公开(公告)号：CN100362128C

公开(公告)日：2008-01-16

申请号：CN200510110094.9

申请日：2005-11-07

Applicant: 东华大学

Inventor： 徐金洲 ,  徐绍魁 ,  周荃 ,  彭小波 ,  张菁

IPC: C23C16/513

Abstract: 一种大气压平面放电化学气相沉积纳米颗粒膜的方法及装置，其特征是在大气压化学气相沉积装置的反应器中增加气流分配器，使气体均匀流过放电区并在基材包括软基材表面均匀、快速地沉积具有相同组分的膜层。在装置的反应器中放置不同个数的平面放电单元，增加或减少气体穿越放电区的空间距离，以调节沉积膜的组分，同时借助放电区辐射的热量在基材表面生长具有一定结晶态的膜层。又在气流方向施加静电高压电场，调整成膜的前驱物或分子碎片在向基材表面输运过程中的空间构型，以调控膜层在基材表面的生长形貌。

公开(公告)号：CN1786262A

公开(公告)日：2006-06-14

申请号：CN200510110094.9

申请日：2005-11-07

Applicant: 东华大学

Inventor： 徐金洲 ,  徐绍魁 ,  周荃 ,  彭小波 ,  张菁

IPC: C23C16/513

Abstract: 一种大气压平面放电化学气相沉积纳米颗粒膜的方法及装置，其特征是在大气压化学气相沉积装置的反应器中增加气流分配器，使气体均匀流过放电区并在基材包括软基材表面均匀、快速地沉积具有相同组分的膜层。在装置的反应器中放置不同个数的平面放电单元，增加或减少气体穿越放电区的空间距离，以调节沉积膜的组分，同时借助放电区辐射的热量在基材表面生长具有一定结晶态的膜层。又在气流方向施加静电高压电场，调整成膜的前驱物或分子碎片在向基材表面输运过程中的空间构型，以调控膜层在基材表面的生长形貌。

公开(公告)号：CN101164689A

公开(公告)日：2008-04-23

申请号：CN200710044993.2

申请日：2007-08-17

Applicant: 东华大学

Inventor： 李岩 ,  徐绍魁 ,  刘伟 ,  何涛 ,  过凯 ,  孙滨璇 ,  陆修来 ,  杨沛林 ,  徐金洲 ,  张菁

IPC: B01J21/06 ,  C01G23/047 ,  C23C16/40

Abstract: 本发明涉及一种纳米晶多孔TiO2薄膜及其制备方法，该薄膜是TiOn结构的薄膜，其中n为1.5－2.5，多晶晶体结构，晶粒尺度10－500nm，孔径10－5000nm；制备方法，包括：(1)将基体材料超声清洗干净，烘干，置于等离子体反应器下部，通入载气惰性气体；(2)通入氧气和由载气带入的含钛气体的混合气体，施加高压电，调节偏压电极和脉冲偏压，形成含钛的活性颗粒，并在偏压的极化与加速作用下形成线网结构同时被带至基体材料表面沉积；(3)反应沉积后，取出基体材料，在基体材料表面上可得纳米晶多孔TiO2薄膜。本方法成本低、污染小、设备简便、合成时间短，快速方便，适应于各种介质基底，具有大规模工业应用的前景。