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公开(公告)号：CN102324344B
公开(公告)日：2013-10-30
申请号：CN201110139906.8
申请日：2011-05-27
Applicant: 东南大学
IPC: H01H59/00
Abstract: 本发明公开了一种带有可双向推拉的梳齿单元的射频微机械开关，包括衬底、共面波导传输线和驱动部件；共面波导传输线包括信号线、左地线和右地线，信号线包括上端口、下端口和菱形细长梁；驱动部件包括四组梳齿结构、中心锚区和侧锚区；在每组梳齿结构中，第一固定梳齿单元的固定梳齿、移动梳齿单元中的移动梳齿、第二固定梳齿单元的固定梳齿顺序重复分布；移动梳齿单元的移动可以使菱形细长梁上端部和上端口贴合、下端部和下端口贴合、左端部和左地线分离、右端部和右地线分离，或者使菱形细长梁的上端部和上端口分离、下端部和下端口分离、左端部和左地线贴合、右端部和右地线贴合。该结构的射频微机械开关可以提高隔离度，降低执行电压。
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公开(公告)号：CN102040188A
公开(公告)日：2011-05-04
申请号：CN201010575850.6
申请日：2010-12-07
Applicant: 东南大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 消除微电子机械系统悬空结构粘附现象的方法，其特征在于控制温度，在芯片的底部键合封装层形成键合体，所述的封装层的热膨胀系数大于芯片的热膨胀系数；控制降温幅度，使键合体温度降至室温或者比室温更低的温度。封装层的热膨胀系数为5.6×10-6~28×10-6/℃；材料为FR4（环氧玻璃布层压板）或者Al2O3；厚度为50~1000µm。本发明只需利用常用的键合机，控制温度控制拉应力的大小即可实现MEMS悬空结构的解粘附，过程简单，设备要求低，可控制性强，并且可以批量化大生产。
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公开(公告)号：CN102324344A
公开(公告)日：2012-01-18
申请号：CN201110139906.8
申请日：2011-05-27
Applicant: 东南大学
IPC: H01H59/00
Abstract: 本发明公开了一种带有可双向推拉的梳齿单元的射频微机械开关，包括衬底、共面波导传输线和驱动部件；共面波导传输线包括信号线、左地线和右地线，信号线包括上端口、下端口和菱形细长梁；驱动部件包括四组梳齿结构、中心锚区和侧锚区；在每组梳齿结构中，第一固定梳齿单元的固定梳齿、移动梳齿单元中的移动梳齿、第二固定梳齿单元的固定梳齿顺序重复分布；移动梳齿单元的移动可以使菱形细长梁上端部和上端口贴合、下端部和下端口贴合、左端部和左地线分离、右端部和右地线分离，或者使菱形细长梁的上端部和上端口分离、下端部和下端口分离、左端部和左地线贴合、右端部和右地线贴合。该结构的射频微机械开关可以提高隔离度，降低执行电压。
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公开(公告)号：CN102280315A
公开(公告)日：2011-12-14
申请号：CN201110139908.7
申请日：2011-05-27
Applicant: 东南大学
IPC: H01H59/00
Abstract: 本发明公开了一种带有可横向推拉的梳齿单元的射频微机械开关，包括衬底、共面波导传输线和驱动部件，共面波导传输线包括信号线、左地线和右地线，信号线包括上端口、下端口和两组细长梁；每组细长梁由第一细长梁和第二细长梁组成，第一细长梁的上端固定连接在上端口底面的边缘，第二细长梁的下端固定连接在下端口顶面的边缘；驱动部件包括锚区和四组梳齿结构；每组梳齿结构包括固定梳齿单元和移动梳齿单元，固定梳齿单元固定连接在锚区的侧壁上，移动梳齿单元固定连接在细长梁上，移动梳齿单元的移动可以使第一细长梁的下部和第二细长梁的上部贴合或者分离。该结构的射频微机械开关可以提高隔离度，降低执行电压。
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公开(公告)号：CN102156194A
公开(公告)日：2011-08-17
申请号：CN201110053174.0
申请日：2011-03-07
Applicant: 东南大学
IPC: G01P1/00
Abstract: 本发明公开了一种加速度计止挡结构，包括衬底基板、面内止挡层、离面止挡层以及可动的止挡接触头；面内止挡层通过锚区固定于衬底基板之上，其底部向中心处凹陷；止挡接触头为T字型，T字首部位于面内止挡层的凹陷处内部，T字尾部穿出至凹陷处外，所述止挡接触头与面内止挡层凹陷处之间留有间隙；离面止挡层位于面内止挡层之上且与之相连，所述离面止挡层覆盖止挡接触头T字首部的部分面积，并与止挡接触头T字首部间留有的间隙。本发明结构简单、能够实现在三维方向上有效控制止挡接触头的自由行程，且在大冲击环境下整个加速度计止挡结构不容易发生粘附和损坏。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102201298B
公开(公告)日：2013-07-31
申请号：CN201110139909.1
申请日：2011-05-27
Applicant: 东南大学
IPC: H01H59/00
Abstract: 本发明公开了一种带有可纵向推拉的梳齿单元的射频微机械开关，包括衬底、共面波导传输线和驱动部件，共面波导传输线包括信号线、左地线和右地线，信号线包括上端口、下端口和两根细长梁；细长梁通过弹性结构固定连接在下端口顶面，细长梁的顶端与上端口的底面有间隙；驱动部件包括上锚区、下锚区、上梳齿结构和下梳齿结构；上梳齿结构和下梳齿结构均分别包括固定梳齿单元和移动梳齿单元；下梳齿结构中的固定梳齿和移动梳齿分布顺序与上梳齿结构中的固定梳齿和移动梳齿分布顺序相反；移动梳齿单元的移动可以使细长梁的顶端和上端口的底面贴合或者分离。该结构的射频微机械开关可以提高隔离度，降低执行电压。
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公开(公告)号：CN102201298A
公开(公告)日：2011-09-28
申请号：CN201110139909.1
申请日：2011-05-27
Applicant: 东南大学
IPC: H01H59/00
Abstract: 本发明公开了一种带有可纵向推拉的梳齿单元的射频微机械开关，包括衬底、共面波导传输线和驱动部件，共面波导传输线包括信号线、左地线和右地线，信号线包括上端口、下端口和两根细长梁；细长梁通过弹性结构固定连接在下端口顶面，细长梁的顶端与上端口的底面有间隙；驱动部件包括上锚区、下锚区、上梳齿结构和下梳齿结构；上梳齿结构和下梳齿结构均分别包括固定梳齿单元和移动梳齿单元；下梳齿结构中的固定梳齿和移动梳齿分布顺序与上梳齿结构中的固定梳齿和移动梳齿分布顺序相反；移动梳齿单元的移动可以使细长梁的顶端和上端口的底面贴合或者分离。该结构的射频微机械开关可以提高隔离度，降低执行电压。
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公开(公告)号：CN102156202A
公开(公告)日：2011-08-17
申请号：CN201110053175.5
申请日：2011-03-07
Applicant: 东南大学
IPC: G01P15/125
Abstract: 本发明公开了一种电极极板的固定结构，包括衬底基板、质量块结构及其对应的固定电极结构，所述质量块结构包括框架状的质量块和可动电极极板，框架状的质量块由横梁和垂直于横梁并位于横梁两侧的大梁组成；所述固定电极结构包括固定电极极板；质量块、可动电极极板以及固定电极极板位于同一平面且间隔设置于衬底基板上方，可动电极极板以栅状分布在质量块上，且两端分别与大梁连接，每两个可动电极极板间均设有两个固定电极极板。本发明结构简单，成本低廉、加工制造工艺简单，可重复性强，易于批量生产且在使用过程中拥有极高的可靠性，可应用于电容式微机械加速度计结构中，有效提高其抗冲击能力、系统量程及在高负载下运行的可靠性。
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公开(公告)号：CN101666692B
公开(公告)日：2011-02-16
申请号：CN200910035272.4
申请日：2009-09-23
Applicant: 东南大学
IPC: G01L1/22
Abstract: 本发明公开了一种应力传感测试结构，该测试结构包括两个垂直位置摆放且串联连接的折弯型压阻(1)和压阻两侧反应离子刻蚀的应力隔离槽(2)，在两个折弯型压阻(1)的两头设有第一金属引线(3)和第二金属引线(4)，在两个折弯型压阻(1)的连接处设有第三金属引线(5)。检测应力时，利用应力隔离槽(2)隔离掉由两边区域传递给压阻结构的某一个方向的应力，在平面应力测试时，平面剪应力可忽略情况下(如电子封装领域)，测试结构能同时检测两个垂直的主应力分量，简化了一般测试结构所需采用的四个压阻的饰环结构的设计，降低了工艺要求。大大减小了测试的复杂度。
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公开(公告)号：CN101666692A
公开(公告)日：2010-03-10
申请号：CN200910035272.4
申请日：2009-09-23
Applicant: 东南大学
IPC: G01L1/22
Abstract: 本发明公开了一种应力传感测试结构，该测试结构包括两个垂直位置摆放且串联连接的折弯型压阻(1)和压阻两侧反应离子刻蚀的应力隔离槽(2)，在两个折弯型压阻(1)的两头设有第一金属引线(3)和第二金属引线(4)，在两个折弯型压阻(1)的连接处设有第三金属引线(5)。检测应力时，利用应力隔离槽(2)隔离掉由两边区域传递给压阻结构的某一个方向的应力，在平面应力测试时，平面剪应力可忽略情况下(如电子封装领域)，测试结构能同时检测两个垂直的主应力分量，简化了一般测试结构所需采用的四个压阻的饰环结构的设计，降低了工艺要求。大大减小了测试的复杂度。
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