一种电极可重构的宽量程电导率传感器

    公开(公告)号:CN118191033A

    公开(公告)日:2024-06-14

    申请号:CN202410515364.7

    申请日:2024-04-26

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开了一种电极可重构的宽量程电导率传感器,包括半导体衬底、设置在衬底表面的V形梁、弓形梁、折叠梁、连接杆、圆形电极、锚区和限位圆柱,第一圆形电极和第二圆形电极分别设置于第一弓形梁和第二弓形梁短轴的中心,并分别通过第一折叠梁和第二折叠梁与锚区相连,构成传感器的检测电极,传感器利用V形梁驱动弓形梁在水平面内发生翻折,进而调节两个检测电极之间的相对距离,实现对传感器检测量程的重构。随后,通过向检测电极施加交变电压信号,进而获取流经电导池的电流信号,实现溶液电导率的检测。本发明提供的传感器结构简单,通用性强,适用于宽量程的电导率测量。

    一种节能型混凝土搅拌设备

    公开(公告)号:CN117681313B

    公开(公告)日:2024-05-24

    申请号:CN202410031341.9

    申请日:2024-01-09

    Abstract: 本发明属于混凝土搅拌技术领域,尤其是涉及一种节能型混凝土搅拌设备,包括搅拌筒,所述搅拌筒的下侧壁固定连接有搅拌电机,所述搅拌电机的输出端贯穿搅拌筒的侧壁,且固定连接有搅拌架。本发明能够在利用搅拌设备对混凝土进行搅拌时,使混凝土的水灰比在合适的范围,在保证混凝土强度的同时,也保证了混凝土搅拌的便利性,以及能够在对搅拌设备内部的混凝土进行搅拌时,可以在混凝土被充分拌合结束后,自动关闭搅拌设备,避免了混凝土搅拌时间过长,会使混凝土失去流动性,不能够有效浇灌模板的问题,也避免了搅拌设备工作时间过长,造成电能浪费的问题,提高了搅拌设备的节能性。

    一种基于折纸结构的可重构压力传感器

    公开(公告)号:CN117553941A

    公开(公告)日:2024-02-13

    申请号:CN202311534323.4

    申请日:2023-11-17

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于折纸结构的可重构压力传感器,该压力传感器包括水平衬底、V型梁、折纸结构梁、悬臂梁、下极板、电感结构、连接线以及金属挡板。悬臂梁与下极板构成平板电容,当悬臂梁上施加压力时,平板电容的极板间距变化引起电容的容值变化,使得平板电容与电感结构构成的谐振电路的谐振频率发生改变,实现压力检测。通过V型梁锚区施加电流,使V型梁内产生焦耳热引起热膨胀,推动V型梁驱动杆输出位移使折纸结构梁弯曲,进而驱动悬臂梁与下极板交叠面积改变,实现压力灵敏度可重构。进一步增大V型梁锚区电流,使得悬臂梁与金属挡板接触,悬臂梁沿折痕发生弯曲,造成悬臂梁弯曲高度和刚度增大,实现压力检测量程可重构。

    一种自供能无线湿度传感器
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117110377A

    公开(公告)日:2023-11-24

    申请号:CN202311106841.6

    申请日:2023-08-30

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明涉及一种自供能无线湿度传感器,所述自供能无线湿度传感器包括上层结构、下层结构、叉指电容式湿度传感结构和弹性支撑结构;通过对弹性支撑结构循环施加和撤去压力,使上层结构的聚全氟乙丙烯薄膜和下层结构的聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜接触分离产生高的电势差,进而击穿尖端结构周围空气放电产生电磁波信号。串联的电容式湿度传感器通过电容变化反映湿度变化,这会影响电磁波信号的频率特性,从而实现自供能无线湿度传感。该自供能无线湿度传感器具有结构简单、传输距离远、抗干扰能力强、环境友好等优势。

    一种双通道自检测的MEMS微波功率分配器及其制备方法

    公开(公告)号:CN111039252B

    公开(公告)日:2023-07-25

    申请号:CN201911393730.1

    申请日:2019-12-30

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明提供了一种双通道自检测的MEMS微波功率分配器及其制备方法,包括位于砷化镓衬底上的微波功分器、热电式MEMS微波功率传感器以及三个电容式MEMS微波功率传感器;所述微波功分器为“T”型对称结构,包括三个端口,所述微波功分器的中间部分设有ACPS信号线;所述热电式MEMS微波功率传感器位于所述ACPS信号线所组成的环形区域内;每个所述电容式MEMS微波功率传感器均通过CPW结构与一个所述端口连接。本发明通过电容式和热电式双通道能够实时在线检测MEMS微波功率分配器的两端口是否为等分微波功率或是否发生失配情况,并且在线测量出输入和输出端口处微波功率的比例,从而实现了MEMS微波功率分配器的实时在线功率自检测。

    基于悬臂梁结构的无源无线湿度传感器

    公开(公告)号:CN112034019B

    公开(公告)日:2022-04-12

    申请号:CN202010933150.3

    申请日:2020-09-08

    Applicant: 东南大学

    Inventor: 韩磊 吴承根

    Abstract: 本发明公开了一种基于悬臂梁结构的无源无线湿度传感器,该湿度传感器包括基板(1),电感(2),第一叉指电容(3)、第二叉指电容(4),绝缘层(5),吸湿材料层(6);所述电感(2)位于基板(1)的上表面,第一叉指电容(3)、第二叉指电容(4)位于绝缘层(5)的上表面,第一叉指电容(3)、第二叉指电容(4)与电感(2)相连;吸湿材料层(6)位于绝缘层(5)下方,吸湿材料层和绝缘层组成的湿敏悬臂梁一端与基板相连。该湿度传感器结构新颖,且能够进行无源无线检测,同时整个传感器通过微电子加工工艺,可使结构尺寸的精度达到较高水平,使得该湿度传感器具有灵敏度高、寿命长、功耗低、体积小、工艺兼容等优势。

    具有在线自检测功能的对称型MEMS定向微波功率耦合器

    公开(公告)号:CN111273089B

    公开(公告)日:2022-02-15

    申请号:CN201911412952.3

    申请日:2019-12-31

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明的具有在线自检测功能的对称型MEMS定向微波功率耦合器通过将两段ACPS传输线的信号线对称分布于主传输线的上下两侧,且每段ACPS传输线的长度为四分之一波长,构成对称型定向耦合器,利用对称型定向耦合器将入射微波功率分别耦合到耦合端端口三、五,使其具有两个耦合端的输出微波功率,从而实现了双端口耦合输出;在对称型定向耦合器的CPW传输线与ACPS传输线的四个连接节点处各放置一个电容式MEMS微波功率传感器,利用电容式MEMS微波功率传感器测量出两支路各端口传输的微波功率,实现了在线自检测功能;此外,其采用全无源结构具有零直流功耗以及与砷化镓单片微波集成电路工艺兼容等特点。

    基于热电式和电容式双通道在线检测的MEMS微波驻波计

    公开(公告)号:CN111044799B

    公开(公告)日:2022-02-15

    申请号:CN201911420905.3

    申请日:2019-12-31

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明的基于热电式和电容式双通道在线检测的MEMS微波驻波计将ACPS传输线的信号线对称放置在主传输线两端作为副传输线构成了对称型定向耦合器;对称型定向耦合器将入射微波功率和反射微波功率分别提取到上下两条支路的耦合端和隔离端;通过分别在上方支路和下方支路放置热电式和电容式MEMS微波功率传感器,测量上下两支路耦合端和隔离端的微波功率,进而得到驻波比;由于热电式MEMS微波功率传感器适合测量较小的微波功率,而电容式MEMS微波功率传感器适合测量较大的微波功率,因此采用两种传感器同时进行测量可以获得更大的微波驻波计测量动态范围;该MEMS微波驻波计具有低损耗、小芯片面积以及与砷化镓单片微波集成电路工艺兼容的特点。

    可在线自检测的MEMS微波功率传感器及制备方法

    公开(公告)号:CN111044798B

    公开(公告)日:2021-10-26

    申请号:CN201911417524.X

    申请日:2019-12-31

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明的可在线自检测的MEMS微波功率传感器,通过将电容式MEMS微波功率传感器和对称热电式MEMS微波功率传感器串联在MIM电容两侧,构成双通道MEMS微波功率传感器;利用分压法,通过向连有标准电阻的压焊块上施加参考电压,即可对负载电阻的阻值进行检测;被检测电阻若处于正常工作状态下,热电堆两侧的负载电阻会分得相同的电压并转化为相同的热量,即热电堆两侧的温差完全由输入的微波功率产生;并且由于在左侧共面波导信号线上设有MIM电容,隔绝MEMS悬臂梁下方的共面波导信号线和后方的共面波导信号线的直流互联,以实现测量微波功率的同时检测负载电阻的功能;该MEMS微波功率传感器具有低损耗、高灵敏度以及具有终端电阻在线自检测的特点。

    一种基于折纸结构的曲率传感器

    公开(公告)号:CN112033277B

    公开(公告)日:2021-10-08

    申请号:CN202010933149.0

    申请日:2020-09-08

    Applicant: 东南大学

    Inventor: 韩磊 陈立军

    Abstract: 本发明提供了一种基于折纸结构的曲率传感器,该曲率传感器包括柔性基板(1)、金属极板(2)、第一固支梁锚区(31)、第二固支梁锚区(32)、具有折叠薄膜结构的双端固支梁(4),第一折叠薄膜结构(52)、第二折叠薄膜结构(53)、第三折叠薄膜结构(51)、第四折叠薄膜结构(54)、平面电感(6);当柔性基板贴合在一个凹陷曲率的表面上时,该结构由于采用了基于折纸原理的折叠薄膜结构,使得双端固支梁折叠形成了一个向下凸出的立体结构,增大了双端固支梁与金属极板之间的电容变化量,因此该曲率传感器具有灵敏度高、测量误差小、工艺兼容、结构新颖等优势。

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