公开(公告)号：CN101164689A

公开(公告)日：2008-04-23

申请号：CN200710044993.2

申请日：2007-08-17

Applicant: 东华大学

Inventor： 李岩 ,  徐绍魁 ,  刘伟 ,  何涛 ,  过凯 ,  孙滨璇 ,  陆修来 ,  杨沛林 ,  徐金洲 ,  张菁

IPC: B01J21/06 ,  C01G23/047 ,  C23C16/40

Abstract: 本发明涉及一种纳米晶多孔TiO2薄膜及其制备方法，该薄膜是TiOn结构的薄膜，其中n为1.5－2.5，多晶晶体结构，晶粒尺度10－500nm，孔径10－5000nm；制备方法，包括：(1)将基体材料超声清洗干净，烘干，置于等离子体反应器下部，通入载气惰性气体；(2)通入氧气和由载气带入的含钛气体的混合气体，施加高压电，调节偏压电极和脉冲偏压，形成含钛的活性颗粒，并在偏压的极化与加速作用下形成线网结构同时被带至基体材料表面沉积；(3)反应沉积后，取出基体材料，在基体材料表面上可得纳米晶多孔TiO2薄膜。本方法成本低、污染小、设备简便、合成时间短，快速方便，适应于各种介质基底，具有大规模工业应用的前景。