大气压平面放电化学气相沉积纳米颗粒膜方法及装置

    公开(公告)号:CN100362128C

    公开(公告)日:2008-01-16

    申请号:CN200510110094.9

    申请日:2005-11-07

    Applicant: 东华大学

    Abstract: 一种大气压平面放电化学气相沉积纳米颗粒膜的方法及装置,其特征是在大气压化学气相沉积装置的反应器中增加气流分配器,使气体均匀流过放电区并在基材包括软基材表面均匀、快速地沉积具有相同组分的膜层。在装置的反应器中放置不同个数的平面放电单元,增加或减少气体穿越放电区的空间距离,以调节沉积膜的组分,同时借助放电区辐射的热量在基材表面生长具有一定结晶态的膜层。又在气流方向施加静电高压电场,调整成膜的前驱物或分子碎片在向基材表面输运过程中的空间构型,以调控膜层在基材表面的生长形貌。

    大气压平面放电化学气相沉积纳米颗粒膜方法及装置

    公开(公告)号:CN1786262A

    公开(公告)日:2006-06-14

    申请号:CN200510110094.9

    申请日:2005-11-07

    Applicant: 东华大学

    Abstract: 一种大气压平面放电化学气相沉积纳米颗粒膜的方法及装置,其特征是在大气压化学气相沉积装置的反应器中增加气流分配器,使气体均匀流过放电区并在基材包括软基材表面均匀、快速地沉积具有相同组分的膜层。在装置的反应器中放置不同个数的平面放电单元,增加或减少气体穿越放电区的空间距离,以调节沉积膜的组分,同时借助放电区辐射的热量在基材表面生长具有一定结晶态的膜层。又在气流方向施加静电高压电场,调整成膜的前驱物或分子碎片在向基材表面输运过程中的空间构型,以调控膜层在基材表面的生长形貌。

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