公开(公告)号：CN101334665B

公开(公告)日：2011-12-07

申请号：CN200810129124.4

申请日：2008-06-30

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 的川建史 ,  小山典昭 ,  高桥礼

IPC: G05B19/418

CPC classification number: Y02P90/02 ,  Y02P90/18

Abstract: 提供一种群管理系统、半导体制造装置以及信息处理方法。在现有的群管理系统等中，存在不能在短时间内正确地进行能源检查的问题。群管理系统具备：一个以上半导体制造装置、以及与该一个以上半导体制造装置连接的服务器装置，半导体制造装置具备：能源信息获取部，其获取能源信息，该能源信息是表示在半导体制造工艺中使用的一个以上能源的值的信息；以及发送部，其将能源信息获取部获取的能源信息发送到上述服务器，服务器装置具备：接收部，其接收从半导体制造装置发送的能源信息；服务器侧判断部，其判断接收部接收的能源信息所表示的能源值是否是规定值；以及服务器侧输出部，其进行与服务器侧判断部的判断结果相应的输出。

公开(公告)号：CN101334665A

公开(公告)日：2008-12-31

申请号：CN200810129124.4

申请日：2008-06-30

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 的川建史 ,  小山典昭 ,  高桥礼

IPC: G05B19/418 ,  H01L21/00

CPC classification number: Y02P90/02 ,  Y02P90/18

Abstract: 提供一种群管理系统、半导体制造装置以及信息处理方法。在现有的群管理系统等中，存在不能在短时间内正确地进行能源检查的问题。群管理系统具备：一个以上半导体制造装置、以及与该一个以上半导体制造装置连接的服务器装置，半导体制造装置具备：能源信息获取部，其获取能源信息，该能源信息是表示在半导体制造工艺中使用的一个以上能源的值的信息；以及发送部，其将能源信息获取部获取的能源信息发送到上述服务器，服务器装置具备：接收部，其接收从半导体制造装置发送的能源信息；服务器侧判断部，其判断接收部接收的能源信息所表示的能源值是否是规定值；以及服务器侧输出部，其进行与服务器侧判断部的判断结果相应的输出。