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公开(公告)号：CN101334665A
公开(公告)日：2008-12-31
申请号：CN200810129124.4
申请日：2008-06-30
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: G05B19/418 , H01L21/00
Abstract: 提供一种群管理系统、半导体制造装置以及信息处理方法。在现有的群管理系统等中，存在不能在短时间内正确地进行能源检查的问题。群管理系统具备：一个以上半导体制造装置、以及与该一个以上半导体制造装置连接的服务器装置，半导体制造装置具备：能源信息获取部，其获取能源信息，该能源信息是表示在半导体制造工艺中使用的一个以上能源的值的信息；以及发送部，其将能源信息获取部获取的能源信息发送到上述服务器，服务器装置具备：接收部，其接收从半导体制造装置发送的能源信息；服务器侧判断部，其判断接收部接收的能源信息所表示的能源值是否是规定值；以及服务器侧输出部，其进行与服务器侧判断部的判断结果相应的输出。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101495928B
公开(公告)日：2012-11-07
申请号：CN200780028185.5
申请日：2007-07-09
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: G05B19/418 , H01L21/02 , H01L21/205 , H01L21/3065 , H01L21/66
CPC classification number: G05B21/02 , G05B23/0264 , H01L21/67757 , H01L21/67769 , H01L21/67772 , Y02P90/14 , Y02P90/18
Abstract: 以往的服务器装置中，存在无法恰当地指定使测定信息成为输出对象的期间的问题。本发明提供一种服务器装置，是构成具备对被处理基板进行规定处理的一个以上制造装置(11)的群管理系统的服务器装置(12)，其具备：测定信息保存部(1201)，其能够保存多个测定信息，该测定信息是具有由一个以上制造装置(11)执行了规定处理时的测定值和表示时刻的时刻信息的时间序列的信息；指示接收部(1205)，其接收包括确定规定起点的信息和有效时间的信息的测定信息的输出指示；测定信息取得部(1203)，其从测定信息保存部(1201)中取得从规定起点起在有效时间内的测定信息；输出信息构成部(1206)，其构成使用了所取得的测定信息的输出信息；输出部(1207)，其输出输出信息构成部(1206)所构成的输出信息。
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公开(公告)号：CN101501658A
公开(公告)日：2009-08-05
申请号：CN200780028213.3
申请日：2007-07-09
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: G05B23/0213 , H01L21/67276
Abstract: 以往的服务器装置存在无法有选择地输出与子配方对应的选择信息的问题。本发明提供一种服务器装置，具备：测定信息保存部(1201)，其可保存多个测定信息，该测定信息是具有由制造装置(11)执行规定配方时的测定值和表示时刻的时刻信息的信息；指示接收部(1205)，其接收测定信息的输出指示；测定信息取得部，其从测定信息保存部中取得由输出指示指定的测定信息；输出信息构成部(1206)，其构成使用了所取得的测定信息的输出信息；以及输出部，其输出输出信息构成部(1206)所构成的输出信息；输出指示具有指定在配方中被执行多次的子配方当中、在1个以上的期望次中被执行的子配方的指示，测定信息取得部(1203)取得与由输出指示指定的子配方对应的测定信息。
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公开(公告)号：CN101495928A
公开(公告)日：2009-07-29
申请号：CN200780028185.5
申请日：2007-07-09
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: G05B19/418 , H01L21/02 , H01L21/205 , H01L21/3065 , H01L21/66
CPC classification number: G05B21/02 , G05B23/0264 , H01L21/67757 , H01L21/67769 , H01L21/67772 , Y02P90/14 , Y02P90/18
Abstract: 以往的服务器装置中，存在无法恰当地指定使测定信息成为输出对象的期间的问题。本发明提供一种服务器装置，是构成具备对被处理基板进行规定处理的一个以上制造装置(11)的群管理系统的服务器装置(12)，其具备：测定信息保存部(1201)，其能够保存多个测定信息，该测定信息是具有由一个以上制造装置(11)执行了规定处理时的测定值和表示时刻的时刻信息的时间序列的信息；指示接收部(1205)，其接收包括确定规定起点的信息和有效时间的信息的测定信息的输出指示；测定信息取得部(1203)，其从测定信息保存部(1201)中取得从规定起点起在有效时间内的测定信息；输出信息构成部(1206)，其构成使用了所取得的测定信息的输出信息；输出部(1207)，其输出输出信息构成部(1206)所构成的输出信息。
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公开(公告)号：CN101501658B
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN200780028213.3
申请日：2007-07-09
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: G05B23/0213 , H01L21/67276
Abstract: 以往的服务器装置存在无法有选择地输出与子配方对应的选择信息的问题。本发明提供一种服务器装置，具备：测定信息保存部(1201)，其可保存多个测定信息，该测定信息是具有由制造装置(11)执行规定配方时的测定值和表示时刻的时刻信息的信息；指示接收部(1205)，其接收测定信息的输出指示；测定信息取得部，其从测定信息保存部中取得由输出指示指定的测定信息；输出信息构成部(1206)，其构成使用了所取得的测定信息的输出信息；以及输出部，其输出输出信息构成部(1206)所构成的输出信息；输出指示具有指定在配方中被执行多次的子配方当中、在1个以上的期望次中被执行的子配方的指示，测定信息取得部(1203)取得与由输出指示指定的子配方对应的测定信息。
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公开(公告)号：CN101334665B
公开(公告)日：2011-12-07
申请号：CN200810129124.4
申请日：2008-06-30
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: G05B19/418
Abstract: 提供一种群管理系统、半导体制造装置以及信息处理方法。在现有的群管理系统等中，存在不能在短时间内正确地进行能源检查的问题。群管理系统具备：一个以上半导体制造装置、以及与该一个以上半导体制造装置连接的服务器装置，半导体制造装置具备：能源信息获取部，其获取能源信息，该能源信息是表示在半导体制造工艺中使用的一个以上能源的值的信息；以及发送部，其将能源信息获取部获取的能源信息发送到上述服务器，服务器装置具备：接收部，其接收从半导体制造装置发送的能源信息；服务器侧判断部，其判断接收部接收的能源信息所表示的能源值是否是规定值；以及服务器侧输出部，其进行与服务器侧判断部的判断结果相应的输出。
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