公开(公告)号：CN101164689A

公开(公告)日：2008-04-23

申请号：CN200710044993.2

申请日：2007-08-17

Applicant: 东华大学

Inventor： 李岩 ,  徐绍魁 ,  刘伟 ,  何涛 ,  过凯 ,  孙滨璇 ,  陆修来 ,  杨沛林 ,  徐金洲 ,  张菁

IPC: B01J21/06 ,  C01G23/047 ,  C23C16/40

Abstract: 本发明涉及一种纳米晶多孔TiO2薄膜及其制备方法，该薄膜是TiOn结构的薄膜，其中n为1.5－2.5，多晶晶体结构，晶粒尺度10－500nm，孔径10－5000nm；制备方法，包括：(1)将基体材料超声清洗干净，烘干，置于等离子体反应器下部，通入载气惰性气体；(2)通入氧气和由载气带入的含钛气体的混合气体，施加高压电，调节偏压电极和脉冲偏压，形成含钛的活性颗粒，并在偏压的极化与加速作用下形成线网结构同时被带至基体材料表面沉积；(3)反应沉积后，取出基体材料，在基体材料表面上可得纳米晶多孔TiO2薄膜。本方法成本低、污染小、设备简便、合成时间短，快速方便，适应于各种介质基底，具有大规模工业应用的前景。

公开(公告)号：CN101225510A

公开(公告)日：2008-07-23

申请号：CN200810032587.9

申请日：2008-01-11

Applicant: 东华大学

Inventor： 刘伟 ,  李岩 ,  何涛 ,  过凯 ,  王德信 ,  郭颖 ,  杨平 ,  张菁

IPC: C23C16/40 ,  C23C16/513 ,  C23C16/52 ,  C23C16/56

Abstract: 本发明涉及一种超疏水性和超亲水性二氧化钛薄膜的等离子体制备方法，包括：(1)以频率为12－14MHZ的射频等离子体发生器产生等离子体辉光，并且调节等离子体功率在40W－180W之间变动；(2)以四异丙基钛酸脂为单体沉积，并由氧气载入；(3)电极下方的基片上得到超亲水性二氧化钛薄膜，在远离电极的基片上得到超疏水性二氧化钛薄膜；(4)超疏水性二氧化钛薄膜在常压500℃下退火1～2小时后，得超亲水性二氧化钛薄膜。该方法制备二氧化钛薄膜具有一步沉积同时得到超疏水和超亲水性薄膜的简便优点，过程容易控制，为工业化应用提供了可能性。

公开(公告)号：CN219689816U

公开(公告)日：2023-09-15

申请号：CN202321089802.5

申请日：2023-05-08

Applicant: 东华大学

Inventor： 何涛 ,  徐雨 ,  张菁 ,  王勤 ,  钱智欣

IPC: C23C4/134

Abstract: 本实用新型公开了一种无内壁沉积的等离子体射流装置，与电源系统以及气路系统相连，其特征在于，所述等离子体射流装置包括射流外管，射流外管上设有气路接口一以及气路接口二，射流外管内设有中空的金属内电极，金属内电极的顶端设有气路接口三；气路接口一、气路接口二及气路接口三连接气路系统；射流外管的底部外套设有环状外电极，环状外电极与电源系统相连。本实用新型通过分散装置将反应性单体引出射流装置，利用等离子体产生的后辉光区部分进行裂解，有效地避免了单体反应后对射流装置内壁的沉积作用。本实用新型提供的射流装置不会随着放电时间的增加，放电的特性发生变化，有利于稳定沉积薄膜的厚度、成分等。