公开(公告)号：CN119234299A

公开(公告)日：2024-12-31

申请号：CN202380041341.0

申请日：2023-05-18

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 河西繁 ,  秋山直树 ,  高濑文哉 ,  中山博之 ,  熊坂肇

IPC: H01L21/66 ,  G01R31/26

Abstract: 本发明提供一种检查装置，其用于对检查对象器件进行检查，所述检查对象器件是背面照射型的拍摄器件，形成在检查对象体上，光能够从所述拍摄器件的作为设置有配线层的一侧的相反侧的面的背面入射至所述拍摄器件，所述检查装置包括载置台，其用于以与所述拍摄器件的所述背面相对的方式支承所述检查对象体，所述载置台包括：由透光材料构成的顶板，其具有用于载置所述检查对象体的载置面；照射部，其配置在隔着所述顶板与所述检查对象体相对的位置，用于向被载置在所述载置面上的所述检查对象体照射光；和温度调节部，其用于对被载置在所述载置面上的所述检查对象体的所述检查对象器件的温度进行调节，所述顶板在所述载置面和其相反侧的面中的至少任一者上形成有由金属材料构成的能够使光透过的厚度的图案。

公开(公告)号：CN118901124A

公开(公告)日：2024-11-05

申请号：CN202380029019.6

申请日：2023-03-16

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 河西繁 ,  高濑文哉

IPC: H01L21/66 ,  G01R31/26 ,  H01L27/144

Abstract: 检查装置包括用于放置基板的载台、对放置在载台上的基板照射检查光的照射装置、以及检查受到检查光照射的基板的测试器。照射装置具备由多个LED连接而成的发光部、输出要供给到发光部的电力的固定电源部、以及设置在发光部与固定电源部之间的恒流部。固定电源部具有利用谐振现象进行开关的多个开关电源。恒流部中，并联连接着第一恒流源和第二恒流源，该第一恒流源被输入多个开关电源的电力，并按照第一分辨率调整电流，该第二恒流源被输入多个开关电源的电力，并按照比第一分辨率小的第二分辨率调整电流。