处理。

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