公开(公告)号：CN112607778A

公开(公告)日：2021-04-06

申请号：CN202011621439.8

申请日：2020-12-31

Applicant: 东南大学

Inventor： 刘磊 ,  焦松龙 ,  吕俊 ,  孔孟书

IPC: C01G39/06 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00

Abstract: 本发明公开了一种二硫化钼纳米管的制备方法，以阳极氧化铝为模板，采用原子层沉积技术在阳极氧化铝模板的纳米孔表面生长厚度可控的二硫化钼；用刻蚀液刻蚀掉阳极氧化铝，得到MoS2纳米管阵列。本发明通过选用不同的孔径和高度的AAO模板以及控制ALD的循环数可以精确地调控MoS2纳米管的直径、长度以及壁厚。该方法解决了二硫化钼纳米管管径以及壁厚不可控的问题，制备的二硫化钼纳米管具有良好的可重复性以及取向一致性，可用于催化以及半导体等领域，适合大规模工业化生产。

公开(公告)号：CN107478175A

公开(公告)日：2017-12-15

申请号：CN201710710946.0

申请日：2017-08-18

Applicant: 东南大学

Inventor： 刘磊 ,  杨俊杰 ,  黄亚洲 ,  吕俊 ,  陈云飞 ,  倪中华

IPC: G01B11/24 ,  G01B7/06

CPC classification number: G01B11/2441 ,  G01B7/066

Abstract: 本发明公开一种原子层沉积薄膜原位监测控制系统，其包括原子层沉积设备、分别用于实时监测原子层沉积薄膜的表面轮廓和薄膜沉积厚度的白光干涉三维轮廓检测装置及石英晶体微天平、以及控制模块，该控制模块与原子层沉积设备、白光干涉三维轮廓检测装置、石英晶体微天平分别连接，用于接收、观测、分析实时的薄膜表面轮廓信息和薄膜厚度信息、并根据该信息控制原子层沉积过程。该监测控制系统通过对薄膜沉积过程进行原位监测，不仅可实时在线监控涂层厚度和薄膜表面三维轮廓，还能及时显示薄膜涂层厚度的动态变化过程和薄膜表面的三维形貌轮廓图像等信息，从而帮助提高薄膜涂层沉积的精度，改善薄膜产品的质量，使得薄膜涂层的性能更加优越。

公开(公告)号：CN107119264B

公开(公告)日：2019-03-08

申请号：CN201710445375.2

申请日：2017-06-14

Applicant: 东南大学

Inventor： 刘磊 ,  吕俊 ,  黄亚洲 ,  杨俊杰 ,  陈云飞 ,  倪中华

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/40 ,  C23C16/06

Abstract: 同腔原位复合沉积铱‑氧化铝高温涂层设备与工艺，涉及化学气相沉积技术领域。设备包括反应腔体系统、四条管路系统、真空系统和尾气处理系统，系统之间通过管路密封连接。四种前驱体源置于源瓶中，源瓶与四条管路分别相连。通过四个气动阀调控前驱体源的通入，N2作为源的载气，真空泵系统为设备提供一定真空度，尾气处理处理系统对反应后产物进行处理后排放；通入Al(CH3)3、H2O源，ALD沉积复合材料的Al2O3层，通入Ir金属化合物、O2源，ALD沉积复合材料的Ir层，将Ir化合物源通入反应腔内高温分解，CVD沉积Ir层。按照复合涂层工艺方案沉积，得到耐高温抗氧化、高粘附力、抗热震的Re基Ir‑Al2O3复合涂层材料。在航空航天、能源动力以及国防等领域具有广泛的应用。

公开(公告)号：CN108365012A

公开(公告)日：2018-08-03

申请号：CN201810064699.6

申请日：2018-01-23

Applicant: 东南大学

Inventor： 刘磊 ,  黄亚洲 ,  吕俊 ,  杨俊杰 ,  陈云飞 ,  倪中华

IPC: H01L29/786 ,  H01L21/34 ,  C23C16/455 ,  C23C16/30

Abstract: 本发明公开了一种基于原子层沉积制备二硫化钼场效应管的方法，包括如下步骤：将基底样品放入反应腔；利用载气将钼源送入反应腔，使钼源与基底样品表面发生自限制化学吸附；利用载气将硫化氢送入反应腔，使硫化氢与钼源发生自限制化学反应，在基底样品上生成二硫化钼薄膜；将所生成的二硫化钼薄膜按所需的场效应管沟道尺寸，刻蚀成条状二硫化钼；在条状二硫化钼上沉积金属源和漏极；采用本发明的方法制备的二硫化钼薄膜覆盖面积大，质量均匀，在制备场效应管的过程中不需要精确定位，提高了制备效率和降低成本。

公开(公告)号：CN107338422A

公开(公告)日：2017-11-10

申请号：CN201710497160.5

申请日：2017-06-26

Applicant: 东南大学

Inventor： 刘磊 ,  黄亚洲 ,  吕俊 ,  杨俊杰 ,  陈云飞 ,  倪中华

IPC: C23C16/30 ,  C23C16/455

CPC classification number: C23C16/305 ,  C23C16/45525

Abstract: 本发明涉及一种原子层沉积二硫化钼薄膜的方法，包括以下步骤：将钼源装入源瓶并加热，加热放置有基底样品的反应腔；利用载气将钼源吹入反应腔，使钼源与基底样品表面发生自限制化学吸附，钼源吹入结束后，继续通入载气，将反应副产物和残余的钼源冲洗掉；利用载气将硫化氢吹入反应腔，使硫化氢与钼源发生自限制化学反应，在基底样品表面生成二硫化钼薄膜，硫化氢吹入结束后，继续通入载气将反应副产物和残余硫化氢冲洗掉。本发明制备的二硫化钼薄膜质量均匀、表面平整、厚度可以精确控制。

公开(公告)号：CN108277057B

公开(公告)日：2021-03-09

申请号：CN201810051410.7

申请日：2018-01-19

Applicant: 东南大学

Inventor： 刘磊 ,  焦松龙 ,  吕俊 ,  周伟

IPC: C10M161/00 ,  C10M169/04 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  B01J27/051 ,  C10N30/06

Abstract: 本发明公开了一种纳米润滑油添加剂，原料成分包括纳米四氧化三铁‑二硫化钼（Fe3O4@MoS2）复合物和液态石蜡，在将原料成分混合的过程中，将纳米Fe3O4@MoS2与液态石蜡在超声波环境下，混合均匀；其中，纳米Fe3O4@MoS2的量以质量百分比计为0.02‑1.1％，其中纳米Fe3O4@MoS2制备包括两个过程：采用溶剂法制备Fe3O4纳米颗粒，粒径大小为40‑60nm；采用水热法制备Fe3O4@MoS2纳米复合物，粒径大小为400‑600nm，在润滑油使用的过程中，该添加剂可以提高润滑油抗磨减磨的性能；在润滑油失效、丢弃到自然中后，该添加剂可以作为废润滑油的催化剂，有良好的光降解作用。

公开(公告)号：CN108277057A

公开(公告)日：2018-07-13

申请号：CN201810051410.7

申请日：2018-01-19

Applicant: 东南大学

Inventor： 刘磊 ,  焦松龙 ,  吕俊 ,  周伟

IPC: C10M161/00 ,  C10M169/04 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  B01J27/051 ,  C10N30/06

Abstract: 本发明公开了一种纳米润滑油添加剂，原料成分包括纳米四氧化三铁-二硫化钼（Fe3O4@MoS2）复合物和液态石蜡，在将原料成分混合的过程中，将纳米Fe3O4@MoS2与液态石蜡在超声波环境下，混合均匀；其中，纳米Fe3O4@MoS2的量以质量百分比计为0.02-1.1％，其中纳米Fe3O4@MoS2制备包括两个过程：采用溶剂法制备Fe3O4纳米颗粒，粒径大小为40-60nm；采用水热法制备Fe3O4@MoS2纳米复合物，粒径大小为400-600nm，在润滑油使用的过程中，该添加剂可以提高润滑油抗磨减磨的性能；在润滑油失效、丢弃到自然中后，该添加剂可以作为废润滑油的催化剂，有良好的光降解作用。

公开(公告)号：CN110205605A

公开(公告)日：2019-09-06

申请号：CN201910521110.5

申请日：2019-06-17

Applicant: 东南大学

Inventor： 刘磊 ,  马克坚 ,  吕俊 ,  朱松阳 ,  焦松龙 ,  杨俊杰

IPC: C23C16/30 ,  C23C16/455

Abstract: 本发明涉及一种原子层沉积二硫化铼薄膜的方法，包括以下步骤：将铼源装入源瓶并加热，加热放置有基底样品的的反应腔；利用载气将铼源吹入反应腔，使铼源与基底样品表面发生自限制化学吸附，铼源吹入结束后，继续通入载气，将反应副产物和残余的铼源冲洗掉；利用载气将硫化氢吹入反应腔，使硫化氢与铼源发生自限制化学反应，在基底样品表面生成二硫化铼薄膜，硫化氢吹入结束后，继续通入载气将反应副产品和残余硫化氢冲洗掉。本发明制备的二硫化铼薄膜质量均匀、表面平整、厚度可以精确控制。

公开(公告)号：CN109943826A

公开(公告)日：2019-06-28

申请号：CN201811054881.X

申请日：2018-09-11

Applicant: 东南大学

Inventor： 刘磊 ,  朱松阳 ,  刘晓林 ,  吕俊

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/513 ,  C23C16/56

Abstract: 一种多功能复合沉积设备及其制备工艺。本发明可采用等离子体增强的原子层沉积和化学气相沉积两种生长工艺，制备复合薄膜材料，能够在不对基底做其他处理和位置移动的情况下，在一个反应腔体实现ALD、CVD两种不同生长机理的反应以及不同前驱体源的沉积，提高反应速率，实现复合薄膜层数精确可控制造和高结晶度生长；提出的多功能复合沉积设备能够同时在薄膜生长完成后，在真空或者常压氛围下，关闭排气通道截止阀，直接在腔体内进行退火后处理，进一步提高复合薄膜材料的质量、层间粘附力和减少缺陷。

公开(公告)号：CN108314229A

公开(公告)日：2018-07-24

申请号：CN201810051408.X

申请日：2018-01-19

Applicant: 东南大学

Inventor： 刘磊 ,  张可 ,  吕俊 ,  魏玉敏

IPC: C02F9/08 ,  C02F101/20

Abstract: 本发明公开了一种基于纳米孔装置的水体重金属离子逐步分离法，基于纳米孔的分离策略和相关隔离装置的建立将水体中多种重金属离子进行分离，实验设备包括络合剂制备设备和分离设备，通过恒温磁力搅拌器来制备TCAS，通过U型槽和电场的作用进行分离，通过络合剂的选择性络合，最终实验多种重金属离子的分离。络合剂TCAS对重金属离子的选择性络合顺序分别为镉、铜、铅、钡。同时，较高的驱动电压对应一个更快的分离速度；另一方面，pH值会影响重金属离子的水解，杯芳烃对重金属离子的络合以及电渗流速度；通过选择合适的电压和pH值，最大程度上实现多种重金属离子的分离，在水污染治理以及重金属废液的回收利用具有广泛的应用。