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公开(公告)号：CN102156194B
公开(公告)日：2012-04-11
申请号：CN201110053174.0
申请日：2011-03-07
Applicant: 东南大学
IPC: G01P1/00
Abstract: 本发明公开了一种加速度计止挡结构，包括衬底基板、面内止挡层、离面止挡层以及可动的止挡接触头；面内止挡层通过锚区固定于衬底基板之上，其底部向中心处凹陷；止挡接触头为T字型，T字首部位于面内止挡层的凹陷处内部，T字尾部穿出至凹陷处外，所述止挡接触头与面内止挡层凹陷处之间留有间隙；离面止挡层位于面内止挡层之上且与之相连，所述离面止挡层覆盖止挡接触头T字首部的部分面积，并与止挡接触头T字首部间留有的间隙。本发明结构简单、能够实现在三维方向上有效控制止挡接触头的自由行程，且在大冲击环境下整个加速度计止挡结构不容易发生粘附和损坏。
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公开(公告)号：CN102156202A
公开(公告)日：2011-08-17
申请号：CN201110053175.5
申请日：2011-03-07
Applicant: 东南大学
IPC: G01P15/125
Abstract: 本发明公开了一种电极极板的固定结构，包括衬底基板、质量块结构及其对应的固定电极结构，所述质量块结构包括框架状的质量块和可动电极极板，框架状的质量块由横梁和垂直于横梁并位于横梁两侧的大梁组成；所述固定电极结构包括固定电极极板；质量块、可动电极极板以及固定电极极板位于同一平面且间隔设置于衬底基板上方，可动电极极板以栅状分布在质量块上，且两端分别与大梁连接，每两个可动电极极板间均设有两个固定电极极板。本发明结构简单，成本低廉、加工制造工艺简单，可重复性强，易于批量生产且在使用过程中拥有极高的可靠性，可应用于电容式微机械加速度计结构中，有效提高其抗冲击能力、系统量程及在高负载下运行的可靠性。
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公开(公告)号：CN102156194A
公开(公告)日：2011-08-17
申请号：CN201110053174.0
申请日：2011-03-07
Applicant: 东南大学
IPC: G01P1/00
Abstract: 本发明公开了一种加速度计止挡结构，包括衬底基板、面内止挡层、离面止挡层以及可动的止挡接触头；面内止挡层通过锚区固定于衬底基板之上，其底部向中心处凹陷；止挡接触头为T字型，T字首部位于面内止挡层的凹陷处内部，T字尾部穿出至凹陷处外，所述止挡接触头与面内止挡层凹陷处之间留有间隙；离面止挡层位于面内止挡层之上且与之相连，所述离面止挡层覆盖止挡接触头T字首部的部分面积，并与止挡接触头T字首部间留有的间隙。本发明结构简单、能够实现在三维方向上有效控制止挡接触头的自由行程，且在大冲击环境下整个加速度计止挡结构不容易发生粘附和损坏。
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